Το Συμβολόμετρο ΣΤΟΧΟΙ αντιπροσωπεύει πάνω από 20 χρόνια ηγετική ανάπτυξη αιχμής με αποτέλεσμα την εύκολη στη χρήση, ανθεκτικά προϊόντα, τα οποία έχουν βελτιστοποιηθεί ειδικά για κάθε εφαρμογή μέτρησης.  Ακρίβεια Μέσο Τυπικές ακρίβειες διατίθεται από αυτές τις εξαιρετικές πράξεις είναι οι εξής: · Μήκος: + 1 nm πάνω από 25 mm ή 1.000 χιλιοστά · Δόνηση: + 1 nm πάνω από 25 χιλιοστά · Γωνία: δευτερόλεπτα + 0,01 τόξο πάνω από 40 λεπτών τόξου · Αερίου διαθλαστικότητα: 2 x 10-8 πάνω από απεριόριστο εύρος · Υγρό διαθλαστικότητα: 1 x 10-6 επί απεριόριστο εύρος Συνθέσεις Μέσο Όλες οι διαμορφώσεις μέσου χτισμένο γύρω από την AIMS ™ Συμβολόμετρο (Adaptive Interferometric Σύστημα Μετρολογίας). Αυτό χρησιμοποιεί έναν ήλιο-νέον πηγή λέιζερ και μια Jamin τύπου διαχωριστή δέσμης κατά κατηγορίες για τις οποίες ενσωματώνουν τα κατάλληλα modules για κάθε συγκεκριμένο σενάριο μέτρησης. Πλεονεκτήματα της Συμβολόμετρο AIMS Ο σχεδιασμός της AIMS ™ Συμβολόμετρο έχει τα ακόλουθα χαρακτηριστικά πλεονεκτήματα: · Μέγιστη ευελιξία · Νανομετρικών ικανότητα · Πρακτικός σχεδιασμός · Αυτόματη ευθυγράμμιση · Εξαιρετικά σταθερό · Ευκολία στη χρήση · Ισχύει για εχθρικά περιβάλλοντα · Επεξεργαστής ελεγχόμενη · Διαμορφωμένη αναφοράς ανακλαστήρα Μέγιστη Ευελιξία Η πρωτοποριακή, κατοχυρωμένη με δίπλωμα ευρεσιτεχνίας οπτική διαμόρφωση αυτή μπορεί να χρησιμοποιηθεί ως μόνιμα εγκατεστημένο όργανο ή ενσωματώνονται σε πελάτη που καθορίζονται υλικού. Νανομετρικών Δυνατότητα Ο οπτικός σχεδιασμός της AIMS ™ Συμβολόμετρο διαχωριστή δέσμης εξαλείφει αυτόματα τα ανεπιθύμητα αντανακλάσεις από το οπτικό σύστημα. Μόνο η αναπόφευκτη "αυτο ευθυγραμμιστεί" αδέσποτα ταυτόχρονη με τη χρήση του κύβου-γωνία αντανακλαστήρες παραμένουν στο σύστημα και την "χειρότερη περίπτωση" αποτελέσματα από αυτά είναι σημαντικά χαμηλότερα από το επίπεδο subnanometric διαφορά μονοπάτι. Ιδανικό για τη μη επαφή, μη καταστρεπτική μέτρηση της μετατόπισης για MEMS συσκευές. Modular σχεδίασης Διαφορετικές αποδοτικές μονάδες μπορούν να χρησιμοποιηθούν χωρίς συμβιβασμό της απόδοσης. Ευθυγράμμιση Auto Οι δοκοί αναφοράς και μέτρησης ευθυγραμμίζονται αυτόματα σε μια κοινή κατεύθυνση με την αντανακλαστήρα συστήματα είναι στην ίδια "βραχίονα" της κάθε συμβολομέτρου. Αυτό έχει ως αποτέλεσμα οι δύο "common-μονοπάτι" και "μηδέν νεκρούς-μονοπάτι" τα χαρακτηριστικά των μετρήσεων για το όργανο. Ultra-Stable Κάθε συμβολόμετρο έχει σχεδιαστεί γύρω από ένα καινοτόμο common-μονοπάτι οπτική διαμόρφωση, η οποία εξασφαλίζει το σύστημα είναι ευαίσθητο σε ανεπιθύμητους μηχανικές αλλαγές και αλλαγές δείκτη διάθλασης του αέρα. Ευκολία στη χρήση Η χρήση του κύβου-γωνία αντανακλαστήρες απαιτεί μόνο δύο σχετικά βασικές ευθυγραμμίσεις για το συμβολόμετρο να λειτουργεί, αυτές είναι η υπέρθεση των αναφοράς και δοκάρια μέτρηση για να σχηματίσουν interferograms και για αυτά τα interferograms να πέσει πάνω φωτοανιχνευτές. Βέλτιστη αντίθεση γίνεται όταν τα δύο δοκάρια εντελώς υπερτίθενται. Ισχύει για εχθρικά περιβάλλοντα Με την εξέταση της αναφοράς και κινείται αντανακλαστήρες μέσω μιας κατάλληλης ποιότητας οπτικό παράθυρο, το συμβολόμετρο μπορεί να λειτουργήσει σε εξαιρετικά εχθρικά περιβάλλοντα, το όργανο την πραγματοποίηση υψηλής ακρίβειας "common-μονοπάτι" μέτρησης, ενώ εντελώς απομονωμένο από το περιβάλλον. Το εύρος των μετρήσεων του οργάνου ελέγχεται από το μήκος της συνοχής της επιλεγείσας πηγής ακτινοβολίας και των «offset φάσμα» από την απόκλιση της ακτίνας λέιζερ. Επεξεργαστής Ελεγχόμενη Ένα έθιμο σχεδιαστεί ηλεκτρονική μονάδα επεξεργασίας διασφαλίζει για κάθε συμβολόμετρο λειτουργεί με βέλτιστη απόδοση. Η μονάδα επεξεργασίας επιτρέπει επίσης στοιχεία από το συμβολόμετρο να είναι εξωτερικά εκτίθενται ή αποθηκεύονται σε έναν υπολογιστή. Διαμορφωμένη Αναφορά ανακλαστήρα Η μονάδα διαμορφωτή, σε συνδυασμό με ηλεκτρονική μονάδα οδήγησης του απασχολείται με τα ηλεκτρολογικά μηχανική σάρωση η οπτική διαδρομή της συμβολόμετρο. Αυτό διευκολύνει τόσο την οπτική ευθυγράμμιση του συστήματος και τη βαθμονόμηση των μαθηματικών τεχνική που εφαρμόστηκε στο λογισμικό για τη βελτιστοποίηση της ηλεκτρονικά σήματα. Ο έλεγχος που παρέχονται από τη μονάδα διασφαλίζει ότι το συμβολόμετρο AIMS σύστημα αντιλαμβάνεται τόσο νανομετρικών ευαισθησία της μέτρησης και της ακρίβειας. " Χαρακτηριστικά Η μοναδική ανακλαστήρα μονάδα ενσωματώνει οπτικό έλεγχο της ευθυγράμμισης και το κεφάλι Συμβολόμετρο περιέχει μια μικρο-επεξεργασία του διοικητικού συμβουλίου για οπτικο-ηλεκτρικές επεξεργασία σήματος και αυτόματη ηλεκτρονική βελτιστοποίηση. Το όργανο δεν επηρεάζεται από μηχανικές αλλαγές και ελαχιστοποιεί την ανάγκη για τους νεκρούς-μονοπάτι αποζημίωση λάθος.  Τεχνικά Χαρακτηριστικά | Εύρος Μέτρησης (mm) | Έως και 1.000 χιλιοστά | 25 χιλιοστά | Μετατόπιση εύρους (m) | Μέχρι 1m | Μέχρι 1m | Σύστημα Ανάλυση (nm) | Down to 1nm | Down to 1nm | Ονομαστική λέιζερ Μήκος κύματος (nm) | 632,8 | 632,8 | Laser Σταθερότητα συχνότητας | 2x10 -8 | 2x10 -8 | Λειτουργικά Θερμοκρασία Σειρά (° C) | 15-30 | 15-30 | Ατμοσφαιρική δείκτη διάθλασης Διόρθωση Παραλλαγή | | | - Πρότυπο | 1x10 -6 | 1x10 -6 | - Κυττάρων Incorporated Αερίου | 5x10 -8 | 5x10 -8 | Αντανακλαστήρα αυτόματο ηλεκτρονικό Βελτιστοποίηση | | | Ανακλαστήρα Τιμή Μετάφρασης (mm / s) | 300 | 300 | Αναφορά αντανακλαστήρας (mm) | 38 | 38 | Μετακίνηση αντανακλαστήρας (mm) | 15 | 15 | Επικεφαλής Inferometer (mm) | 98x96x56 | 98x96x56 | - Προ-ενισχυτής Διοικητικό Συμβούλιο (Sin / Cos αναλογικές εξόδους) | | | - Μικρο-επεξεργαστή Διοικητικού Συμβουλίου (Opto-ηλεκτρικό επεξεργασία σήματος) | | | Interface: Serial | RS232 | RS232 | Προμήθεια-Line Τάση (V) | 100-240 | 100-240 | Προμήθεια-Line Συχνότητα (Hz) | 47-60 | 47-60 |
|