| 目标 
仪器准确性 典型的准确性可获得从这些未清仪器是： · 长度： + 1 毫微米 25 mm 或 1,000 mm · 振动： + 1 毫微米 25 mm · 角度： + 0.01 弧秒钟 40 弧分钟 · 气体折射率差： 2 x 10-8 在无限的范围 · 液体折射率差： 1 x 10-6 在无限的范围 仪器配置 所有仪器配置在 AIMS™干涉仪 (可适应的干涉测量的计量学系统) 附近被建立。 这使用一个氦氖气体的激光源和一个 Jamin 型的光束分束器块对哪些是每个特殊评定方案的附上适当的模块。 目标干涉仪的好处 AIMS™干涉仪的设计有下列特别好处： · 最大的灵活性 · Nanometric 功能 · 模块设计 · 自动对准线 · 超稳定 · 易用 · 可适用对敌对环境 · 受控制的处理器 · 被调整的参考回射器 最大的灵活性 创新，给予专利的光学配置可能使用作为一台永久安装的仪器或合并到客户指定的硬件里。 Nanometric 功能 AIMS™干涉仪光束分束器的光学设计从光学系统自动地消灭不需要的反映。 只不可避免 “自伴随使用的对齐的”迷路者多维数据集角落回射器在这个系统保持，并且这些的 “最坏情况”作用极大在 subnanometric 程差级别下。 理论上适合于非联络， MEMS 设备的非破坏性的位移评定。 模块设计 不同的有效模块可能使用，不用性能任何妥协。 自动对准线 参考和评定射线在一个公用方向自动地对齐与回射器系统在同一条 “胳膊”每台干涉仪。 这导致 “公用路径”和 “零个停止路径”仪器的评定特性。 超稳定 每台干涉仪在一种创新公用路径光学配置附近被设计，保证这个系统是不区分的对不需要的机械更改，并且航空 R.i. 更改。 易用 使用多维数据集角落回射器只要求二相对地基本的对准线为了干涉仪能发挥作用，这些是参考和评定射线的叠加对表单干涉图和为了这些干涉图能落在光电探测器上。 当二条射线完全地被叠加时，最佳对比认识到。 可适用对敌对环境 通过检查参考和移动回射器通过一适当的质量光学视窗，干涉仪在非常敌对环境，认识到高精度 “公用路径”评定的仪器里可以被管理，与这个环境完全地查出。 仪器的评定范围由选择的辐射源的粘着长度控制，并且 “请由分歧的激光抵销范围”。 受控制的处理器 一个按客户要求设计的电子处理器保证每台干涉仪运行与最佳性能。 这个处理器在个人计算机也允许从干涉仪的数据外部被显示或存储。 被调整的参考回射器 调制器部件，与其电子驱动器部件一起被使用机电浏览在干涉仪的光学路径。 这实现这个系统的光学对准线和在这个软件使用的数学技术的定标优选电子信号。 这个部件提供的这个控制保证目标干涉仪系统认识到 nanometric 评定区分和精确度’。 功能 唯一回射器部件合并光学对准线控制，并且干涉仪题头包含 opto 电子信号处理和自动电子优化的微处理董事会。 仪器是不区分的对机械更改并且使对停止路径错误报酬的需要减到最小。 
技术详细资料 | | | 测定范围 (mm) |
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| | 抵销范围 (m) |
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| | 系统解决方法 (nm) |
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| | 名义上的激光波长 (nm) |
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| | 激光频率稳定性 | -8 | -8 | | 运行 (°C) |
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| | 大气 R.i. Variation Correction | | | | - 标准 | -6 | -6 | | - 合并的充气光电池 | -8 | -8 | | 回射器自动电子优化 | | | | 回射器转换费率 (mm/s) |
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| | 参考回射器 (mm) |
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| | 移动回射器 (mm) |
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| | Inferometer 题头 (mm) |
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| | - 前置放大器董事会 (罪孽/COS 模拟输出) | | | | - 微处理器董事会 (Opto 电子信号处理) | | | | 界面： 序列 |
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| | 用品线路电压 (v) |
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| | 用品线路频率 (Hz) |
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