Nanopositioning 由瘋狂的城市實驗室演出 - 耦合的行動在 Nanopositioners - 供應商數據

包括的事宜

背景

Nanopositioning 由瘋狂的城市實驗室演出 - 耦合的行動在 Nanopositioners - 供應商數據

瞭解的耦合的行動和其作用對 Nanopositioning

計算位置誤差

彈道正切角間距和輥的示例進入一個瘋狂的城市實驗室 Nanopositioning 階段

純行動放大器

背景

所有瘋狂的城市實驗室 Nanopositioning 階段設計并且製造打算使或消滅耦合的行動減到最小。 通過使耦合的行動減到最小,純直線運動達到。 純直線運動 nanopositioning 的階段產生準確結果: 您在顯微學應用評定對象的形狀和範圍是正確的,這個階段正常運行相同運行在轉接和反向,并且沿每個軸的位置是位置的獨立沿其他軸的。

瞭解的耦合的行動和其作用對 Nanopositioning

要瞭解耦合了它有在 nanopositioning 的行動和作用,它是適當集中輥、間距和彈道正切角的有角耦合的行動。 在下面圖,側滾角,間距和彈道正切角為一個標準瘋狂的城市實驗室唯一軸 nanopositioning 的階段被定義。

顯示彈道正切角、間距和輥的相對運動的概要。

計算位置誤差

位置誤差由於耦合的行動容易地被計算。 舉例來說我們在 X - Y 的飛機定義了 X軸作為轉換方向并且確定由於的位置誤差偏航。 位置誤差依靠問題的利息多遠位於從階段中心, D 和其角位, θ,參見下面圖。 位置誤差是 e=Dx (彈道正切角) COS θ和 e=Dy (彈道正切角) 罪孽θ。 相似的關係可以為輥和間距派生。

彈道正切角和距離之間的關係從階段集中。

彈道正切角的示例投并且滾進入瘋狂的城市實驗室 Nanopositioning 階段

在最後生產測試期間,每個瘋狂的城市實驗室 Nanopositioning 階段為輥、間距和彈道正切角被評定。 例子的這樣評定在下面圖舉。  使用這些示例我們可以計算 ex 和 E。y 最大彈道正切角是 3 μrad,如果我們假設 D = 10mm 和θ = 45o,然後 e=e=xy 21 毫微米。 這正確地解釋作為在 20 μm 的整個評定範圍的一個相對位置誤差。 因此這個相對誤差是等於到 0.1% 此示例的。

AZoNano 納米技術 - 彈道正切角、間距和輥的實際評定進入一個 nanopositioning 的階段。

. 彈道正切角、間距和輥的實際評定進入一個 nanopositioning 的階段。

純行動放大器

要達到在一個中等腳印的長距離行動 piezoactuator 行動經常被放大。 放大 piezoactuator 的行動可能導致寄生耦合的行動。 在這些寄生行動中是循環的簡介關於 X 的, Y 或者 Z軸和 X軸轉換的直接耦合對 Y軸轉換。 相當經常這些寄生行動是非再現的使他們難或消耗大更正為,使它不可能放大在對象或使它不可能達到绝對想像。 例如,在這個市場上的一定數量的 nanopositioners 使用平行四邊形或放大器的其他類型,引入旋轉的錯誤。 這樣設備如下所示概要地,其中耦合的行動是明顯的。

的平行四邊形放大器概要可能引入旋轉的錯誤。

平行四邊形放大器和相似的設備沒有用於瘋狂的城市實驗室 nanopositioners。 在瘋狂的城市實驗室 nanopositioners 「純行動放大器」使用達到機械放大作用。 純行動放大器由一個嚴格的規則組在我們的 100 微米掃描階段設計,使在這個軸之間的耦合的行動減到最小,我們典型地達到 10 microradians 或無足輕重輥間距并且偏航。 這在 100 微米轉換為 1 毫微米一個評定的錯誤或者 0.001% 錯誤。 另外沒有在 X 和 Y軸之間的直接耦合。 所以一 10 微米 x 的圖像 10 微米正方形是一 10 微米 x 10 微米正方形使用一個 nanopositioning 系統的瘋狂的城市實驗室

來源: 瘋狂的城市實驗室。

關於此來源的更多信息请請參觀瘋狂的城市實驗室

Date Added: Jun 21, 2005 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 01:16

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