Nanopositioning は - Nanopositioners のつながれた動き - 製造者データを上演します気違い都市実験室によって

カバーされるトピック

背景

Nanopositioning は - Nanopositioners のつながれた動き - 製造者データを上演します気違い都市実験室によって

Nanopositioning に対する理解のつながれた動きそして効果

位置誤差の計算

都市実験室の Nanopositioning の気違い段階のヨーイングピッチそしてロールの例

純粋な動きのアンプ

背景

都市実験室の Nanopositioning のすべての気違い段階はつながれた動きを最小化するか、または除去することの目的と設計され、製造されます。 つながれた動きの最小化によって、純粋な直線運動は達成されます。 純粋な直線運動の nanopositioning 段階は正確な結果を与えます: あなたが顕微鏡検査アプリケーションで測定する目的の形そしてサイズは正しいです、段階は前方および逆方向の全く同じに実行を動作し、各軸線に沿う位置は他の斧に沿う位置の独立です。

Nanopositioning に対する理解のつながれた動きそして効果

理解することは nanopositioning で持っている効果および動き、それをですロール、ピッチおよびヨーイングの角のつながれた動きに集中してが適切つなぎました。 次図では、ローリング角、ピッチおよびヨーイングは標準気違い都市実験室の単一の軸線の nanopositioning 段階のために定義されます。

ヨーイング、ピッチおよびロールの相対運動を示す設計図。

位置誤差の計算

つながれた動きによる位置誤差は容易に計算されます。 一例として私達は変換の方向と X 軸を定義し、 X-Y 平面でヨーイングすること当然の位置誤差を定めます。 位置誤差はθが、次図を見るかどの位までに興味のポイントが段階の中心、 D から、そして角位置にあるか依存しています。 位置誤差は e=D (xヨーイング) の Cos のθおよび e=D (yヨーイング) の罪のθです。 同じような関係はロールおよびピッチのために得ることができます。

段階からのヨーイングと間隔間の関係は集中します。

ヨーイングの例は都市実験室の Nanopositioning の気違い段階で投げ、転送します

都市実験室の Nanopositioning のあらゆる気違い段階は最終的な生産のテストの間にロール、ピッチおよびヨーイングのために測定されます。 そのような測定の例は次図に示されています。  これらの例を使用して私達は e および E. をx 計算してもいいです。y 最大ヨーイングは私達が D = 10mm およびθ = 45 仮定すれば 3 μrad、oそして e=e= 21xy nm です。 これは 20 μm の全体の測定の範囲上の相対的な位置誤差として正しく解読されます。 従って相対誤差はこの例のための 0.1% へ同輩です。

AZoNano のナノテクノロジー - nanopositioning 段階のヨーイング、ピッチおよびロールの実際の測定。

。 nanopositioning 段階のヨーイング、ピッチおよびロールの実際の測定。

純粋な動きのアンプ

適当な足跡の長距離動きを達成するためには piezoactuator の動きは頻繁に増幅されます。 piezoactuator の動きを増幅することは寄生つながれた動きで起因できます。 これらの寄生動きの間で X についての回転の導入、 X 軸の変換の Y または Z 軸および Y軸の変換への直接結合はあります。 かなり頻繁にこれらの寄生動きは非再生可能でそれらをを修正すること困難にか高いさせ目的で急上昇することを不可能にするか、または絶対イメージ投射を達成することを不可能にします。 例えば、市場のいくつかの nanopositioners はアンプをの平行四辺形か回転エラーをもたらす他のタイプ使用します。 そのような装置はつながれた動きが明白であるところで、図式的に次示されています。

回転エラーをもたらすことができる平行四辺形のアンプの設計図。

平行四辺形のアンプおよび同じような装置は気違い都市実験室の nanopositioners で使用されません。 気違い都市実験室の nanopositioners 「純粋な動きのアンプで」機械拡大を達成するのに使用されています。 純粋な動きのアンプは軸線間のつながれた動きを最小化する厳密な一組の規則によって、普通私達達成し、 10 の microradians またはロールピッチのより少しを私達の 100 ミクロンのスキャンの段階でヨーイングします設計されています。 これは 100 ミクロンの 1 nm の測定のエラー、か 0.001% のエラーに変換します。 さらに X と Y軸間に直接結合がありません。 従って 10 ミクロン X の画像はシステムを nanopositioning 気違い都市実験室を使用して 10 ミクロンの正方形 10 ミクロン X 10 ミクロンの正方形です。

ソース: 気違い都市実験室。

このソースのより多くの情報のために気違い都市実験室を訪問して下さい。

Date Added: Jun 21, 2005 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 01:30

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