Nanocharacterization استخدام السعة مجاهر المسح الضوئي (SCM)
: : تك AZoNanotechnology موجز |
|
الموضوعات التي تغطيها |
خلفية كيف المجهر السعة (SCM) الأشغال باستخدام المجهر السعة لأبحاث المعادن أشباه الموصلات أوكسيد (MOS) والتكنولوجيا |
خلفية |
وقد تم تحديد القرار المكاني لأقل من 10 نانومتر كشرط لالتنميط ثنائي الأبعاد دقيقة ويستعمل كعامل إشابة كمية من خارطة الطريق الدولية لتكنولوجيا أشباه الموصلات (نظام الإسناد الأرضي). منذ المجهر السعة (SCM) يحتمل أن تكون قادرة على تلبية هذا الهدف ، SCM تتحول تقنية هامة لتنميط هياكل يستعمل كعامل إشابة أشباه الموصلات الفرعية ميكرون. كيف المجهر السعة (SCM) الأشغال وتستند هذه التقنية على الاستجابة SCM الترددات العالية للهيكل (MOS) المعادن أكسيد أشباه الموصلات ، والتي تشكلت بين المجلس الاعلى للقضاة التحقيق ، وأكسيد العينة وأشباه الموصلات. يتميز تركيز يستعمل كعامل إشابة أشباه الموصلات تحت التحقيق من قبل التغيير في السعة ، العاصمة ، الناجم عن وجود تحيز تغير الجهد ، والعنف المنزلي ، وتطبق بين التحقيق والعينة. ويمكن استخدام تقنيات النمذجة العكسية لاستخراج المعلومات يستعمل كعامل إشابة تركيز من القياسات SCM. باستخدام المجهر السعة لأبحاث المعادن أشباه الموصلات أوكسيد (MOS) والتكنولوجيا في تنفيذ العمل SCM التجريبية ، وجدنا أن تلفيق من أكسيد نوعية جيدة إلى حد معقول المغطي على العينة ، من المهم لنجاح المجلس الاعلى للقضاة في القياسات الكمية استخراج تركيز يستعمل كعامل إشابة. في سياق هذا العمل ، لقد أظهرنا أنه يمكن استخدام هذه التقنية SCM نفسها nanoprobe المحلية لتحديد نوعية في مجال تكنولوجيا طبقة أكسيد MOS ، دون الحاجة لتشكيل المعادن أو معدنة بوابة للقياسات المجلس الاعلى للقضاة ، كما تلميح التحقيق موصل وظائف مثل القطب بوابة هيكل MOS. وتنفذ بعض جوانب العمل البحثي SCM بالتعاون مع البروفيسور YT Yeow من جامعة كوينزلاند ، استراليا. بالاضافة الى المجلس الاعلى للقضاة ، ونحن أيضا التحقيق في نوع آخر من تقنيات المسح الضوئي للمسبار توصيف النانو ، مثل المجهر القوة الكهروستاتيكية والتوصيل المجهري قوة نووية. |
المصدر : NUS علم النانو وتقنية النانو المبادرة ، جامعة سنغافورة الوطنية (NUS). لمزيد من المعلومات حول هذا المصدر يرجى زيارة NUS النانو وتقنية النانو المبادرة . |
Last Update: 3. October 2011 23:52