| ЦЕЛИ 
Точность Аппаратуры Типичная точность достижимая от этих выдающих аппаратур являются следующими: · Длина: + 1 nm над 25 mm или 1.000 mm · Вибрация: + 1 nm над 25 mm · Угол: + 0,01 секунды дуги над 40 минутами дуги · Refractivity Газа: 2 x 10-8 над неограниченный рядом · Жидкостный refractivity: 1 x 10-6 над неограниченный рядом Конфигурации Аппаратуры Все конфигурации аппаратуры построены вокруг Интерферометра AIMS™ (Приспособительной Интерферометрической Системы Метрологии). Это использует гелионеоновый источник лазера и Jamin-Тип блок splitter луча дальше к чточто прикрепленные соотвествующие модули для каждого определенного сценария измерения. Преимущества Интерферометра ЦЕЛЕЙ Конструкция Интерферометра AIMS™ имеет следующие своеобразнейшие преимущества: · Максимальная гибкость · Возможность Nanometric · Модульное проектирование · Автоматическое выравнивание · Ультра-Стабилизировано · Легкий в использовании · Применимо к вражеским окружающим средам · Контролируемый Обработчик · Модулируемый ретро-рефлектор справки Максимальная Гибкость Новаторская, запатентованная оптически конфигурация может быть использована как постоянно установленная аппаратура или включена в клиент-определенное оборудование. Возможность Nanometric Оптически конструкция splitter луча Интерферометра AIMS™ автоматически исключает излишние отражения от оптической системы. Только неизбежные «помехи выровнянные собственной личностью» сопутствующие обстоятельств с пользой ретро-рефлекторов кубик-угла остают в системе и влияния «наихудшего случая» этих значительно под subnanometric уровнем разнице в путя. Идеально одето для non-контактировать, измерение без разрушения смещения для приборов MEMS. Модульное Проектирование Различные рентабельные модули могут быть использованы без любого компромисса представления. Автоматическое Выравнивание Лучи справки и измерения автоматически выровняны в общем направлении при системы ретро-рефлектора находясь в такой же «рукоятке» каждого интерферометра. Это приводит к и в характеристиках измерения «общ-путя» и «нул мертв-путей» для аппаратуры. Ультра-Стабилизировано Каждый интерферометр конструирован вокруг конфигурации новаторского общ-путя оптически, которая обеспечивает что система нечувствительна к излишним механически изменениям и R.I. воздух изменяет. легкий в использовании Польза ретро-рефлекторов кубик-угла требует, что только 2 относительно основных выравнивания для интерферометра действуют, эти накладыванием лучей справки и измерения к interferograms формы и для этих interferograms, котор нужно упасть на фотодетекторы. Оптимальный контраст осуществлян когда 2 луча вполне перекрыны. Применимо к Вражеским Окружающим Средам Путем рассматривать справку и moving ретро-рефлекторы через окно соответствующего качества оптически, интерферометр можно управлять в весьма вражеских окружающих средах, аппаратуре осуществляя измерение «общ-путя» высокой точности пока полностью изолировано от окружающей среды. Ряд измерения аппаратуры проконтролирован длиной сцепления выбранного источника радиации и «возместите ряд» расхождением лазерного луча. Контролируемый Обработчик Устройство обработки данных конструированное таможней электронное обеспечивает что каждый интерферометр работает с оптимальным представлением. Устройство обработки данных также позволяет данным от интерферометра внешне быть показанным или сохраненным в ПК. Модулируемый Ретро-Рефлектор Справки Блок модулятора/демодулятор, вместе с своим электронным задающим блоком использован электро-механически для того чтобы просмотреть оптически путь в интерферометре. Это облегчает и оптически выравнивание системы и тарировку математически метода используемого в ПО для того чтобы оптимизировать электронные сигналы. Управление предусмотренное блоком обеспечивает что система Интерферометра ЦЕЛЕЙ осуществляет и nanometric чувствительность и точность измерения.' Характеристики Уникально блок ретро-рефлектора включает оптически управления выравнивания и головка Интерферометра содержит микро--обрабатывая доску для opto-электрической обработки сигнала и автоматического электронного оптимизирования. Аппаратура нечувствительна к механически изменениям и уменьшает потребность для компенсации ошибки мертв-путя. 
Технические Детали | | | Измеряя Ряд (mm) |
|
| | Смещенный Ряд (m) |
|
| | Разрешение Системы (nm) |
|
| | Номинальная Длина Волны Лазера (nm) |
|
| | Стабильность Частоты Лазера | -8 | -8 | | Работать (°C) |
|
| | Атмосферическая Поправка на Изменение R.I. | | | | - Стандарт | -6 | -6 | | - Включаемый Газовый Отсек | -8 | -8 | | Оптимизирование Ретро-Рефлектора Автоматическое Электронное | | | | Тариф Перевода Ретро-Рефлектора (mm/s) |
|
| | Ретро-Рефлектор Справки (mm) |
|
| | Moving Ретро-Рефлектор (mm) |
|
| | Головка Inferometer (mm) |
|
| | - Доска Предусилителя (Согрешение/Аналогового Выхода Cos) | | | | - Доска Микропроцессора (Opto-Электрическая обработка сигнала) | | | | Интерфейс: Серийно |
|
| | Линия Электропередач (V) |
|
| | Частота Линии питания (Hz) |
|
| |