NanoSEM membawa kemampuan belum pernah terjadi sebelumnya untuk peneliti dan pengembang di laboratorium nanoteknologi bekerja dengan non-konduktif dan mengkontaminasi nano-bahan dan / atau-perangkat. Ini menggabungkan, untuk pertama kalinya dalam sejarah Lapangan Emisi Scanning Electron Microscopy, teknologi perendaman lensa magnetik dengan teknologi SEM Lingkungan. Kedua teknologi ini telah FEI Perusahaan kompetensi inti teknologi sejak pertengahan tahun sembilan puluhan untuk. Hasil panen Efek gabungan yang unik resolusi ultra-tinggi, rendah-vakum karakterisasi kemungkinan dalam lingkungan yang menekan biaya membangun-up non-konduktif materi atau non-konduktif komponen nano-perangkat, di samping itu menekan elektron-beam kontaminasi akibat diinduksi pengolahan sampel langkah sebelumnya. Pilihan Sistem Dan Aplikasi Pilihan sistem termasuk alat-alat khusus untuk Nanotech seperti on-board perangkat lunak untuk generasi pola, suatu blanker balok elektrostatik kecepatan tinggi, serta sistem injeksi gas untuk menulis berkas langsung elektron dari struktur nano. Hasil yang mengesankan telah diperoleh pada bahan nanoteknologi umum tetapi menantang seperti: · Berlian film · Karbon nanotube · GMR kepala · Nanopartikel · Semikonduktor Palang Bagian / dengan konten k rendah · Plastik Elektronik · Bahan berpori (misalnya silikon) · Substrat kaca · Bahan organik Ukuran The NanoSEM Nova tersedia dengan tiga ukuran panggung yang berbeda: 6''(150 mm), 4''(100 mm) atau 2''(50 mm).  |