Nanopositioning Efectúa - Movimiento Acoplado en Nanopositioners - Datos del Surtidor por los Laboratorios Enojados de la Ciudad

Temas Revestidos

Antecedentes

Nanopositioning Efectúa - Movimiento Acoplado en Nanopositioners - Datos del Surtidor por los Laboratorios Enojados de la Ciudad

Movimiento Acoplado de Comprensión y Su Efecto sobre Nanopositioning

Cálculo de Desvíos de Colocación

Ejemplos del Tono y de la Lista de la Guiñada en un Escenario Enojado de Nanopositioning de los Laboratorios de la Ciudad

Amplificadores Puros del Movimiento

Antecedentes

Todos Los escenarios Enojados de Nanopositioning de los Laboratorios de la Ciudad se diseñan y se fabrican con el objetivo de disminuir o de eliminar el movimiento acoplado. Disminuyendo el movimiento acoplado, se logra el movimiento lineal puro. Los escenarios nanopositioning Puros del movimiento lineal dan resultados exactos: la dimensión de una variable y la talla de objetos que usted mide en aplicaciones de la microscopia están correctas, el escenario se comporta idénticamente ejecutarse en las direcciones delanteras y contrarias, y la posición a lo largo de cada eje es independiente de la posición a lo largo de las otras hachas.

Movimiento Acoplado de Comprensión y Su Efecto sobre Nanopositioning

Para entender acopló el movimiento y los efectos que tiene en nanopositioning, él es apropiada de concentrar en los movimientos acoplados angulares de la lista, del tono, y de la guiñada. En la figura abajo, los ángulos de la lista, el tono y la guiñada se definen para un escenario nanopositioning de la Ciudad eje Enojado estándar de los Laboratorios del único.

Diagrama Esquemático que muestra los movimientos relativos de la guiñada, del tono y de la lista.

Cálculo de Desvíos de Colocación

Los desvíos de colocación debido al movimiento acoplado se calculan fácilmente. A modo de ejemplo definimos X-AXIS como la dirección de la traslación y determinamos los desvíos de colocación debidos Derrapar en el avión XY. Los desvíos de colocación son relacionados en hasta dónde la punta del interés está situada del centro del escenario, D, y en su posición angular, el θ, considera la figura abajo. Los desvíos de colocación son θx de lechuga romana del e=D (Guiñada) y θy del pecado del e=D (Guiñada). Los lazos Similares se pueden derivar para la lista y el tono.

El Lazo entre la Guiñada y la distancia del escenario se centra.

Los Ejemplos de la Guiñada Echan y Laminan en un Escenario Enojado de Nanopositioning de los Laboratorios de la Ciudad

Cada escenario Enojado de Nanopositioning de los Laboratorios de la Ciudad se mide para la lista, el tono y la guiñada durante la prueba de la producción final. Los Ejemplos de tales mediciones se dan en las figuras abajo.  Usando estos ejemplos podemos calcular ex y el E.y La Guiñada máxima es el μrad 3, si asumimos D = 10m m y θ = 45o, entonces el e=e=xy 21 nanómetro. Esto se interpreta correctamente como desvío de colocación relativo sobre el rango entero de la medición del μm 20. El desvío relativo es por lo tanto igual a 0,1% por este ejemplo.

Nanotecnología de AZoNano - mediciones Reales de la Guiñada, del Tono y de la Lista en un escenario nanopositioning.

. Mediciones Reales de la Guiñada, del Tono y de la Lista en un escenario nanopositioning.

Amplificadores Puros del Movimiento

Para lograr el movimiento del rango largo en una huella moderada el movimiento del piezoactuator se amplifica a menudo. Amplificar el movimiento de un piezoactuator puede dar lugar al movimiento acoplado parásito. Entre estos movimientos parásitos son la introducción de rotaciones sobre el X, Y o Z-AXIS, y el empalme directo de una traslación del eje de X a las traslaciones de un eje de Y. Estos movimientos parásitos son Muy a menudo no reproductivos haciéndolos difíciles o costosos corregir para, haciéndolos imposibles empinadura hacia adentro en un objeto o haciéndolos imposibles lograr proyección de imagen absoluta. Por ejemplo, varios nanopositioners en el mercado utilizan paralelogramos u otros tipos de amplificadores, que introducen desvíos rotatorios. Tal dispositivo se muestra esquemáticamente abajo, donde están evidentes los movimientos acoplados.

Diagrama Esquemático de los amplificadores del paralelogramo que pueden introducir desvíos rotatorios.

Los amplificadores del Paralelogramo y los dispositivos similares no se utilizan en nanopositioners Enojados de los Laboratorios de la Ciudad. En los nanopositioners Enojados “Amplificadores Puros de los Laboratorios de la Ciudad del Movimiento” se utilizan para lograr la amplificación mecánica. Los Amplificadores Puros del Movimiento son diseñados por un conjunto de las reglas estricto, que disminuyen movimientos acoplados entre el eje, nosotros logran típicamente 10 microradians o menos del tono de la lista y derrapan en nuestros escenarios de la exploración de 100 micrones. Esto traduce a un desvío de medición de 1 nanómetro en 100 micrones, o a 0,001% desvíos. No hay Además empalme directo entre el X y Y-AXIS. Por Lo Tanto la imagen de los 10 micrones x cuadrado de 10 micrones es los 10 micrones x cuadrado de 10 micrones usando los Laboratorios Enojados de una Ciudad nanopositioning el sistema.

Fuente: Laboratorios Enojados de la Ciudad.

Para más información sobre esta fuente visite por favor los Laboratorios Enojados de la Ciudad.

Date Added: Jun 21, 2005 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 01:48

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