Nanosensors - 從 Queensgate 儀器的 NX 串聯 Nanosensors

AZoNano - 納米技術 - Queensgate 儀器徽標

包括的事宜

背景

功能

應用

使用 NanoSensor®

選擇 Nanosensor

Nanosensor 噪聲

NanoSensor 線性錯誤

線性錯誤和掀動

按比例增減系數和掀動

說明表

電纜長度

熱量偏差

穩定性

真空兼容性

自定義傳感器

電子控制器選項

背景

NanoSensor® 是在電容基礎上的原則的一個沒有接觸的位置測量系統 micrometry。 二個傳感器牌照 (目標和探測) 形成一臺並行牌照電容器。 使用這個適當的電子控制器,這兩個牌照間隔比 0.1 毫微米可以被評定,改善,與範圍 1.25 mm,一種頻率特性 5 kHz 和線性到 0.02%。 由於 NanoSensor® 是一個沒有接觸的方法,它免於遲滯現象。 功率沒有在評定被消散。

AZoNano - 納米技術 - 不同的 nanosensor 配置。

圖 1。

功能

·         Subnanometer 位置解決方法

·         零的遲滯現象

·         下來線性錯誤到 0.02%

·         帶寬 5 kHz

·         可用超級英瓦合金的版本

·         真空兼容選項

應用

·         階段控制

·         顯微學

·         結構上的變形

·         振動控制

·         材料檢驗

·         精確工程

·         空間站機器人胳膊

使用 NanoSensor®

掛接面對的 NanoSensor® 的二個牌照與空氣隙 (G) 等於與這個測定範圍 (圖 2)。 一個牌照綁到固定的參考,其他上綁到將被學習的這個運動機件上。 傳感器評定在這個區域 0.5 G 的位移到 1.5 G (例如一個 100 μm 範圍傳感器掛接與 100 μm 空白并且從 50 μm 空白運行對 150 μm 空白)。 对最佳性能傳感器表面應該是被掛接的互相平行的 - 请看到圖 3。

AZoNano - 納米技術 - nanosensor 的概要。

圖 2。

AZoNano - 納米技術 - Nanosensor 輸出。

圖 3。

每個傳感器可以使用二個不同測定範圍表示的 - 長距離的 L 和 - S 為短程 (各自 2 pF 和 10 pF 電容)。 例如 NXC 傳感器可以用於評定與噪聲級的一個 500 μm 範圍的下午75點 rms Hz1/2,或者評定與噪聲級的一個 100 μm 範圍的下午5點 rms Hz1/2。

這個電子控制器取決於 - S 或 - L 運算; 二個測定範圍是用戶可選的。 評定帶寬也是用戶可選的: 50 Hz、 500 Hz 或者 5 kHz。 參見分離數據頁關於我們的電子控制器所有詳細資料。

選擇 Nanosensor

通常,请選擇符合將被評定的這個範圍的傳感器; 大測定範圍的 NXD,小的測定範圍的 NXA。

短程傳感器有更加低噪聲比長距離傳感器。 NXB 傳感器有最低噪聲 (0.001 毫微米 rms Hz1/2) 和最短的範圍 (20 μm)。 (请選擇低噪聲評定的一個短程傳感器。)

大空白傳感器有大區; 如果空間是有限的请選擇一個短程傳感器并且注意正方形和長方形形狀有稀薄的配置文件。

對於最高的線性请選擇一個大空白傳感器和評定在一個小的部分的全方位。 例如 <0.005% 線性錯誤是可達成的 100 μm 範圍使用 NXC1-L (正常範圍 500 μm)。

超級英瓦合金傳感器有好處超過極低的熱膨脹系數鋁。 超級英瓦合金熱擴散比那是典型地 0.3 ppm K-1, 50 次較少鋁。

Nanosensor 噪聲

要計算某一範圍和帶寬的噪聲,请乘這個垂直的軸, (在 nm rms 部件的噪聲每根赫茲),以帶寬的方根 - 即為 NXC 傳感器,在 500 Hz 的 100 μm 範圍有 0.1 毫微米的一個 rms 噪聲級。 注意這個測定範圍與空白 (隔離) 是等於的牌照之間。

AZoNano - 納米技術 - Nanosensor 噪聲。

圖 4。

NanoSensor 線性錯誤

這個圖形顯示線性錯誤劇情的示例 NXC1-AL 傳感器的。 在本例中的線性錯誤是 <0.01%。 這達到,不用電子報酬。 Queensgate 不電子上補償 NanoSensors®,因為他們被設計是非常線性的,并且在大約 0.1% 下線性錯誤由安裝面的並行性控制。 比 0.02% 請與 Queensgate 聯繫關於在原處校準您的傳感器和補償線性錯誤的詳細資料改善。

AZoNano - 納米技術 - Nanosensor 線性。

圖 5。

線性錯誤和掀動

NanoSensor® 性能是不區分的對掀動或非平行的牌照。 然而為最高的線性牌照比二毫弧度需要是並行改善。

AZoNano - 納米技術 - 非lineraity 與 NXC-S nanosensor 的掀動。

圖 6。

附註; 對於特定容差掀動的作用是更低的,當這個空白 (範圍) 時更大。

按比例增減系數和掀動

按比例增減系數受牌照的並行性的也影響。 一毫弧度掀動在按比例增減系數導致更改的 0.5%。 這個圖形是 100 μm 範圍傳感器的一種劇情,長期滯留的傳感器對掀動是較不敏感的。

AZoNano - 納米技術 - 按比例增減系數與 NXC-S nanosensor 的掀動。

圖 7。

說明表

傳感器

3

NXA

-1

NXB

-1

NXC

1Super 英瓦合金

-1 5 nmK-1

NXD

2Super 英瓦合金

-1 5 nmK-1

1. 仅 NXC1 和 NXC3。

2. 仅 NXD1。

3. 這是仅厚度攤繳。 它不包括區作用,如下所示。

傳感器

- ½)

-1) 區作用

NXA

NXB

NXC

NXD

4. 線性錯誤可以由傳感器表面的並行性控制; 特別地為短程傳感器 (NXA 和 NXB)。

傳感器

- ½)

-1) 區作用

錯誤 (%)

NXA

NXB

NXC

NXD

電纜長度

標準電纜長度是 2 m,并且最大電纜長度是 10m,注意與更長的電纜的噪聲增量。 在噪聲的增量是大約 20% 每個電纜儀表。 外延電纜是可用的在 1 m、 2 m 或者 3 m 長度 (指令碼各自 ECX01LL、 ECX02LL, ECX03LL)。

熱量偏差

這可以分隔到電子偏差,是這個管理員和其環境的屬性和傳感器偏差由於傳感器的熱擴散在厚度和在區。 這可以容易地被計算使用熱膨脹系數鋁 (22 10-6 个 K-1) 或超級英瓦合金 (0.3 10-6 个 K-1) 如適當。 使用補償的材料,厚度更改的作用可以減到最小,離開在區上的仅變化。

穩定性

NanoSensors® 有一個非常簡單的建築。 他們對長期評定是穩健和穩定和理想的。 傳感器和電子控制器比 50 毫微米在幾個月和 10 毫微米是穩定的改善在幾天。

真空兼容性

真空兼容 NanoSensors® 是可用的 - 请請指定 ` - VAC』,當預定時。 真空兼容版本是典型地好對 10-8 乇,并且可以被烘烤在 100 攝氏度。 請請與 Queensgate 聯繫討論特定應用。

自定義傳感器

自定義傳感器可以為許多不同的應用設計。 原則上可能使用為電容配置的二張電子上查出的傳導面 10 pF 或 2 pF。 例如,在玻璃的金影片或者金屬定刀片或者箔與绝緣的基體結合。

電子控制器選項

管理員

功率需要量

NS2000

±

NPS2110

S2000 和 NS 模塊

或者 110 到 130 Vac 或 220 到 260 Vac

(選項)

NPS3330 串聯

來源: Queensgate 儀器。

關於此來源的更多信息请請參觀 Queensgate 儀器

Date Added: Jul 12, 2005 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 03:53

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