Nanosensors - NX-Serien Nanosensors från Queensgate Instrumenterar

AZoNano - Nanotechnology - Queensgate instrumenterar Logo

Täckte Ämnen

Bakgrund

Särdrag

Applikationer

Använda NanoSensor®en

Välja en Nanosensor

Nanosensor Stojar

NanoSensor LinjäritetsFel

LinjäritetsFel och Lutande

Fjäll Dela upp i faktorer och Lutande

Specifikationen Bordlägger

KabelLängd

Termisk Driva

Stabilitet

Dammsuga Förenlighet

Beställnings- Avkännare

Alternativ för Elektronisk Kontrollant

Bakgrund

NanoSensor®en är enkontakt placerar att mäta systemet som baseras på den micrometry principen av kapacitensen. Två som avkännaren pläterar (en Uppsätta som mål och en Sond) bildar en parallell pläterar kondensatorn. Göra mellanslag av dessa två pläterar kan mätas, genom att använda den elektroniska kontrollanten för anslå, för att förbättra än 0,1 nm, med en en mm 1,25 för spänna upp till, ett frekvenssvar upp till 5 kHz och linjärt till 0,02%. Därför Att NanoSensor®en är en noncontact metod, är den fri av hysteresis. Inget driva skingras på peka av mätningen.

AZoNano - Nanotechnology - Olika nanosensorkonfigurationer.

Figurera 1.

Särdrag

·,         Subnanometer placerar upplösning

·,         Nollhysteresis

·,         Linjäritetsfelet besegrar till 0,02%

·,         Bandbredd upp till 5 kHz

·,         Toppna tillgängliga Invarversioner

·,         Dammsuga kompatibla alternativ

Applikationer

·,         Stage kontrollerar

·,         Microscopy

·,         Strukturell deformering

·,         Vibrationen kontrollerar

·,         Testa för Material

·,         Iscensätta för Precision

·,         Utrymme Posterar Roboten Beväpnar

Använda NanoSensor®en

Tvåna pläterar av en NanoSensor® monteras som vänder mot varje annan med en jämlike för luftamellanrum (G) till mäta spänner (figurera 2). Man pläterar säkras till fixad hänvisar till, annan som säkras till den röra delen för att vara utstuderad. Avkännaren mäter förskjutning över Get för region 0,5 till G 1,5 (till exempel en μm 100 spänner avkännaren monteras med mellanrum för 100 μm och fungerar från mellanrum för 50 μm ut till mellanrummet för 150 μm). För optimalkapacitet som avkännaren vänder mot, vara bör den monterade parallellen till varje annan - se för att figurera 3.

AZoNano - Nanotechnology - som är Schematisk av en nanosensor.

Figurera 2.

AZoNano - Nanotechnology - Nanosensor tillverkar.

Figurera 3.

Varje avkännare kan användas över två som olikt mäta spänner betecknat - L för long spänner och - S för shortrange (2 10 pF-kapacitenser för pF och respektive). Till exempel kan NXC-avkännaren vara van vid mäter 500 som μm spänner med en stoja som är jämn av 75 pm rms Hz-1/2, eller att mäta en μm 100 spänna med en stoja som är jämn av 5 pm rms Hz-1/2.

- S eller - Let funktion är beslutsamt vid den elektroniska kontrollanten; tvåna som mäter, spänner är den valbara användaren. Mätningsbandbredden är också den valbara användaren: 50 Hertz, 500 Hertz eller 5 kHz. Se att separata data täcker för mycket specificerar av våra elektroniska kontrollanter.

Välja en Nanosensor

Som en general härska, välj avkännaren som matchar spänna som ska mätas; NXD för stort mäta spänner, NXA för litet mäta spänner.

shortrange avkännare har lower att stoja än spänner long avkännare. NXB-avkännaren har det lägst att stoja (0,001 nm rms Hz-1/2), och de kortast spänner (μm 20). (Välj en shortrange avkännare för low stojar mätningar.),

De stora mellanrumsavkännarna har stora områden; om utrymme begränsas, välj en shortrange avkännare och notera att kvadrera och det rektangulärt formar har profilerar thin.

För de högsta linjäriteterna välj en stor mellanrumsavkännare och mäta över en liten del av det fullt spänner. Till exempel är det <0.005% linjäritetsfelet uppnåeligt över 100 som μm spänner genom att använda en NXC1-L (det normala spänner μm 500).

Toppna Invaravkännare har fördelen över Aluminium av extremt - low samverka av termisk utvidgning. Den termiska utvidgningen av Toppen Invar är typisk 0,3 ppm K-1, 50 tider mindre än det av Aluminium.

Nanosensor Stojar

Att beräkna stoja för ett bestämt spänna, och bandbredden, multiplicerar lodlinjeaxeln, (stoja i enheter av nm rms per rotar Hertz), vid kvadrera rotar av bandbredden - e.g för NXC-avkännare, spänner μm 100 på 500 Hertz har en rms att stoja jämnt av 0,1 nm. Notera att mäta spänner är jämbördigt till mellanrummet (brytning) mellan pläterar.

AZoNano - Nanotechnology - Nanosensor stojar.

Figurera 4.

NanoSensor LinjäritetsFel

Grafen visar ett exempel av en linjäritetsfeltäppa för NXC1--ALavkännaren. Linjäritetsfelet i detta exempel är <0.01%. Detta uppnås utan elektronisk kompensation. Queensgate kompenserar inte elektroniskt NanoSensors®, därför att de planläggs för att vara extremt linjära, och nedanför omkring 0,1% som linjäritetsfelet domineras av parallellismen av beslag, ytbehandlar. Kontakta Queensgate för specificerar på kalibrering av dina avkännare i situ och kompensation av linjäritetsfel för att förbättra än 0,02%.

AZoNano - Nanotechnology - Nanosensor linjäriteter.

Figurera 5.

LinjäritetsFel och Lutande

Den NanoSensor® Kapaciteten är okänslig till lutande, eller icke-parallellt pläterar. Emellertid för de mycket högsta linjäriteterna pläterar behov att vara parallellt att förbättra än två milliradians.

AZoNano - Nanotechnology - Non-lineraity vs lutande för en NXC--Snanosensor.

Figurera 6.

Notera; för en given tolerans är verkställa av lutandet lägre, när mellanrummet (spänna), är större.

Fjäll Dela upp i faktorer och Lutande

Fjäll dela upp i faktorer påverkas också av parallellismen av pläterar. En lutande av en milliradian orsakar en ändring av 0,5% i fjäll dela upp i faktorer. Grafen är en täppa för 100na som μm spänner avkännaren, spänner longer avkännare är mycket mindre känslig till lutande.

AZoNano - Nanotechnology - Fjäll dela upp i faktorer vs lutande för en NXC--Snanosensor.

Figurera 7.

Specifikationen Bordlägger

Avkännare

3

NXA

-1

NXB

-1

NXC

Invar 1Super

-1 nmK 5-1

NXD

Invar 2Super

-1 nmK 5-1

1. NXC1 och NXC3 endast.

2. NXD1 endast.

3. Detta är tjockleksbidraget endast. Det inkluderar inte området verkställer, som visas nedanfört.

Avkännare

- ½)

-1) Område Verkställer

NXA

NXB

NXC

NXD

4. Linjäritetsfelet kan domineras av parallellismen av avkännaren vänder mot; bestämt för shortrange avkännare (NXA och NXB).

Avkännare

- ½)

-1) Område Verkställer

Fel (%)

NXA

NXB

NXC

NXD

KabelLängd

Den standarda kabellängden är 2 M, och maximat kabellängd är 10 M, noterar stojaförhöjningarna med längre kablar. Förhöjningen stojar in är ungefärligt 20% per mäter av kabel. F8orlängningskablar är tillgängliga i 1 M, 2 M eller 3 M längder (beställa kodifierar ECX01LL, ECX02LL, ECX03LL respektive).

Termisk Driva

Detta kan avskiljas in i elektronisk driva, som är en egenskap av kontrollanten och dess miljö, och termisk utvidgning för avkännaredriva tack vare av avkännaren i tjocklek och i område. Detta kan klart beräknas genom att använda det samverka av termisk utvidgning av Aluminum (22 10-6 K-1) eller Toppen Invar (0,3 10-6 K-1) som anslår. Verkställa av tjockleksändringen kan minimeras genom att använda kompenserande material som lämnar endast ändringen i område.

Stabilitet

NanoSensors® har en mycket enkel konstruktion. De är robustt och stall och ideal för långsiktiga mätningar. Avkännarna och de elektroniska kontrollanterna är stabila att förbättra än 50 nm över månader och 10 nm över dagar.

Dammsuga Förenlighet

Dammsuga kompatibla NanoSensors® är tillgänglig - behaga specificerar ` - VAC', när du beställer. Den kompatibla versionen för dammsuga är typisk bra till 10-8 Torr och kan bakas ut på upp till 100 grader celsius. Behaga kontakten Queensgate för att diskutera specifika applikationer.

Beställnings- Avkännare

Beställnings- Avkännare kan planläggas för många olika applikationer. I princip två elektroniskt isolerat ytbehandlar föra konfigurerat för en kapacitens av 10 pF, eller 2 pF kan användas. Till exempel guld- filmar på exponeringsglas, eller belägger med metall fyllnaden eller omkullkastar obligations- till att isolera substrates.

Alternativ för Elektronisk Kontrollant

Kontrollant

Driva Krav

NS2000

±

NPS2110

En

S2000- och NS-Enheter

eller 110 till 130 Vac eller 220 till 260 Vac

(Valfritt)

Serie NPS3330

Källa: Queensgate Instrumenterar.

För mer information på denna källa behaga besök Queensgate Instrumenterar.

Date Added: Jul 12, 2005 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 04:30

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit