Nanopositioning चरणों Nanopositioners में युग्मित मोशन - पागल सिटी लैब्स द्वारा प्रदायक डेटा

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पृष्ठभूमि

Nanopositioning चरणों Nanopositioners में युग्मित मोशन - पागल सिटी लैब्स द्वारा प्रदायक डेटा

युग्मित और Nanopositioning पर इसके प्रभाव मोशन को समझना

गिना पोजिशनिंग त्रुटियों

रास्ते से हटना पिच और रोल की एक पागल सिटी लैब्स Nanopositioning स्टेज में उदाहरण

शुद्ध मोशन एम्पलीफायरों

पृष्ठभूमि

सभी पागल सिटी लैब्स Nanopositioning चरणों का डिजाइन और मिलकर गति कम से कम या नष्ट करने के लक्ष्य के साथ निर्मित कर रहे हैं. मिलकर गति को कम करके, शुद्ध रेखीय गति हासिल की है. शुद्ध रेखीय गति nanopositioning चरणों सटीक परिणाम दे: आकार और वस्तुओं के आकार माइक्रोस्कोपी अनुप्रयोगों में आप उपाय सही हैं, मंच के समान बर्ताव करती है आगे और रिवर्स दिशाओं में चल रहे हैं, और प्रत्येक अक्ष के साथ स्थिति की स्थिति अन्य axes साथ स्वतंत्र है .

युग्मित और Nanopositioning पर इसके प्रभाव मोशन को समझना

मिलकर nanopositioning पर गति और प्रभाव यह है समझने के लिए, यह रोल के मिलकर कोणीय गति, पिच, और रास्ते से हटना पर ध्यान केंद्रित करने के लिए उपयुक्त है. आंकड़ा नीचे में, रोल, पिच और रास्ते से हटना का कोण के लिए एक मानक में परिभाषित कर रहे हैं पागल सिटी लैब्स एकल अक्ष nanopositioning मंच.

AZoNano नैनो - एक nanopositioning चरण में योजनाबद्ध रास्ते से हटना, पिच और रोल के सापेक्ष गति दिखा.

चित्रा 1 रास्ते से हटना, पिच और रोल के रिश्तेदार गतियों दिखा योजनाबद्ध .

गिना पोजिशनिंग त्रुटियों

स्थिति मिलकर गति के कारण त्रुटियों को आसानी से गणना कर रहे हैं. उदाहरण के वैसे हम अनुवाद दिशा के रूप में एक्स अक्ष को परिभाषित करने और स्थिति त्रुटियों को XY विमान में रास्ते से हटना के कारण निर्धारित. स्थिति त्रुटियों कितनी दूर ब्याज की बिंदु से मंच केन्द्र, विकास, और अपने कोणीय स्थिति, θ पर स्थित है पर निर्भर कर रहे हैं, नीचे आंकड़ा देखें. स्थिति त्रुटियों ई एक्स = डी (रास्ते से हटना) क्योंकि θ और ई y = डी (रास्ते से हटना) पाप θ. इसी तरह के रिश्तों को रोल और पिच के लिए प्राप्त किया जा सकता है.

AZoNano नैनो - रास्ते से हटना और एक nanopositioning चरण के लिए मंच के केंद्र से दूरी के बीच संबंध.

चित्रा 2 रास्ते से हटना और मंच के केंद्र से दूरी के बीच संबंध .

रास्ते से हटना पिच और रोल की एक पागल सिटी लैब्स Nanopositioning स्टेज में उदाहरण

हर पागल सिटी लैब्स Nanopositioning चरण रोल, और अंतिम उत्पादन के परीक्षण के दौरान पिच और रास्ते से हटना के लिए मापा जाता है. इस तरह के मापन के उदाहरण नीचे दिए गए आंकड़ों में दी जाती है. इन उदाहरणों का प्रयोग हम ई x और y ई की गणना कर सकते हैं . अधिकतम रास्ते से हटना 3 μrad है, अगर हम मान लें डी = 10mm और θ 45 = ओ, तो ई एक्स = ई y = 21 एनएम. यह सही ढंग से 20 सुक्ष्ममापी की पूरी माप रेंज भर में एक रिश्तेदार पोजीशनिंग त्रुटि के रूप में व्याख्या की है. रिश्तेदार त्रुटि इसलिए इस उदाहरण के लिए 0.1% के बराबर है.

AZoNano नैनो - रास्ते से हटना, और एक nanopositioning चरण में पिच और रोल के वास्तविक माप.

चित्रा 3. रास्ते से हटना, और एक nanopositioning चरण में पिच और रोल के वास्तविक माप .

शुद्ध मोशन एम्पलीफायरों

Piezoactuator गति अक्सर परिलक्षित होता है एक उदारवादी पदचिह्न में लंबी दूरी की गति को प्राप्त करने. Piezoactuator की गति amplifying परजीवी मिलकर गति में परिणाम कर सकते हैं. इन परजीवी गतियों में एक्स, वाई या z-अक्ष के बारे में rotations की शुरूआत है, और एक्स अक्ष y अक्ष अनुवाद अनुवाद की प्रत्यक्ष युग्मन हैं. अक्सर इन परजीवी गतियों गैर प्रतिलिपि प्रस्तुत करने योग्य उन्हें मुश्किल या सही करने के लिए महंगा बना रही है, यह एक वस्तु पर ज़ूम करने के लिए असंभव बना या पूर्ण इमेजिंग प्राप्त करने के लिए यह असंभव बना रहे हैं. उदाहरण के लिए, बाजार पर nanopositioners के एक नंबर parallelograms या एम्पलीफायरों, जो घूर्णी त्रुटियों परिचय के अन्य प्रकार का उपयोग करें. इस तरह के एक उपकरण के रेखाचित्र के रूप में नीचे दिखाया गया है, जहां मिलकर गतियों स्पष्ट कर रहे हैं.

AZoNano नैनो - parallelogram एम्पलीफायरों के योजनाबद्ध है जो nanopositioning चरणों में घूर्णी त्रुटियों को लागू कर सकते हैं.

चित्रा 4 parallelogram एम्पलीफायरों जो घूर्णी त्रुटियों को लागू कर सकते हैं के योजनाबद्ध .

चतुर्भुज एम्पलीफायरों और इसी तरह के उपकरणों में इस्तेमाल नहीं कर रहे पागल सिटी लैब्स nanopositioners. इन पागल सिटी लैब्स nanopositioners "शुद्ध मोशन एम्पलीफायरों" यांत्रिक प्रवर्धन प्राप्त करने के लिए उपयोग किया जाता है. शुद्ध मोशन एम्पलीफायरों नियमों, जो अक्ष के बीच मिलकर गतियों को कम से कम, आम तौर पर हम रोल और हमारे 100 माइक्रोन स्कैनिंग चरणों में पिच और रास्ते से हटना के 10 या उससे कम microradians प्राप्त करने का एक सख्त सेट द्वारा डिजाइन किए हैं. 100 microns, या 0.001% त्रुटि में 1 एनएम के एक त्रुटि को मापने के लिए यह अनुवाद. इसके अलावा वहाँ एक्स और Y-अक्ष के बीच कोई प्रत्यक्ष युग्मन है. इसलिए एक 10 माइक्रोन x 10 माइक्रोन वर्ग की छवि एक 10 माइक्रोन x 10 माइक्रोन एक एक का उपयोग कर वर्ग पागल सिटी लैब्स nanopositioning प्रणाली.

स्रोत: मैड सिटी लैब्स.

इस स्रोत के बारे में अधिक जानकारी के लिए कृपया देखें मैड सिटी लैब्स.

Date Added: Jun 21, 2005

Last Update: 3. October 2011 18:22

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