Nanopositioning Stationne - Mouvement Accouplé dans Nanopositioners - des Données de Fournisseur par les Laboratoires Fous de Ville

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Mouvement Propre

Nanopositioning Stationne - Mouvement Accouplé dans Nanopositioners - des Données de Fournisseur par les Laboratoires Fous de Ville

Mouvement Accouplé de Compréhension et Son Effet sur Nanopositioning

Prévoir des Erreurs Positionnantes

Exemples d'Hauteur De Son et de Rouleau de Lacet à un Stade Fou de Nanopositioning de Laboratoires de Ville

Amplificateurs Purs de Mouvement

Mouvement Propre

Tous Les stades Fous de Nanopositioning de Laboratoires de Ville sont conçus et fabriqués dans le but de réduire à un minimum ou d'éliminer le mouvement accouplé. En réduisant à un minimum le mouvement accouplé, le mouvement linéaire pur est réalisé. Les stades nanopositioning Purs de mouvement linéaire donnent des résultats exacts : la taille et forme des objectifs que vous mesurez dans des applications de microscopie sont correcte, le stade se comporte identiquement l'utilisation dans l'avant et les directions inverses, et la position le long de chaque axe est indépendant de la position le long des autres haches.

Mouvement Accouplé de Compréhension et Son Effet sur Nanopositioning

Pour il a accouplé le mouvement et les effets qu'il a sur nanopositioning, il est appropriée concentrer comprendre sur les mouvements accouplés angulaires du rouleau, de l'hauteur de son, et du lacet. Dans le chiffre ci-dessous, les cornières du rouleau, l'hauteur de son et le lacet sont définis pour un stade nanopositioning de Ville d'axe unique Fol normal de Laboratoires.

Schéma affichant les mouvements relatifs du lacet, de l'hauteur de son et du rouleau.

Prévoir des Erreurs Positionnantes

Les erreurs positionnantes dues au mouvement accouplé sont facilement prévues. À titre d'exemple nous définissons l'Axe Des Abscisses comme sens de traduction et déterminons les erreurs positionnantes devant Embarder dans le plan DE X/Y. Les erreurs positionnantes sont à la charge d'à quelle distance le point d'intérêt est situé du centre de stade, D, et sur sa position angulaire, le θ, voient le chiffre ci-dessous. Les erreurs positionnantes sont θx de cos d'e=D (Lacet) et θy de péché d'e=D (Lacet). Des relations Assimilées peuvent être dérivées pour le rouleau et l'hauteur de son.

La Relation entre le Lacet et la distance du stade centrent.

Les Exemples du Lacet Lancent et Roulent à un Stade Fou de Nanopositioning de Laboratoires de Ville

Chaque stade Fou de Nanopositioning de Laboratoires de Ville est mesuré le rouleau, l'hauteur de son et le lacet pendant le test de la production finale. Les Exemples de telles mesures sont donnés dans les chiffres ci-dessous.  Utilisant ces exemples nous pouvons prévoir ex et E.y Le Lacet maximum est le μrad 3, si nous supposons D = 10mm et θ = 45o, puis l'e=e=xy 21 nanomètre. Ceci est correctement interprété comme erreur positionnante relative sur le domaine entier de mesure du μm 20. L'erreur relative est pour cette raison égal à 0,1% pour cet exemple.

Nanotechnologie d'AZoNano - mesures Réelles de Lacet, d'Hauteur De Son et de Rouleau à un stade nanopositioning.

. Mesures Réelles de Lacet, d'Hauteur De Son et de Rouleau à un stade nanopositioning.

Amplificateurs Purs de Mouvement

Pour réaliser le mouvement de long terme dans une empreinte de pas modérée le mouvement de piezoactuator est souvent amplifié. Amplifier le mouvement d'un piezoactuator peut avoir comme conséquence le mouvement accouplé parasite. Parmi ces mouvements parasites sont l'introduction des rotations au sujet du X, Y ou Axe des z, et le raccordement direct d'une traduction d'Axe des abscisses aux traductions d'un Axe des ordonnées. Bien souvent ces mouvements parasites sont non reproductibles les rendant difficiles ou chers à rectifier pour, les rendant impossibles à changer de plan dedans sur un objectif ou les rendant impossibles de réaliser la représentation absolue. Par exemple, un certain nombre de nanopositioners sur le marché utilisent des parallélogrammes ou d'autres types d'amplificateurs, qui introduisent des erreurs rotationnelles. Un Tel dispositif est affiché schématiquement ci-dessous, où les mouvements accouplés sont évidents.

Schéma des amplificateurs de parallélogramme qui peuvent introduire des erreurs rotationnelles.

Des amplificateurs de Parallélogramme et les dispositifs assimilés ne sont pas utilisés dans des nanopositioners Fous de Laboratoires de Ville. Dans des nanopositioners Fous « Amplificateurs Purs de Laboratoires de Ville de Mouvement » sont utilisés pour réaliser l'amplification mécanique. Des Amplificateurs Purs de Mouvement sont conçus par un ensemble de règles strict, qui réduisent à un minimum des mouvements accouplés entre l'axe, type nous réalisent 10 microradians ou moins d'hauteur de son de rouleau et embardent dans nos stades de lecture de 100 microns. Ceci traduit à une erreur de mesure de 1 nanomètre dans 100 microns, ou à 0,001% erreurs. Supplémentaire il n'y a aucun raccordement direct entre le X et l'Axe des y. Par Conséquent l'image des 10 microns X carré de 10 microns est des 10 microns X carré de 10 microns utilisant les Laboratoires Fous d'une Ville nanopositioning le système.

Source : Laboratoires Fous de Ville.

Pour plus d'informations sur cette source visitez s'il vous plaît les Laboratoires Fous de Ville.

Date Added: Jun 21, 2005 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 01:22

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