Nanosensors - 从 Queensgate 仪器的 NX 串联 Nanosensors

AZoNano - 纳米技术 - Queensgate 仪器徽标

包括的事宜

背景

功能

应用

使用 NanoSensor®

选择 Nanosensor

Nanosensor 噪声

NanoSensor 线性错误

线性错误和掀动

按比例增减系数和掀动

说明表

电缆长度

热量偏差

稳定性

真空兼容性

自定义传感器

电子控制器选项

背景

NanoSensor® 是在电容基础上的原则的一个没有接触的位置测量系统 micrometry。 二个传感器牌照 (目标和探测) 形成一台并行牌照电容器。 使用这个适当的电子控制器,这两个牌照间隔比 0.1 毫微米可以被评定,改善,与范围 1.25 mm,一种频率特性 5 kHz 和线性到 0.02%。 由于 NanoSensor® 是一个没有接触的方法,它免于迟滞现象。 功率没有在评定被消散。

AZoNano - 纳米技术 - 不同的 nanosensor 配置。

图 1。

功能

·         Subnanometer 位置解决方法

·         零的迟滞现象

·         下来线性错误到 0.02%

·         带宽 5 kHz

·         可用超级英瓦合金的版本

·         真空兼容选项

应用

·         阶段控制

·         显微学

·         结构上的变形

·         振动控制

·         材料检验

·         精确工程

·         空间站机器人胳膊

使用 NanoSensor®

挂接面对的 NanoSensor® 的二个牌照与空气隙 (G) 等于与这个测定范围 (图 2)。 一个牌照绑到固定的参考,其他上绑到将被学习的这个运动机件上。 传感器评定在这个区域 0.5 G 的位移到 1.5 G (例如一个 100 μm 范围传感器挂接与 100 μm 空白并且从 50 μm 空白运行对 150 μm 空白)。 对最佳性能传感器表面应该是被挂接的互相平行的 - 请看到图 3。

AZoNano - 纳米技术 - nanosensor 的概要。

图 2。

AZoNano - 纳米技术 - Nanosensor 输出。

图 3。

每个传感器可以使用二个不同测定范围表示的 - 长距离的 L 和 - S 为短程 (各自 2 pF 和 10 pF 电容)。 例如 NXC 传感器可以用于评定与噪声级的一个 500 μm 范围的下午75点 rms Hz1/2,或者评定与噪声级的一个 100 μm 范围的下午5点 rms Hz1/2。

这个电子控制器取决于 - S 或 - L 运算; 二个测定范围是用户可选的。 评定带宽也是用户可选的: 50 Hz、 500 Hz 或者 5 kHz。 参见分离数据页关于我们的电子控制器所有详细资料。

选择 Nanosensor

通常,请选择符合将被评定的这个范围的传感器; 大测定范围的 NXD,小的测定范围的 NXA。

短程传感器有更加低噪声比长距离传感器。 NXB 传感器有最低噪声 (0.001 毫微米 rms Hz1/2) 和最短的范围 (20 μm)。 (请选择低噪声评定的一个短程传感器。)

大空白传感器有大区; 如果空间是有限的请选择一个短程传感器并且注意正方形和长方形形状有稀薄的配置文件。

对于最高的线性请选择一个大空白传感器和评定在一个小的部分的全方位。 例如 <0.005% 线性错误是可达成的 100 μm 范围使用 NXC1-L (正常范围 500 μm)。

超级英瓦合金传感器有好处超过极低的热膨胀系数铝。 超级英瓦合金热扩散比那是典型地 0.3 ppm K-1, 50 次较少铝。

Nanosensor 噪声

要计算某一范围和带宽的噪声,请乘这个垂直的轴, (在 nm rms 部件的噪声每根赫兹),以带宽的方根 - 即为 NXC 传感器,在 500 Hz 的 100 μm 范围有 0.1 毫微米的一个 rms 噪声级。 注意这个测定范围与空白 (隔离) 是等于的牌照之间。

AZoNano - 纳米技术 - Nanosensor 噪声。

图 4。

NanoSensor 线性错误

这个图形显示线性错误剧情的示例 NXC1-AL 传感器的。 在本例中的线性错误是 <0.01%。 这达到,不用电子报酬。 Queensgate 不电子上补偿 NanoSensors®,因为他们被设计是非常线性的,并且在大约 0.1% 下线性错误由安装面的并行性控制。 比 0.02% 请与 Queensgate 联系关于在原处校准您的传感器和补偿线性错误的详细资料改善。

AZoNano - 纳米技术 - Nanosensor 线性。

图 5。

线性错误和掀动

NanoSensor® 性能是不区分的对掀动或非平行的牌照。 然而为最高的线性牌照比二毫弧度需要是并行改善。

AZoNano - 纳米技术 - 非lineraity 与 NXC-S nanosensor 的掀动。

图 6。

附注; 对于特定容差掀动的作用是更低的,当这个空白 (范围) 时更大。

按比例增减系数和掀动

按比例增减系数受牌照的并行性的也影响。 一毫弧度掀动在按比例增减系数导致更改的 0.5%。 这个图形是 100 μm 范围传感器的一种剧情,长期滞留的传感器对掀动是较不敏感的。

AZoNano - 纳米技术 - 按比例增减系数与 NXC-S nanosensor 的掀动。

图 7。

说明表

传感器

3

NXA

-1

NXB

-1

NXC

1Super 英瓦合金

-1 5 nmK-1

NXD

2Super 英瓦合金

-1 5 nmK-1

1. 仅 NXC1 和 NXC3。

2. 仅 NXD1。

3. 这是仅厚度摊缴。 它不包括区作用,如下所示。

传感器

- ½)

-1) 区作用

NXA

NXB

NXC

NXD

4. 线性错误可以由传感器表面的并行性控制; 特别地为短程传感器 (NXA 和 NXB)。

传感器

- ½)

-1) 区作用

错误 (%)

NXA

NXB

NXC

NXD

电缆长度

标准电缆长度是 2 m,并且最大电缆长度是 10m,注意与更长的电缆的噪声增量。 在噪声的增量是大约 20% 每个电缆仪表。 外延电缆是可用的在 1 m、 2 m 或者 3 m 长度 (指令码各自 ECX01LL、 ECX02LL, ECX03LL)。

热量偏差

这可以分隔到电子偏差,是这个管理员和其环境的属性和传感器偏差由于传感器的热扩散在厚度和在区。 这可以容易地被计算使用热膨胀系数铝 (22 10-6 个 K-1) 或超级英瓦合金 (0.3 10-6 个 K-1) 如适当。 使用补偿的材料,厚度更改的作用可以减到最小,离开在区上的仅变化。

稳定性

NanoSensors® 有一个非常简单的建筑。 他们对长期评定是稳健和稳定和理想的。 传感器和电子控制器比 50 毫微米在几个月和 10 毫微米是稳定的改善在几天。

真空兼容性

真空兼容 NanoSensors® 是可用的 -请指定 ` - VAC’,当预定时。 真空兼容版本是典型地好对 10-8 乇,并且可以被烘烤在 100 摄氏度。 请与 Queensgate 联系讨论特定应用。

自定义传感器

自定义传感器可以为许多不同的应用设计。 原则上可能使用为电容配置的二张电子上查出的传导面 10 pF 或 2 pF。 例如,在玻璃的金影片或者金属定刀片或者箔与绝缘的基体结合。

电子控制器选项

管理员

功率需要量

NS2000

±

NPS2110

S2000 和 NS 模块

或者 110 到 130 Vac 或 220 到 260 Vac

(选项)

NPS3330 串联

来源: Queensgate 仪器。

关于此来源的更多信息请参观 Queensgate 仪器

Date Added: Jul 12, 2005 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 03:50

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit