De Stadia van Nanopositioning - Gekoppelde Motie in Nanopositioners - de Gegevens van de Leverancier door de Gekke Laboratoria van de Stad

Besproken Onderwerpen

Achtergrond

De Stadia van Nanopositioning - Gekoppelde Motie in Nanopositioners - de Gegevens van de Leverancier door de Gekke Laboratoria van de Stad

Het Begrip van Gekoppelde Motie en Zijn Effect op Nanopositioning

Het Berekenen van het Plaatsen Fouten

Voorbeelden van de Hoogte en het Broodje van de Slingering in een Gek Stadium van Nanopositioning van de Laboratoria van de Stad

De Zuivere Versterkers van de Motie

Achtergrond

Alle Gekke stadia van Nanopositioning van de Laboratoria van de Stad worden ontworpen en met het doel om vervaardigd gekoppelde motie te minimaliseren of te elimineren. Door gekoppelde motie te minimaliseren, wordt de zuivere lineaire motie bereikt. De Zuivere lineaire motie nanopositioning stadia geven nauwkeurige resultaten: de vorm en de grootte van voorwerpen u in de microscopietoepassingen correct bent meet, gedraagt het stadium zich identiek lopend in de voorwaartse en omgekeerde richtingen, en de positie langs elke as is onafhankelijk van de positie langs de andere assen.

Het Begrip van Gekoppelde Motie en Zijn Effect op Nanopositioning

Om gekoppelde motie en de invloed te begrijpen het bij het nanopositioning heeft, is het aangewezen zich op de hoekige gekoppelde moties van broodje, hoogte, en slingering concentreren. In de figuur hieronder, worden de hoeken van broodje, hoogte en slingering bepaald voor standaard Gek één enkel de as nanopositioning stadium van de Laboratoria van de Stad.

Schema die de relatieve moties van slingering, hoogte en broodje tonen.

Het Berekenen het Plaatsen Fouten

De het plaatsen fouten toe te schrijven aan gekoppelde motie worden gemakkelijk berekend. Als voorbeeld definiëren wij de x-As als vertaalrichting en bepalen de het plaatsen fouten toe te schrijven aan Slingering in het X-Y vliegtuig. De het plaatsen fouten zijn afhankelijk van hoe ver het aandachtspunt van het stadiumcentrum, D wordt gevestigd, en op zijn hoekige positie, θ, hieronder figuur ziet. De het plaatsen fouten zijn (xSlingering) zonde e=D (Slingering)y cos. θ en e=D θ. De Gelijkaardige verhoudingen kunnen voor broodje en hoogte worden afgeleid.

Verband tussen Slingering en afstand van stadiumcentrum.

Voorbeelden van de Hoogte en het Broodje van de Slingering in een Gek Stadium van Nanopositioning van de Laboratoria van de Stad

Elk Gek stadium van Nanopositioning van de Laboratoria van de Stad wordt gemeten voor broodje, hoogte en slingering tijdens definitieve productie het testen. De Voorbeelden van dergelijke metingen worden gegeven in de hieronder figuren.  Gebruikend deze voorbeelden kunnen wij e enx e. berekenen.y De maximumSlingering is 3 μrad, als wij D = 10mm en θ = 45,o toen e=e= 21xy NM veronderstellen. Dit wordt correct geïnterpreteerd als relatieve het plaatsen fout over de volledige metingswaaier van 20 μm. De relatieve fout is daarom gelijk aan 0.1% dit bijvoorbeeld.

De Nanotechnologie van AZoNano - Daadwerkelijke metingen van Slingering, Hoogte en Broodje in een nanopositioning stadium.

. Daadwerkelijke metingen van Slingering, Hoogte en Broodje in een nanopositioning stadium.

De Zuivere Versterkers van de Motie

Om lange waaiermotie in een gematigde voetafdruk te bereiken wordt de piezoactuatormotie vaak vergroot. Het Vergroten van de motie van een piezoactuator kan in parasitische gekoppelde motie resulteren. Onder deze parasitische moties zijn de introductie van omwentelingen over X, Y of z-As, en de directe koppeling van een x- asvertaling aan een y- asvertalingen. Vrij vaak zijn deze parasitische moties niet reproduceerbaar makend hen moeilijk of duur om te verbeteren voor, makend het onmogelijk om binnen op een voorwerp te zoemen of makend het onmogelijk om absolute weergave te bereiken. Bijvoorbeeld, gebruiken een aantal nanopositioners op de markt parallellogrammen of andere types van versterkers, die rotatiefouten introduceren. Zulk een apparaat wordt getoond schematisch hieronder, waar de gekoppelde moties duidelijk zijn.

Schema van parallellogramversterkers dat rotatiefouten kan introduceren.

De versterkers van de Parallellogram en de gelijkaardige apparaten worden niet gebruikt in Gekke nanopositioners van de Laboratoria van de Stad. In Gekke nanopositioners van de Laboratoria van de Stad de „Zuivere Versterkers van de Motie worden“ gebruikt om de mechanische versterking te bereiken. De Zuivere Versterkers van de Motie worden ontworpen door een strikte reeks regels, die gekoppelde moties tussen de as minimaliseren, typisch wij bereiken 10 microradians of minder van broodjeshoogte en slingering in onze stadia van het 100 micronsaftasten. Dit vertaalt aan een het meten fout van 1 NM in 100 microns, of 0.001% fout. Bovendien er is geen directe koppeling tussen X en de y-As. Daarom is het beeld van een 10 micron x 10 micronvierkant een 10 micron x 10 micronvierkant die Laboratoria die van een de Gekke Stad gebruiken systeem nanopositioning.

Bron: De Gekke Laboratoria van de Stad.

Voor meer informatie over deze bron te bezoeken gelieve de Gekke Laboratoria van de Stad.

Date Added: Jun 21, 2005 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 01:19

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this article?

Leave your feedback
Submit