Nanosensors - Queensgate 계기에서 NX 시리즈 Nanosensors

AZoNano - 나노 과학 - Queensgate 계기 로고

커버되는 토픽

배경

특징

응용

NanoSensor® 사용하기

Nanosensor 선택

Nanosensor 소음

NanoSensor 선형성 과실

선형성 과실과 경사

척도 인자와 경사

논고 테이블

열 편류

안정성

진공 겸용성

주문 센서

전자 관제사 선택권

배경

NanoSensor®는 micrometry 용량의 원리에 근거를 둔 몸의 접촉이 없는 위치 측정계입니다. 2개의 센서 격판덮개 (표적 및 탐사기)는 평행판 축전기를 형성합니다. 이러한 두 종류 격판덮개의 간격은, 적합한 전자 관제사를 사용하여, 나아지기 위하여 1.25 까지 mm, 0.02%에 주파수 응답 5 까지 kHz 및 선형 범위와 더불어 0.1 nm 보다는 측정될, 수 있습니다. NanoSensor®는 몸의 접촉이 없는 방법이기 때문에, 히스테리시스 가 면제되. 아무 힘도 측정의 순간에 낭비되지 않습니다.

AZoNano - 나노 과학 - 다른 nanosensor 윤곽.

숫자 1.

특징

·         Subnanometer 위치 해결책

·         영 히스테리시스

·         아래로 선형성 과실 0.02%에

·         대역폭 5개까지 kHz

·         유효한 최고 불변강 버전

·         진공 호환성 선택권

응용

·         단계 통제

·         현미경 검사법

·         구조상 개악

·         진동 통제

·         재료 시험

·         정밀도 기술설계

·         우주 정류장 로봇 무기

NanoSensor® 사용

측정 범위 (숫자 2)와 동등한 에어갭 (G)에 직면하는 NanoSensor®의 2개의 격판덮개는 거치됩니다. 1개의 격판덮개는 조정 참고, 공부될 이동 부분에 확보된 그 외에 장악됩니다. 센서는 1.5 G에 지구 0.5 G에 진지변환을 측정합니다 (예를 들면 100개의 μm 범위 센서는 100개의 μm 간격으로 거치되고 50의 μm 간격에서 150의 μm 간격에 밖으로 작전합니다). 최적 성과를 위해 센서 마스크는 거치한 상호 평행해야합니다 - 숫자 3.를 보십시오.

AZoNano - 나노 과학 - nanosensor의 개략도.

숫자 2.

AZoNano - 나노 과학 - Nanosensor 산출.

숫자 3.

각 센서는 2개의 다른 측정 범위 표시한 - 장거리를 위한 L 및 단거리를 위해 - S 이상 사용될 수 있습니다 (각각 2개 pF와 10 pF 용량). 예를 들면 NXC 센서는 75 pm rms Hz 1/2의 잡음 레벨을 가진 500의 μm 범위를 측정하거나, 5 pm rms Hz 1/2의 잡음 레벨을 가진 100개의 μm 범위를 측정하기 위하여 사용될 수 있습니다.

- S 또는 - L 작동은 전자 관제사에 의해 결정됩니다; 2개의 측정 범위는 사용자가 선택가능합니다. 측정 대역폭은 또한 사용자가 선택가능합니다: 50 Hz, 500 Hz, 또는 5개 kHz. 우리의 전자 관제사의 상세를 위해 분리되는 자료표를 보십시오.

Nanosensor 선택

대개, 측정될 범위와 일치하는 센서를 선택하십시오; 큰 측정 범위를 위한 NXD, 작은 측정 범위를 위한 NXA.

단거리 센서는 보다는 장거리 센서를 저잡음으로 비치하고 있습니다. NXB 센서에는 저잡음이 있습니다 (0.001 nm rms Hz 1/2)와 가장 짧은 범위 (20 μm). (저잡음 측정을 위한 단거리 센서를 선택하십시오.)

큰 간격 센서에는 큰 부위가 있습니다; 공간이 한정된 경우에 단거리 센서를 선택하고 사각에는 및 직사각형 모양에는 얇은 단면도가 있다는 것을 유의하십시오.

가장 높은 선형성을 위해 전 범위의 작은 부분에 큰 간격 센서 그리고 측정을 선택하십시오. 예를 들면 <0.005% 선형성 과실은 NXC1-L (정상 범위 500 μm)를 사용하여 100개의 μm 범위 이상 성취 할 수 있습니다.

최고 불변강 센서에는 열 확장의 최저 계수의 알루미늄에 이점이 있습니다. 최고 불변강의 열 확장은 전형적으로 0.3 ppm K-1, 50 시간 알루미늄의 그것 보다는 더 적은입니다.

Nanosensor 소음

특정 범위 및 대역폭을 위한 소음을 산출하기 위하여는, 대역폭의 제곱근에 의하여 수직 축선을, (루트 헤르쯔 당 nm rms의 부대에 있는 소음), 곱하십시오 - 예를들면 NXC 센서를 위해, 500 Hz에 100개의 μm 범위에는 0.1 nm의 rms 잡음 레벨이 있습니다. 측정 범위가 격판덮개 사이 간격 (받침)와 동등하다는 것을 유의하십시오.

AZoNano - 나노 과학 - Nanosensor 소음.

숫자 4.

NanoSensor 선형성 과실

도표는 NXC1-AL 센서를 위한 선형성 과실 작의의 보기를 보여줍니다. 이 예제에서 선형성 과실은 <0.01%입니다. 이것은 전자 대상 없이 달성됩니다. Queensgate는 전자로 그(것)들이 극단적으로 선형 이기 위하여 디자인되고기 대략 0.1%의 밑에 선형성 과실이 설치 표면의 평행에 의해 지배되기 때문에 NanoSensors®를 보상하지 않습니다. 센서를 0.02% 보다는 나아지기 위하여 제자리의 측정하고 선형성 과실 보상하기에 세부사항을 위해 Queensgate를 접촉하십시오.

AZoNano - 나노 과학 - Nanosensor 선형성.

숫자 5.

선형성 과실과 경사

NanoSensor® 성과는 경사 또는 nonparallel 격판덮개에게 무신경합니다. 그러나 가장 높은 선형성을 위해 격판덮개는 2개 milliradians 보다는 나아지기 위하여 평행할 필요가 있습니다.

AZoNano - 나노 과학 - Non-lineraity 대 NXC-S nanosensor를 위한 경사.

숫자 6.

주; 주어진 공차를 위해 경사의 효력은 간격 (범위)가 더 크 때 더 낮습니다.

척도 인자와 경사

척도 인자는 또한 격판덮개의 평행에 의해 영향을 받습니다. 1개 milliradian의 경사는 척도 인자에서 0.5%의 변경을 일으키는 원인이 됩니다. 도표는 100개의 μm 범위 센서를 위한 작의, 장거리 센서 경사에 매우 보다 적게 과민합니다입니다.

AZoNano - 나노 과학 - 척도 인자 대 NXC-S nanosensor를 위한 경사.

숫자 7.

논고 테이블

센서

3

NXA

-1

NXB

-1

NXC

1Super 불변강

-1 5 nmK-1

NXD

2Super 불변강

-1 5 nmK-1

1. NXC1와 NXC3 전용.

2. NXD1 전용.

3. 이것은 간격 기여금만입니다. 그것은 아래에 보여지는 지역 효력을 포함하지 않습니다.

센서

- ½)

-1) 지역 효력

NXA

NXB

NXC

NXD

4. 선형성 과실은 센서 마스크의 평행에 의해 지배될 수 있습니다; 특히 단거리 센서를 위해 (NXA와 NXB).

센서

- ½)

-1) 지역 효력

과실 (%)

NXA

NXB

NXC

NXD

표준 연은 2개 m이고 최대 연은 10m, 주의합니다 더 긴 케이블을 가진 소음 증가를입니다. 소음에 있는 증가는 케이블의 미터 당 대략 20%입니다. 연장 케이블은 1개 m, 2개 m 또는 3개 m 길이 (각각 주문 코드 ECX01LL, ECX02LL, ECX03LL)에서 유효합니다.

열 편류

이것은 관제사 및 그것의 환경의 속성인, 전자 편류 및 간격과 지역에서 센서의 열 확장 때문에 센서 편류로 분리될 수 있습니다. 이것은 알루미늄의 (22 10-6 K-1) 또는 최고 불변강 (0.3 10-6 K-1)의 열 확장의 계수를 사용하여 적합한 것과 같이 즉시 산출될 수 있습니다. 간격 변경의 효력은 지역에 있는서만 변경을 떠나는 보상 물자를 사용하여 극소화될 수 있습니다.

안정성

NanoSensors®에는 아주 간단한 건축이 있습니다. 그(것)들은 장기 측정에 대하 강력하고 안정되어 있습니다 이상적입니다. 센서 및 전자 관제사는 달에 50 nm와 일에 10 nm 보다는 나아지기 위하여 안정되어 있습니다.

진공 겸용성

진공 호환성 NanoSensors®는 유효한 - `를 지정하십시오 - 명령할 때 VAC'입니다. 진공 호환성 버전은 10-8 Torr에 전형적으로 좋 섭씨 100개까지 도에 밖으로 구워질 수 있습니다. 특정 응용을 토론하기 위하여 Queensgate를 접촉하십시오.

주문 센서

주문 센서는 많은 다른 응용을 위해 디자인될 수 있습니다. 원칙상 10 pF 2 pF의 용량을 위해 구성된 2개의 전자로 고립된 수행 표면은 이용될 수 있습니다. 예를 들면, 유리에 금 필름은, 또는 금속 끼움쇠, 또는 포일 격리 기질에 접착시켰습니다.

전자 관제사 선택권

관제사

소요 전력

NS2000

±

NPS2110

1개

S2000와 NS 모듈

또는 110 130 Vac 220 260 Vac

(선택)

NPS3330 시리즈

근원: Queensgate 계기.

이 근원에 추가 정보를 위해 Queensgate 계기를 방문하십시오.

Date Added: Jul 12, 2005 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 04:11

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