나노 과학 응용을 위한 전계 방출 스캐닝 전자 현미경; 지원 신성 NanoSEM -

배경

신성 NanoLab DualBeam SEM/FIB 나노 과학 워크 스테이션의 성공적인 소개 뒤에 나오, FEI 회사는 Nanotech 가족 구성원을 위한 다음 신성 공구를 소개합니다: 신성 NanoSEM. 이 계기는 견본 비용을 부과하고는 그리고/또는 오염하기의 극초단파 해결책 특성을 위한 전용 FEG-SEM 해결책입니다.

주요 수당

· 세계의 유일한 확실한 고해상도 의 낮 진공 FEG-SEM.

· nano 물자 또는 장치 비용을 부과하고는 그리고/또는 오염하기를 위한 궁극적인 특성 해결책.

· 높은 진공 및 낮은 진공에 있는 낮은 kV에 1.8 nm 화상 진찰 해결책.

· 4kx4k 디지털 패턴 발전기를 가진 내장된 패턴 세대 소프트웨어.

· nanostructures의 직접 전자빔 쓰기를 위한 선택적인 가스 화학 해결책.

· Piezo 단계 기술은 단계 움직임에 의하여 견본 항법을 위한 아주 높은 화상 진찰 확대 아주 높은 반복성 정확도, 아주 낮은 단계 편류 및 낮은것 살짝 미는 속도에 - 위로 투발합니다.

자석 침수 렌즈 기술

NanoSEM는 비전도성과 오염 nano 물자로 작동하는 나노 과학 실험실에 있는 연구원 그리고 개발자에게 전례가 없는 기능을 그리고/또는 - 장치 가져옵니다. 그것은 환경 SEM 기술과 전계 방출 스캐닝 전자 현미경 검사법의 역사에서, 처음으로, 자석 침수 렌즈 기술 결합합니다. 양쪽 기술은 계속 늦은 90년대에 중앙부터 FEI 회사 코어 기술 적성입니다. 유일한 극초단파 해결책, nano 장치의 비전도성 물자 비전도성 분대에 책임 형성을 억압하는 환경에 있는 낮 진공 특성 가능성이 결합한 효력에 의하여 열매를 산출합니다; 추가적으로 그것은 전자 光速 감응오염을 억압해 이전 견본 처리 단계에서 유래하.

시스템 선택권과 응용

시스템 선택권은 nanostructures의 직접 전자빔 쓰기를 위한 패턴 발생 고속 정전기 光速 blanker, 뿐 아니라 가스 주입 시스템을 위한 내장된 소프트웨어와 같은 Nanotech를 위한 특정 공구를 포함합니다. 감동하는 결과는 공유지 그러나 도전적인 나노 과학 물자에 장악되었습니다:

· 다이아몬드 필름

· 탄소 nanotubes

· GMR 헤드

· Nanoparticles

· 반도체 단면 /with 낮은 k 내용

· 플라스틱 전자공학

· 다공성 물자 (예를들면 실리콘)

· 유리제 기질

· 유기 물질

규모

신성 NanoSEM는 3개의 다른 단계 규모에 유효합니다: 6" (150 mm), 4" (100개 mm) 또는 2" (50 mm).

근원: FEI 회사

이 근원에 추가 정보를 위해 FEI 회사를 방문하십시오

Date Added: Apr 15, 2005

Last Update: 11. January 2012 15:52

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback

(Logout)

Public Question Private Question to Supplier

Submit