Nanopositioning 由疯狂的城市实验室演出 - 耦合的行动在 Nanopositioners - 供应商数据

包括的事宜

背景

Nanopositioning 由疯狂的城市实验室演出 - 耦合的行动在 Nanopositioners - 供应商数据

了解的耦合的行动和其作用对 Nanopositioning

计算位置误差

弹道正切角间距和辊的示例进入一个疯狂的城市实验室 Nanopositioning 阶段

纯行动放大器

背景

所有疯狂的城市实验室 Nanopositioning 阶段设计并且制造打算使或消灭耦合的行动减到最小。 通过使耦合的行动减到最小,纯直线运动达到。 纯直线运动 nanopositioning 的阶段产生准确结果: 您在显微学应用评定对象的形状和范围是正确的,这个阶段正常运行相同运行在转接和反向,并且沿每个轴的位置是位置的独立沿其他轴的。

了解的耦合的行动和其作用对 Nanopositioning

要了解耦合了它有在 nanopositioning 的行动和作用,它是适当集中辊、间距和弹道正切角的有角耦合的行动。 在下面图,侧滚角,间距和弹道正切角为一个标准疯狂的城市实验室唯一轴 nanopositioning 的阶段被定义。

显示弹道正切角、间距和辊的相对运动的概要。

计算位置误差

位置误差由于耦合的行动容易地被计算。 举例来说我们在 X - Y 的飞机定义了 X轴作为转换方向并且确定由于的位置误差偏航。 位置误差依靠问题的利息多远位于从阶段中心, D 和其角位, θ,参见下面图。 位置误差是 e=Dx (弹道正切角) COS θ和 e=Dy (弹道正切角) 罪孽θ。 相似的关系可以为辊和间距派生。

弹道正切角和距离之间的关系从阶段集中。

弹道正切角的示例投并且滚进入疯狂的城市实验室 Nanopositioning 阶段

在最后生产测试期间,每个疯狂的城市实验室 Nanopositioning 阶段为辊、间距和弹道正切角被评定。 例子的这样评定在下面图举。  使用这些示例我们可以计算 ex 和 E。y 最大弹道正切角是 3 μrad,如果我们假设 D = 10mm 和θ = 45o,然后 e=e=xy 21 毫微米。 这正确地解释作为在 20 μm 的整个评定范围的一个相对位置误差。 因此这个相对误差是等于到 0.1% 此示例的。

AZoNano 纳米技术 - 弹道正切角、间距和辊的实际评定进入一个 nanopositioning 的阶段。

. 弹道正切角、间距和辊的实际评定进入一个 nanopositioning 的阶段。

纯行动放大器

要达到在一个中等脚印的长距离行动 piezoactuator 行动经常被放大。 放大 piezoactuator 的行动可能导致寄生耦合的行动。 在这些寄生行动中是循环的简介关于 X 的, Y 或者 Z轴和 X轴转换的直接耦合对 Y轴转换。 相当经常这些寄生行动是非再现的使他们难或消耗大更正为,使它不可能放大在对象或使它不可能达到绝对想象。 例如,在这个市场上的一定数量的 nanopositioners 使用平行四边形或放大器的其他类型,引入旋转的错误。 这样设备如下所示概要地,其中耦合的行动是明显的。

的平行四边形放大器概要可能引入旋转的错误。

平行四边形放大器和相似的设备没有用于疯狂的城市实验室 nanopositioners。 在疯狂的城市实验室 nanopositioners “纯行动放大器”使用达到机械放大作用。 纯行动放大器由一个严格的规则组在我们的 100 微米扫描阶段设计,使在这个轴之间的耦合的行动减到最小,我们典型地达到 10 microradians 或无足轻重辊间距并且偏航。 这在 100 微米转换为 1 毫微米一个评定的错误或者 0.001% 错误。 另外没有在 X 和 Y轴之间的直接耦合。 所以一 10 微米 x 的图象 10 微米正方形是一 10 微米 x 10 微米正方形使用一个 nanopositioning 系统的疯狂的城市实验室

来源: 疯狂的城市实验室。

关于此来源的更多信息请参观疯狂的城市实验室

Date Added: Jun 21, 2005 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 01:13

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