Nanosensor ® on ei-kosketusasento mittausjärjestelmä perustuu kapasitanssin micrometry. Kaksi anturia levyt (Target ja Probe) muodostavat rinnakkain levy kondensaattori. Väli näiden kahden levyt voidaan mitata käyttäen asianmukaisia elektroninen säädin, paremmin kuin 0,1 nm, vaihteluväli enintään 1,25 mm, taajuusvaste 5 kHz: iin ja lineaarinen 0,02%. Koska nanosensor ® on kontaktitonta menetelmä, se on vapaa hystereesi. Ei virtaa tuhlautuu on mittauspiste.  Kuva 1. Eri nanosensor kokoonpanoissa. Ominaisuudet · Subnanometer asennon resoluutio · Zero hystereesi · Lineaarisuusvirhe alas 0,02% · Kaistanleveys jopa 5 kHz · Super Invarasteikko versiot saatavana · Vacuum yhteensopivia vaihtoehtoja Sovellukset · Stage ohjaus · Mikroskopia · Rakenteiden muodonmuutoksia · Tärinänvaimennus · Aineenkoetus · Tarkkuuskonetekniikan · Space Station Robot Arm Käyttämällä nanosensor ® Kaksi levyt nanosensor ® asennetaan vastakkain ja ilmarako (G) vastaa mittausalue (kuva 2). Yksi levy on kiinnitetty kiinteä viittaus, muut kiinnitetty liikkuva osa pitää tutkia. Mittaa siirtymä yli alueen 0,5 G 1,5 G (esimerkiksi 100 mikrometriä alue anturi asennetaan 100 mikrometriä kuilu ja operoi 50 mikrometriä kuilu ulos 150 mikrometriä rako). Parhaan tuloksen saavuttamiseksi anturi kasvoja tulee asentaa yhdensuuntaisesti - katso kuva 3.  Kuva 2. Kaaviokuva nanosensor.  Kuva 3. Nanosensor lähtö. Jokainen anturi voidaan käyttää yli kahta erilaista mittausalueet merkitään-L pitkien etäisyyksien ja-S lyhyen kantaman (2 pF ja 10 pF kapasitanssit vastaavasti). Esimerkiksi NXC anturia voidaan käyttää mittaamaan 500 mikrometriä valikoimaa melutaso 75 pm rms Hz-1 / 2 tai mitata 100 mikrometriä valikoimaa melutaso seitsemäntoista rms Hz-1 / 2. -S tai-L toiminta määräytyy elektroninen säädin, kaksi mittausalueet ovat käyttäjän valittavissa. Mittaus kaistanleveys on myös käyttäjän valittavissa: 50 Hz, 500 Hz, tai 5 kHz. Katso erillinen tuoteselosteet kaikkia yksityiskohtia sähköisen ohjaimia. Valintana nanosensor Pääsääntöisesti, valitse anturi, joka vastaa alue voidaan mitata; NXD suurille mittausalue NXA pienille mittausalue. Lyhyen kantaman antureita on vähemmän kohinaa kuin pitkän kantaman antureita. NXB anturi on hiljaisin (0.001 nm rms Hz-1 / 2) ja lyhin alue (20 mikrometriä). (Valitse lyhyen kantaman anturi alhainen melumittauksia.) Suuri ero anturit ovat laajoja alueita, jos tilaa on vähän valita lyhyen kantaman anturi ja huomaa, että neliön ja suorakaiteen muotoisia on ohut profiileja. Parhaan lineaarisuus valita suuri kuilu anturi ja mitata yli pieni osa kaikkia. Esimerkiksi <0,005% epälineaarisuusvirhe on saavutettavissa yli 100 mikrometriä valikoima käyttäen NXC1-L (normaalirajoissa 500 mikrometriä). Super Invarasteikko anturit ovat etulyöntiasema alumiinia erittäin alhainen lämpölaajenemiskerroin. Lämpölaajeneminen Super Invarasteikko on tyypillisesti 0,3 ppm K-1, 50 kertaa vähemmän kuin alumiini. Nanosensor Noise Voit laskea melun tietyissä rajoissa ja kaistanleveys kertomalla pystyakselin, (melu yksiköissä nm rms per root Hertz), jonka neliöjuuri kaistanleveys - esim. NXC anturit, 100 mikrometriä alue 500 Hz on rms melutason 0,1 nm. Huomaa, että mittausalue on yhtä suuri kuilu (stand off) levyjen välissä.  Kuva 4. Nanosensor melua. Nanosensor lineaarisuusvirhe Kaavio näyttää esimerkin lineaarisuusvirhe tontin NXC1-AL anturi. Lineaarisuusvirhe tässä esimerkissä on <0,01%. Tämä saavutetaan ilman sähköistä korvausta. Queensgate ei sähköisesti kompensoimaan Nanosensorit ® , koska ne on suunniteltu erittäin tasaisen ja alle noin 0,1% epälineaarisuusvirhe hallitsee yhdensuuntaisuus kiinnityspintoja. Yhteystiedot Queensgate Lisätietoja kalibroida anturit in situ ja korvauksia epälineaarisuusvirhe paremmin kuin 0,02%.  Kuva 5. Nanosensor lineaarisuus. Lineaarisuusvirhe ja Tilt Nanosensor ® Performance on herkkä kallistaa tai nonparallel levyt. Kuitenkin korkeimmalla lineaarisuus levyt on rinnakkain paremmin kuin kaksi milliradiaania.  Kuva 6. Non-lineraity vs kallistus NXC-S nanosensor. Huomaa, tietyn toleranssin vaikutus kallistus on pienempi, kun kuilu (alue) on suurempi. Scale Factor ja Tilt Skaalauskerroin vaikuttaa myös yhdensuuntaisuus levyt. Kallistus yhden milliradian aiheuttaa muutoksen 0,5% skaalauskerroin. Kuvaaja on tontin 100 mikrometriä alue anturi, pidempi kantama anturit ovat vähemmän herkkiä kallistumaan.  Kuva 7. Skaalauskerroin vs kallistus NXC-S nanosensor. |