ナノテクノロジーアプリケーションのためのフィールド放出走査型電子顕微鏡; 補足新星 NanoSEM -

背景

新星の NanoLab DualBeam SEM/FIB のナノテクノロジーワークステーションの正常な導入に従がって、 FEI の会社は Nanotech の家族のための次の新星のツールを導入します: 新星 NanoSEM。この器械はサンプルを満たすことおよび/または汚染することの超高度の解像度の性格描写のための専用 FEG-SEM の解決です。

主な利点

· 世界の本当の高解像だけの低真空 FEG-SEM。

· nano 材料か装置を満たすことおよび/または汚染するための最終的な性格描写の解決。

· 高真空および低い真空の低い kV の 1.8 nm イメージ投射解像度。

· 4kx4k デジタルパターン・ジェネレータが付いている内蔵パターン世代別ソフトウェア。

· nanostructures の直接電子ビームの執筆のための任意選択ガス化学解決。

· Piezo 段階の技術は段階移動によってサンプル運行のための非常に高いイメージ投射拡大の非常に高い反復性の正確さ、非常に低い段階のドリフトおよび低速の動揺の速度に - 渡します。

磁気液浸レンズの技術

NanoSEM は非導電および汚染 nano 材料を使用するナノテクノロジーの実験室の研究者そして開発者に前例のない機能をおよび/または - 装置持って来ます。それは環境 SEM の技術とフィールド放出スキャンの電子顕微鏡検査の歴史で、はじめて、磁気液浸レンズの技術結合します。これらの技術は両方ともずっと 90年代後半へ中間以来の FEI の会社の基幹技術の能力です。複合効果は一義的な超高度の解像度、 nano 装置の非導電材料または非導電コンポーネントの料金の集結を抑制する環境の低真空の性格描写の可能性をもたらします; さらにそれは電子ビーム誘導された汚染を抑制しま前のサンプル処理ステップに起因します。

システムオプションおよびアプリケーション

システムオプションは nanostructures の直接電子ビームの執筆のパターン生成、高速静電気のビーム blanker、またガスの注入システムのための内蔵ソフトウェアのような Nanotech のための特定のツールを含んでいます。印象的な結果は公有地挑戦的なナノテクノロジー材料でのような得られました:

· ダイヤモンドのフィルム

· カーボン nanotubes

· GMR ヘッド

· Nanoparticles

· 半導体の横断面の /with 低い k の内容

· プラスチック電子工学

· 多孔性材料 (例えばケイ素)

· ガラス基板

· 有機材料

サイズ

新星 NanoSEM は 3 つの段階のサイズと使用できます: 6" (150 の mm)、 4" (100 つの mm) または 2" (50 の mm)。

ソース: FEI の会社

このソースのより多くの情報のために FEI の会社を訪問して下さい

Date Added: Apr 15, 2005

Last Update: 11. January 2012 14:33

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