| Les OBJECTIFS 
Exactitude d'Instrument Les exactitudes Particulières disponibles à ces instruments en suspens sont : · Longueur : + 1 nanomètre plus de 25 millimètres ou 1.000 millimètres · Vibration : + 1 nanomètre plus de 25 millimètres · Cornière : + 0,01 secondes d'arc plus de 40 minutes d'arc · Réfringence de Gaz : 2 x 10-8 sur le domaine illimité · Réfringence Liquide : 1 x 10-6 sur le domaine illimité Configurations d'Instrument Toutes Les configurations d'instrument sont établies autour de l'Interféromètre d'AIMS™ (Système Interférométrique Adaptatif de Métrologie). Ceci emploie une source de laser hélium-néon et une case De type Jamin de séparateur de faisceau en circuit à ce qui sont les modules appropriés joints pour chaque scénario particulier de mesure. Avantages de l'Interféromètre d'OBJECTIFS Le design de l'Interféromètre d'AIMS™ a les avantages distinctifs suivants : · Flexibilité maximale · Capacité de Nanometric · Design Modulaire · Cadrage Automatique · Ultra-stable · Simplicité d'utilisation · Applicable aux environnements hostiles · Compilateur réglé · Rétroreflecteur Modulé de référence Flexibilité Maximale La configuration optique novatrice et brevetée peut être utilisée comme instrument de manière permanente installé ou être comportée au matériel abonnée-spécifique. Capacité de Nanometric Le design optique du séparateur de faisceau d'Interféromètre d'AIMS™ élimine automatiquement des réflexions non désirées du système optique. Seulement les inévitables les bêtes perdues alignées « par individu » pour l'utilisation des rétroreflecteurs de cube-coin restent dans le système et les effets de « pire cas » de ces derniers est de manière significative ci-dessous le niveau subnanometric de différence de chemin. Dans Le Meilleur Des Cas adapté à la mesure de non contact et non destructive de déplacement pour des dispositifs de MEMS. Design Modulaire Différents modules rentables peuvent être employés sans n'importe quelle compromission de performance. Cadrage Automatique Les poutres de référence et de mesure sont automatiquement alignées dans un sens commun avec les systèmes de rétroreflecteur étant dans le même « bras » de chaque interféromètre. Ceci a comme conséquence des caractéristiques de mesure de « commun-chemin » et de « zéro mort-chemins » pour l'instrument. Ultra-stable Chaque interféromètre est conçu autour d'une configuration optique de commun-chemin novateur, qui s'assure que le système est peu sensible aux modifications mécaniques non désirées et Indice de réfraction d'air change. facilité d'utilisation L'utilisation des rétroreflecteurs de cube-coin exige de seulement deux cadrages relativement fondamentaux pour que l'interféromètre fonctionne, ceux-ci qui sont la superposition des poutres de référence et de mesure aux interférogrammes de forme et pour que ces interférogrammes tombent sur des détecteurs photoélectriques. Le contraste Optimum est réalisé quand les deux poutres sont complet superposées. Applicable aux Environnements Hostiles En examinant la référence et les rétroreflecteurs mobiles par un hublot optique de qualité adaptée, l'interféromètre peut être actionné dans les environnements extrêmement hostiles, l'instrument réalisant la mesure de « commun-chemin » de haute précision tandis que totalement d'isolement dans l'environnement. Le domaine de mesure de l'instrument est réglé par la longueur de cohérence de la source de radiothérapie choisie et du « domaine de décalage » par la divergence du faisceau laser. Compilateur Réglé Une unité de traitement électronique faite sur commande s'assure que chaque interféromètre fonctionne avec la performance optimale. L'unité de traitement permet également à des données de l'interféromètre d'être extérieurement affichées ou enregistrées dans un PC. Rétroreflecteur Modulé de Référence L'ensemble de modulateur, avec son ensemble électronique de gestionnaire est utilisé pour balayer électromécanique le chemin optique dans l'interféromètre. Ceci facilite le cadrage optique du système et l'étalonnage de la technique mathématique utilisée en logiciel pour optimiser les signes électroniques. Le contrôle fourni par l'ensemble s'assure que le système d'Interféromètre d'OBJECTIFS réalise la sensibilité nanometric et la précision de mesure.' Caractéristiques techniques Le seul ensemble de rétroreflecteur comporte des contrôles optiques de cadrage et la tête d'Interféromètre contient un carton de micro-informatique pour le traitement du signal opto-électrique et l'optimisation électronique automatique. L'instrument est peu sensible aux modifications mécaniques et réduit à un minimum le besoin de compensation d'erreur de mort-chemin. 
Petits Groupes Techniques | | | Chaîne de Mesure (millimètre) |
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| | Domaine Excentré (m) |
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| | Définition de Système (nanomètre) |
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| | Longueur D'onde Nominale de Laser (nanomètre) |
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| | Stabilité de Fréquence de Laser | -8 | -8 | | Opération (°C) |
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| | R.i. Variation Correction Atmosphérique | | | | - Norme | -6 | -6 | | - Cellule de Gaz Comportée | -8 | -8 | | Optimisation Électronique Automatique de Rétroreflecteur | | | | Tarifs de Traduction de Rétroreflecteur (mm/s) |
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| | Rétroreflecteur de Référence (millimètre) |
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| | Rétroreflecteur Mobile (millimètre) |
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| | Tête d'Inferometer (millimètre) |
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| | - Carton de Préamplificateur (Péché/Sorties Analogiques de Cos) | | | | - Carton de Microprocesseur (traitement du signal Opto-Électrique) | | | | Surface Adjacente : Séquentiel |
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| | Tension d'Alimentation-Line (v) |
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| | Fréquence d'Alimentation-Line (Hertz) |
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