| De DOELSTELLINGEN 
De Nauwkeurigheid van het Instrument De Typische nauwkeurigheid verkrijgbaar van deze opmerkelijke instrumenten is: · Lengte: + 1 NM meer dan 25 mm of 1.000 mm · Trilling: + 1 NM meer dan 25 mm · Hoek: + 0.01 boogseconden meer dan 40 boognotulen · Het brekingsvermogen van het Gas: 2 x 10-8 over onbeperkte waaier · Vloeibaar brekingsvermogen: 1 x 10-6 over onbeperkte waaier De Configuraties van het Instrument Alle instrumentenconfiguraties worden gebouwd rond de Interferometer AIMS™ (het Aanpassings Interferometric Systeem van de Metrologie). Dit gebruikt een helium-neon laserbron en een van de jamin-Type blok straalsplitser waarop aangewezen modules in bijlage voor elk bepaald metingsscenario zijn. Voordelen van de Interferometer van DOELSTELLINGEN Het ontwerp van de Interferometer AIMS™ heeft de volgende distinctieve voordelen: · Maximum flexibiliteit · Het vermogen van Nanometric · Modulair ontwerp · Auto groepering · Ultra-stable · Handigheid · Van Toepassing op vijandige milieu's · Gecontroleerde Bewerker · Gemoduleerde verwijzingsretro-reflector Maximum Flexibiliteit De innovatieve, gepatenteerde optische configuratie kan als permanent geïnstalleerd instrument worden gebruikt of in klant-gespecificeerde hardware worden opgenomen. Het Vermogen van Nanometric Het optische ontwerp van de de straalsplitser van de Interferometer AIMS™ elimineert automatisch ongewenste bezinningen van het optische systeem. Slechts onvermijdelijke „gericht zelf“ dwaalt samengaand met het gebruik van kubus-hoekretro-reflectors af blijft in het systeem en de gevolgen „in het slechtste geval“ hiervan is beduidend onder het subnanometric niveau van het wegverschil. Ideaal Gezien geschikt voor non-contacting, niet destructieve verplaatsingsmeting voor apparaten MEMS. Modulair Ontwerp De Verschillende rendabele modules kunnen zonder enig compromis van prestaties worden gebruikt. Auto Groepering De verwijzing en metingsstralen worden automatisch in een gemeenschappelijke richting op de retro-reflector systemen gericht die in het zelfde „wapen“ van elke interferometer zijn. Dit resulteert in zowel „gemeenschappelijk-weg“ als „nul dood-weg“ metingskenmerken voor het instrument. Ultra-Stable Elke interferometer wordt ontworpen rond een innovatieve gemeenschappelijk-weg optische configuratie, die verzekert het systeem aan ongewenste mechanische veranderingen en luchtr.i veranderingen ongevoelig is. handigheid Het gebruik van kubus-hoekretro-reflectors vereist slechts twee vrij basisgroeperingen voor de interferometer om te functioneren, dit die de superpositie van de verwijzing en metingsstralen om interferograms te vormen en voor deze interferograms om op fotodetectoren te vallen zijn. Het Optimale contrast wordt gerealiseerd wanneer de twee stralen volledig worden toegevoegd. Van Toepassing op Vijandige Milieu's Door de verwijzing te onderzoeken en retro-reflectors te bewegen door een geschikt kwaliteits optisch venster, kan de interferometer in uiterst vijandige milieu's worden in werking gesteld, het instrument die de meting realiseren van de hoge precisie „gemeenschappelijk-weg“ terwijl totaal geïsoleerd van het milieu. De metingswaaier van het instrument wordt door de coherentielengte van de stralingsbron gecontroleerd en de „compensatiewaaier“ door de divergentie van de laserstraal wordt gekozen die. Gecontroleerde Bewerker Een douane ontwierp elektronische verwerkingseenheid verzekert elke interferometer met optimale prestaties werkt. De verwerkingseenheid laat ook gegevens van de interferometer toe om uiterlijk in een PC worden getoond of worden opgeslagen. Gemoduleerde Retro-Reflector van de Verwijzing De modulatoreenheid, samen met zijn elektronische bestuurderseenheid is aangewend om de optische weg in de interferometer elektromechanisch af te tasten. Dit vergemakkelijkt zowel de optische groepering van het systeem als de kaliberbepaling van de wiskundige die techniek in de software wordt aangewend de elektronische signalen te optimaliseren. De controle door de eenheid wordt verstrekt zorgt ervoor dat het systeem van de Interferometer van DOELSTELLINGEN zowel nanometric metingsgevoeligheid als precisie die.' realiseert Eigenschappen De unieke retro-reflector eenheid neemt optische groeperingscontroles op en het hoofd van de Interferometer bevat een microverwerkingsraad voor opto-elektrosignaalverwerking en automatische elektronische optimalisering. Het instrument is ongevoelig aan mechanische veranderingen en minimaliseert de behoefte aan de compensatie van de dood-wegfout. 
Technische Details | | | Het Meten van Waaier (mm) |
|
| | De Waaier van de Compensatie (m) |
|
| | De Resolutie van het Systeem (NM) |
|
| | De Nominale Golflengte van de Laser (NM) |
|
| | De Stabiliteit van de Frequentie van de Laser | -8 | -8 | | Het Werken (°C) |
|
| | Atmosferische R.i. De Correctie van de Variatie | | | | - Norm | -6 | -6 | | - Opgenomen de Cel van het Gas | -8 | -8 | | Retro-reflector Automatische Elektronische Optimalisering | | | | Retro-reflector VertaalTarief (mm/s) |
|
| | Retro-reflector van de Verwijzing (mm) |
|
| | Bewegende Retro-reflector (mm) |
|
| | Het Hoofd van Inferometer (mm) |
|
| | - De Raad van de voorversterker (Zonde/de Analoge Output van Cos.) | | | | - De Raad van de microprocessor (opto-Elektrosignaalverwerking) | | | | Interface: Periodiek |
|
| | Levering-lijn Voltage (v) |
|
| | Levering-lijn Frequentie (Herz) |
|
| |