Nanopositioning는 - Nanopositioners에 있는 결합된 움직임 - 공급자 데이터를 상연합니다 미친 도시 실험실에 의하여

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Nanopositioning는 - Nanopositioners에 있는 결합된 움직임 - 공급자 데이터를 상연합니다 미친 도시 실험실에 의하여

Nanopositioning에 대한 이해 결합된 움직임 그리고 그것의 효력

위치 오차 산출

도시 실험실 Nanopositioning 미친 단계에 있는 침로에서 벗어남 피치 그리고 롤의 보기

순수한 움직임 증폭기

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도시 실험실 Nanopositioning 모든 미친 단계는 결합된 움직임 극소화하거나 삭제하기의 목표로 디자인되고 제조됩니다. 결합된 움직임을 극소화해서, 순수한 선형 운동은 달성됩니다. 순수한 선형 운동 nanopositioning 단계는 정확한 결과를 줍니다: 당신이 현미경 검사법 응용에서 측정하는 객체의 모양 그리고 규모는 정확합니다, 단계는 앞으로와 역 방향에서 동일하게 달리기 작동하고, 각 축선에 따라서 위치는 그밖 도끼에 따라서 위치의 무소속자입니다.

Nanopositioning에 대한 이해 결합된 움직임 그리고 그것의 효력

이해하는 것은 nanopositioning에 가지고 있는 효력과 움직임, 그것을 롤, 피치 및 침로에서 벗어남의 모난 결합한 움직임에 집중하기 적합합니다 결합했습니다. 아래에 숫자에서는, 롤의 각, 피치 및 침로에서 벗어남은 표준 미친 도시 실험실 단 하나 축선 nanopositioning 단계를 위해 정의됩니다.

침로에서 벗어남, 피치 및 롤의 상대 운동을 보여주는 개략도.

위치 오차 산출

결합된 움직임 때문에 위치 오차는 쉽게 산출됩니다. 예로 우리는 번역 방향으로 X-축을 정의하고 XY 비행기에서 침로에서 벗어나게 만기가 된 위치 오차를 결정합니다. 위치 오차는 θ가, 아래에 숫자를 보는지 관심사 적 관점이 얼마나 단계 센터, D에서, 그리고 그것의 각위치에 있는지 에 의지하고 있습니다. 위치 오차는 e=D (x침로에서 벗어남) cos θ와 e=D (y침로에서 벗어남) 죄악 θ입니다. 유사한 관계는 롤과 피치를 위해 파생될 수 있습니다.

단계에서 침로에서 벗어남과 거리 사이 관계는 중심에 둡니다.

침로에서 벗어남의 보기는 도시 실험실 Nanopositioning 미친 단계에서 투구하고 구릅니다

도시 실험실 Nanopositioning 각 미친 단계는 최종 생산품 테스트 도중 롤, 피치 및 침로에서 벗어남을 위해 측정됩니다. 그 같은 측정의 보기는 아래에 숫자에 나타납니다.  이 보기를 사용하여 우리는 e와 E.를x 산출해서 좋습니다.y 최대 침로에서 벗어남은 우리가 D = 10mm와 θ = 45 가정하는 경우에 3 μrad,o 그 후에 e=e= 21xy nm입니다. 이것은 20 μm의 전체 측정 범위에 상대적인 위치 오차로 정확하게 해석됩니다. 상대 오차는 이 보기를 위해 0.1%에 그러므로 동등한 것입니다.

AZoNano 나노 과학 - nanopositioning 단계에 있는 침로에서 벗어남, 피치 및 롤의 실제적인 측정.

. nanopositioning 단계에 있는 침로에서 벗어남, 피치 및 롤의 실제적인 측정.

순수한 움직임 증폭기

온건한 발자국에 있는 장거리 움직임을 달성하기 위하여는 piezoactuator 움직임은 수시로 증폭됩니다. piezoactuator의 움직임을 증폭하는 것은 기생하는 결합한 움직임 귀착될 수 있습니다. 이 기생하는 움직임 사이에서 X에 관하여 교체의 소개, X-축 번역의 Y 또는 Z 축선 및 Y-축 번역에 직접 결합은 입니다. 확실히 수시로 이 기생하는 움직임은 비 재생 가능하 그(것)들을 를 교정하게 어렵거나 비싼 시키고, 객체 에 확대하 것을 불가능한 하거나 절대적인 화상 진찰을 달성하 것을 불가능한 하. 예를 들면, 시장에 다수 nanopositioners는 회전 과실을 소개하는 증폭기의 평행 4변형 또는 그밖 모형을 이용합니다. 그런 장치는 결합한 움직임이 분명한 곳에, 개요로 아래에 보여집니다.

회전 과실을 소개할 수 있는 평행 4변형 증폭기의 개략도.

평행 4변형 증폭기와 유사한 장치는 미친 도시 실험실 nanopositioners에서 사용되지 않습니다. 미친 도시 실험실 nanopositioners "순수한 움직임 증폭기에서" 기계적인 확대를 달성하기 위하여 사용됩니다. 순수한 움직임 증폭기는 엄격한 규칙에 의해 축선 사이 결합한 움직임을 극소화하는, 전형적으로 우리 달성하고 10의 microradians 롤 피치의 더 적은을 우리의 100개 미크론 스캐닝 단계에서 침로에서 벗어납니다 디자인됩니다. 이것은 100개 미크론에 있는 1 nm의 측정 과실, 또는 0.001% 과실로 변환합니다. 게다가 X와 Y-축 사이 직접 결합이 없습니다. 그러므로 미크론 10 x의 심상은 시스템을 nanopositioning 미친 도시 실험실을 사용하여 10 미크론 사각 미크론 10 x 10 미크론 사각입니다.

근원: 미친 도시 실험실.

이 근원에 추가 정보를 위해 미친 도시 실험실을 방문하십시오.

Date Added: Jun 21, 2005 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 01:33

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