Análisis de Exploración de la Microscopia (SPM) de la Antena del CD o Discos y Matrices del DVD por NT-MDT

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Temas Revestidos

Antecedentes

SPM para el Análisis del Hueco de Cdes y de DVDs

Observación del Proceso de Revocación de la Magnetización

Equipo y Métodos

modo de operación para las Mediciones de la Topografía

Tipo Voladizos de la Barba

Tratamiento Estadístico de Datos

Parámetros Que Determinan Calidad de la Matriz de CD/DVD

Calidad Superficial y Defectos Superficiales

Topografía de la Matriz

Otra Información y Parámetros Determinados

Antecedentes

Los Compact-disc (CD) y los Discos Versátiles de Digitaces (DVD) ahora son almacenamiento de datos popular. La unidad de información de CD/DVD es supuesto hueco. El CD y el DVD son hechos estampando de un policarbonato. Las matrices del Níquel se utilizan generalmente como sello que contenga topetones. Estos topetones forman huecos. La calidad del grupo de discos depende de calidad de una una matriz, es decir el mando preliminar de la matriz es necesario.

SPM para el Análisis del Hueco de Cdes y de DVDs

Las propiedades Magnéticas de la matriz del níquel y de su de gran tamaño (140m m) hacen las dificultades para el mando de la microscopia electrónica. Hay también dispositivos para el análisis superficial basado en principios eléctricos, pero tales mediciones no pueden visualizar geometría del hueco. SPM es herramienta ideal para el análisis de la geometría del hueco debido a rapidez de la medición y a la posibilidad de alta resolución, altas de mediciones no destructivas de las muestras grandes (Fig.1). El usar del SPM bajo fabricación de la matriz para CD/DVD es método de la perspectiva de supervisión de la calidad. Ayuda de SPMs para controlar la calidad de la matriz y para disminuir el riesgo de aspectos del defecto. Es posible estudiar los cambios de la topografía de la matriz bajo diversas influencias externas, por ejemplo observación de la deformación debido al pulido o al choque. Es posible también observar cambios de la topografía debido a la calefacción durante prensar de un policarbonato. Durante la fabricación de las varias partes de superficie de la matriz sea controlado y la calidad de la matriz se aprecia. También el mando selectivo de discos se ejecuta.

AZoNano - Nanotecnología - Único hueco del CD medido por SPM.

Cuadro 1.

Observación del Proceso de Revocación de la Magnetización

Los experimentos en un campo magnético externo nos permiten observar los procesos de revocación de la magnetización. El diseño del NT-MDT SPMs permite el aplicar de los diversos campos magnéticos externos durante mediciones de la microscopia de la fuerza (MFM) magnética. Los actuales resultados fueron obtenidos con el DISOLVENTE P47 equipados del electroimán, que puede producir campos magnéticos hasta 500Oe. La muestra estudiada era la película modelada policristalina del cobalto (40nm densamente) depositada en el grafito pirolítico alto-orientado bajo la forma de rectángulos de la talla del micrón (Fig.1).

Equipo y Métodos

Como de la posibilidad antedicha de las mediciones de la muestra grande es aparece la demanda principal de la industria de CD/DVD a SPM. Hay tres configuraciones básicas de los dispositivos de NT-MDT que cubren esta demanda y proporcionan a analizar efectivo de CD/DVD:

      Disolvente de SPM P7LS (Fig. 2). El escenario de colocación motorizado, el casquillo del vacío para las muestras con la talla hasta 300 milímetros de diámetro, el sistema óptico de la visión y la aproximación automática hacen este dispositivo el más conveniente para la industria de CD/DVD.

      Soporte SMENA Solo de SPM conjuntamente con la base diseñada especial de SMENA para la muestra grande (Fig. 2). Este dispositivo puede proporcionar al mismo nivel de ruidos a que el Disolvente P7LS proporciona. Tal diseño no incluye el casquillo del vacío y motorizado colocando el escenario. La aproximación Automática está disponible en el requisito. La Colocación de la muestra se realiza a mano.

      Soporte SMENA Solo de SPM con la pata larga especial, que permite CD/DVD que coloca entre él.

AZoNano - Nanotecnología - el Disolvente P7LS de NT-MDT SPM.

Cuadro 2.

El utilizador tiene que proporcionar al cierre duro de la muestra bajo punta en este caso.

modo de operación para las Mediciones de la Topografía

Hay dos modos principales para las mediciones de la topografía: contacto y semi-contacto. el modo del Semi-Contacto utiliza el voladizo que oscila en su frecuencia de la resonancia. Como consecuencia, la punta y la muestra son en contacto solamente pequeña parte del período de la oscilación. Esto lleva a una reducción apreciable en la acción destructiva de la fricción y de las fuerzas del capilar. Por Lo Tanto el modo del semi-contacto es más conveniente para los materiales suaves tales como policarbonato.

Tipo Voladizos de la Barba

El “tipo” voladizos de la Barba que son fabricados por NT-MDT proporciona a mediciones más exactas que los voladizos estándar del silicio. Este tipo de voladizo consiste en un voladizo estándar del silicio aumentado por la aguja del carbón con la alta relación de aspecto. El Haz de Ión Enfocado (FEBRERO) crece la aguja del carbón en el final de la punta. El “tipo” voladizo de la Barba es conveniente para más mediciones de precisión de pasos de progresión precipitados. Por Otra Parte, el carbón es un material hidrofóbico, por lo tanto la capa de la adsorción de agua está ausente en la punta del carbón. Esto también aumenta la exactitud de las mediciones.

Tratamiento Estadístico de Datos

Los resultados detectados necesitan el tratamiento estadístico. El software de NT-MDT contiene un menú de las herramientas “análisis del Grano” (la Fig. 3), que fue desarrollada para estadístico tratar las partículas que mentían en la superficie plana (también conveniente para los huecos). Con la ayuda de estas herramientas es posible determinar la talla geométrica de los huecos, huecos aproximados por diversas figuras, tales como rectangular, elipse, y rectangular con las caras redondeadas (imitación de los huecos de CD/DVD). En base de tal aproximación la dirección de hachas, los ángulos entre ellas, y otros parámetros son resueltos.

AZoNano - Nanotecnología - vista Principal del menú “análisis del Grano”

Cuadro 3.

Parámetros Que Determinan Calidad de la Matriz de CD/DVD

Los parámetros de CD/DVD para controlar Las características principales de la prueba, que determinan CD/DVD o calidad de la matriz, son:

     Pique el formulario (del topetón) y pique la talla (del topetón). Por ejemplo, los huecos (topetones) deben tener área plana (Fig. 4a). Si tal superficie plana no se observa (Fig. 4b), después un desvío durante la lectura puede ser hecho. La profundidad de los huecos es parámetro importante debido a su influencia en la amplitud de la señal durante la lectura. El Disolvente P7LS de SPM puede medir la altura del hueco con la resolución de una parte de nanómetro.

     Declive de la cara del hueco (topetón).

     Tosquedad de la superficie del hueco (topetón), que influencian la reflexión de rayo láser.

     Tono de Carril y estabilidad del carril.

     Relación De Transformación del volumen del hueco al volumen de único hueco. Ésta es tecnología importante característica de CD/DVD.

       Número de huecos por la unidad de área, es decir densidad de datos.

AZoNano - Nanotecnología - imágenes del AFM de la superficie de las matrices del níquel hechas por diversas tecnologías. Imágenes obtenidas por el modo del semi-contacto, DISOLVENTE P7LS.

Cuadro 4.

El software de NT-MDT puede calcular todos estos parámetros para el área investigada.

Calidad Superficial y Defectos Superficiales

También calidad de la inspección de SPM de la superficie de CD/DVD revelando los defectos superficiales. La rayadura Dos y la loma se ven en Fig. 5.

AZoNano - Nanotecnología - imagen de SPM de la superficie defectuosa del disco del CD.

Cuadro 5.

Topografía de la Matriz

El conocimiento de los parámetros del hueco o del topetón medidos en diversos lugares de la muestra permite controlar efectivo de la manufactura de CD/DVD. Fig. 6 topografía de las demostraciones de una matriz. Después De Que las mediciones de la topografía el menú “análisis del grano” fueran aplicadas a los datos obtenidos de la topografía. Líneas Negras en el contorno de la marca Fig.7 de topetones en los niveles preajustados; las líneas rojas son aproximación de topetones por elipse. Los diversos parámetros eran calculados para el arsenal del topetón. Algunos de ellos demostración en Table1. Estos defectos influencian la calidad de la lectura de los datos.

AZoNano - Nanotecnología - topografía Superficial de una matriz de CD/DVD.

Cuadro 6.

Cuadro 1.

Z-Lev

Dvolume

Dsquare

Longitud

Ancho

Xpos

Ypos

Oriente

Desvío

Donde: El Z-Lev se preajusta llano de la sección (Fig. 7); Dvolume (Dv) - talla efectiva del topetón encima del nivel ZLev (3√V); Dsquare (Ds) - talla efectiva del topetón en el nivel Z = 116.7nm (√S); Longitud - longitud del topetón; Ancho - ancho del topetón; Xpos, Ypos - los coordenadas del topetón se centran; Oriente - ángulo de la orientación del topetón; Desvío - desvío de la aproximación del topetón real por elipse.

AZoNano - Nanotecnología - Sección de un topetón de la matriz.

Cuadro 7.

Otra Información y Parámetros Determinados

También la información sobre el declive del topetón echa a un lado (la Fig. 7) y otros parámetros está disponibles. El Cuadro 2 presenta relaciones de transformación de las áreas (α) y de los volúmenes (α) para diversos topetones.

Cuadro 2.

αv10-6

αS10-6

αv10-9

αS10-9

αv9-6

αS9-6

Los parámetros resueltos se pueden utilizar para el análisis de la geometría del topetón, revelar de los defectos de la tecnología y otras aplicaciones.

Autor Primario: V.V. Losev, S.A. Saunin, y V.V. Zhizhimontov,

Fuente: NT-MDT Co.

Para más información sobre esta fuente visite por favor NT-MDT Co.

Date Added: May 4, 2006 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 07:17

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