Nanopositioning Ставит - Связанное Движение в Nanopositioners - Данные По Поставщика Сумашедшими Лабораториями Города

Покрытые Темы

Предпосылка

Nanopositioning Ставит - Связанное Движение в Nanopositioners - Данные По Поставщика Сумашедшими Лабораториями Города

Понимая Связанное Движение и Свое Влияние на Nanopositioning

Высчитывать Располагая Ошибки

Примеры Тангажа и Крена Рыскания в Сумашедшем Этапе Nanopositioning Лабораторий Города

Чисто Усилители Движения

Предпосылка

Все Сумашедшие этапы Nanopositioning Лабораторий Города конструированы и изготовлены с целью уменьшать или исключать связанное движение. Путем уменьшать связанное движение, чисто линейное движение достигано. Чисто этапы линейного движения nanopositioning дают точные результаты: форма и размер предметов вы измеряете в применениях микроскопии правильны, этап поступает идентично работать в переднем и обратных направлениях, и положение вдоль каждой оси независимый положения вдоль других осей.

Понимая Связанное Движение и Свое Влияние на Nanopositioning

Для того чтобы понять связанное движение и влияния оно имеет на nanopositioning, соотвествующее сконцентрировать на угловых связанных движениях крена, тангажа, и рыскания. В диаграмме ниже, углы крена, тангаж и рыскание определены для этапа стандартной Сумашедшей оси Лабораторий Города одиночной nanopositioning.

Схема показывая относительные движения рыскания, тангажа и крена.

Высчитывать Располагая Ошибки

Располагая ошибки должные к связанному движению легко высчитаны. Через примера мы определяем X-Ось как направление перевода и определяем располагая ошибки должные для того чтобы Провести Разворот По Курсу в плоскости XY. Располагая ошибки зависел на как значительно пункт интереса расположен от центра этапа, D, и на своем угловом положении, θ, видят диаграмму ниже. Располагая ошибки θx cos e=D (Рыскания) и θy согрешения e=D (Рыскания). Подобные отношения можно вывести для крена и тангажа.

Отношение между Рысканием и расстоянием от этапа центризует.

Примеры Рыскания Сооружают и Свертывают в Сумашедшем Этапе Nanopositioning Лабораторий Города

Каждый Сумашедший этап Nanopositioning Лабораторий Города измерен для крена, тангажа и рыскания во время испытания окончательной продукции. Примеры таких измерений уступаны диаграммы ниже.  Используя эти примеры мы можем высчитать ex и E.y Максимальное Рыскание μrad 3, если мы принимаем D = 10mm и θ = 45o, то e=e=xy 21 nm. Это правильно интерпретировано как относительная располагая ошибка над всем рядом измерения μm 20. Относительная ошибка поэтому равный до 0,1% для этого примера.

Нанотехнология AZoNano - Натурные измерения Рыскания, Тангажа и Крена в nanopositioning этапе.

. Натурные измерения Рыскания, Тангажа и Крена в nanopositioning этапе.

Чисто Усилители Движения

Для того чтобы достигнуть движения долгосрочного в вмеру следе ноги движение piezoactuator часто усилено. Усиливать движение piezoactuator может привести к в паразитном связанном движении. Среди этих паразитных движений введение вращений о X, Y или Z-Ось, и сразу соединение перевода оси X к переводам Y-osи. Довольно часто эти паразитные движения non возпроизводимые делающ их трудной или дороге к вводить поправку на, делающ его невозможной просигналить внутри на предмете или делающ его невозможной достигнуть абсолютного воображения. Например, несколько nanopositioners на рынке используют параллелограммы или другие типы усилителей, которые вводят вращательные ошибки. Такой прибор показан схематически ниже, где связанные движения очевидны.

Схема усилителей параллелограмма которые могут ввести вращательные ошибки.

Усилители Параллелограмма и подобные приборы не использованы в Сумашедших nanopositioners Лабораторий Города. В Сумашедших nanopositioners «Чисто Усилителях Лабораторий Города Движения» используйте для того чтобы достигнуть механически амплификации. Чисто Усилители Движения конструированы строгим комплектом правил, которые уменьшают связанные движения между осью, типично мы достигают 10 microradians или из тангажа крена и проводят разворот по курсу в наших этапах скеннирования 100 микронов. Это переводит до измеряя ошибка 1 nm в 100 микронах, или 0,001% ошибки. Дополнительно никакое сразу соединение между X и Y-osью. Поэтому изображение 10 микронов x квадрат 10 микронов 10 микронов x квадрат 10 микронов используя Лаборатории Сумашедшие Города nanopositioning система.

Источник: Сумашедшие Лаборатории Города.

Для больше информации на этом источнике пожалуйста посетите Сумашедшие Лаборатории Города.

Date Added: Jun 21, 2005 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 01:45

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this article?

Leave your feedback
Submit