| Les Compacts Discs (CD) et les DVD (DVD) sont stockage de données populaire maintenant. L'ensemble de l'information de CD/DVD est soi-disant piqûre. Le CD et le DVD sont effectués par le timbrage d'un polycarbonate. Des poinçonneuses de Nickel sont habituellement utilisées comme estampille qui contient des mémoires annexes. Ces mémoires annexes forment des piqûres. La qualité du groupe de disques dépend de la qualité d'une une poinçonneuse, c.-à-d. le contrôle préliminaire de la poinçonneuse est nécessaire. SPM pour l'Analyse de Mine des Cd et des DVD Les propriétés Magnétiques de la poinçonneuse de nickel et de son de grande taille (140mm) effectuent des difficultés pour le contrôle de microscopie électronique. Il y a également des dispositifs pour l'analyse extérieure basée selon des principes électriques, mais de telles mesures ne peuvent pas concevoir la géométrie de mine. SPM est outil idéal pour l'analyse de la géométrie de mine dû à la rapidité de mesure et à la possibilité de haute résolution et élevées de mesures non destructives des grands échantillons (Fig.1). L'utilisation du SPM sous la fabrication de la poinçonneuse pour CD/DVD est méthode de point de vue de surveillance de qualité. Aide de SPMs pour contrôler la qualité de poinçonneuse et pour diminuer le risque d'aspects de défaut. Il est possible d'étudier des modifications de topographie de la poinçonneuse sous des influences externes variées, par exemple observation de la déformation dû au polissage ou au coup. Il est possible également d'observer des modifications de topographie dû au chauffage pendant appuyer d'un polycarbonate. Pendant la fabrication des multiples parties de surface de poinçonneuse soyez réglé et la qualité de la poinçonneuse est appréciée. Également le contrôle sélecteur des disques est exécuté. %20Analysis%20of%20CD%20or%20DVD%20Discs%20and%20Stampers%20by%20NT-MDT_files/image002.jpg)
Le Schéma 1. Observer le Procédé d'Inversion de Magnétisation Les expériences dans un champ magnétique externe nous permettent d'observer les procédés d'inversion de magnétisation. Le design du NT-MDT SPMs laisse appliquer les champs magnétiques externes variés pendant les mesures de microscopie de force (MFM) magnétique. Les résultats actuels ont été obtenus avec le RÉSOLVEUR DE PROBLÈMES P47 équipés de l'électro-aimant, qui peut produire des champs magnétiques jusqu'à 500Oe. L'échantillon étudié était le film modelé polycristallin de cobalt (40nm profondément) déposé sur le graphite pyrolytique orienté haut sous forme de rectangles de taille de micron (Fig.1). Matériel et Méthodes Comme apparaît de la possibilité ci-dessus des mesures du grand échantillon est une demande principale d'industrie de CD/DVD à SPM. Il y a trois configurations de base des dispositifs de NT-MDT qui satisfont cette demande et fournissent analyser pertinent de CD/DVD : Résolveur De Problèmes de SPM P7LS (Fig. 2). Le stade positionnant motorisé, le support d'aspirateur pour des échantillons avec la taille jusqu'à 300 millimètres de diamètre, le système optique de visionnement et l'élan automatique rendent ce dispositif le plus pratique pour l'industrie de CD/DVD. Le Gabarit de SPM Seul SMENA en combination avec l'offre spéciale a conçu la base de SMENA pour le grand échantillon (Fig. 2). Ce dispositif peut fournir le même niveau sonore que le Résolveur De Problèmes P7LS fournissent. Un Tel design ne comprend pas le support d'aspirateur et motorisé positionnant le stade. L'élan Automatique est disponible sur la condition. Positionner de l'échantillon est effectué à la main. Gabarit de SPM Seul SMENA avec le long pied spécial, qui permet CD/DVD mettant entre eux. %20Analysis%20of%20CD%20or%20DVD%20Discs%20and%20Stampers%20by%20NT-MDT_files/image003.jpg)
Le Schéma 2. L'utilisateur doit fournir l'attache dure de l'échantillon sous l'extrémité dans ce cas. mode de fonctionnement pour des Mesures de Topographie Il y a deux modes principaux pour des mesures de topographie : contact et semi-contact. le mode de Semi-Contact utilise l'encorbellement qui oscille à sa fréquence de résonance. En conséquence, l'extrémité et l'échantillon sont en contact seulement petite partie de la période de vibration. Ceci mène à une réduction appréciable de l'action destructrice de la friction et des forces de capillaire. Par Conséquent le mode de semi-contact est plus adapté pour les matériaux mous tels que le polycarbonate. Type Encorbellements de Favori Type » encorbellements le « de Favori fabriqué par NT-MDT fournit plus de mesures précises que les encorbellements normaux de silicium. Ce type d'encorbellement se compose d'un encorbellement normal de silicium augmenté par le pointeau de carbone avec le rapport hauteur/largeur élevé. Le Faisceau D'ions Orienté (FÉV.) élève le pointeau de carbone sur la fin de l'extrémité. Type » encorbellement le « de Favori conviennent pour plus de mesures de précision des phases brusques. D'ailleurs, le carbone est un matériau hydrophobe, pour cette raison la couche d'adsorption de l'eau est absente sur l'extrémité de carbone. Ceci augmente également l'exactitude des mesures. Demande De Règlement Statistique des Données Les résultats saisis ont besoin de demande de règlement statistique. Le logiciel de NT-MDT contient un menu des outils « analyse de Texture » (Fig. 3), qui a été développée pour traiter statistiquement les particules se trouvant sur la surface plane (aussi adaptée pour des piqûres). À l'aide de ces outils il est possible de déterminer la taille géométrique des piqûres, piqûres environ par différents chiffres, tels que rectangulaire, l'ellipse, et rectangulaire avec les côtés arrondis (imitation des piqûres de CD/DVD). Sur la base d'une telle approximation le sens des haches, les cornières entre elles, et d'autres paramètres sont déterminés. %20Analysis%20of%20CD%20or%20DVD%20Discs%20and%20Stampers%20by%20NT-MDT_files/image004.gif)
Le Schéma 3. Paramètres Déterminant la Qualité de Poinçonneuse de CD/DVD Les paramètres de CD/DVD pour contrôler Les caractéristiques principales de test, qui déterminent CD/DVD ou qualité de poinçonneuse, sont : Piquez la forme (de mémoire annexe) et piquez la taille (de mémoire annexe). Par exemple, les piqûres (mémoires annexes) doivent avoir la zone plate (Fig. 4a). Si on n'observe pas une telle surface plane (Fig. 4b), alors une erreur pendant le relevé peut être effectuée. La profondeur des piqûres est paramètre important dû à son influence sur l'amplitude du signe pendant le relevé. Le Résolveur De Problèmes P7LS de SPM peut mesurer la hauteur de mine avec la définition d'une fraction de nanomètre. Pente du côté de mine (mémoire annexe). Rugosité de la surface de mine (mémoire annexe), qui influencent la réflexion du faisceau laser. Hauteur de son de Piste et stabilité de piste. Rapport de volume de mine au volume de la piqûre unique. C'est caractéristique importante de technologie de CD/DVD. Numéro des piqûres selon l'ensemble de zone, c.-à-d. densité d'enregistrement de données. %20Analysis%20of%20CD%20or%20DVD%20Discs%20and%20Stampers%20by%20NT-MDT_files/image005.jpg)
Le Schéma 4. Le logiciel de NT-MDT peut prévoir tous ces paramètres pour la zone vérifiée. Qualité Extérieure et Défauts Extérieurs Également qualité de contrôle de SPM de la surface de CD/DVD en indiquant les défauts extérieurs. Le brouillon Deux et le monticule sont vus sur Fig. 5. %20Analysis%20of%20CD%20or%20DVD%20Discs%20and%20Stampers%20by%20NT-MDT_files/image006.jpg)
Le Schéma 5. Topographie de Poinçonneuse La connaissance des paramètres de mine ou de mémoire annexe mesurés à différentes places de l'échantillon permet le réglage pertinent de la fabrication de CD/DVD. Fig. 6 topographie d'expositions d'une poinçonneuse. Après Que des mesures de la topographie le menu « analyse de texture » aient été appliquées aux données obtenues de topographie. Lignes Noires sur la forme de la note Fig.7 des mémoires annexes aux niveaux pré-établis ; les lignes rouges sont approximation des mémoires annexes par ellipse. Les différents paramètres ont été prévus pour l'alignement de mémoire annexe. Certains D'entre eux exposition dans Table1. Ces défauts influencent la qualité du relevé de données. %20Analysis%20of%20CD%20or%20DVD%20Discs%20and%20Stampers%20by%20NT-MDT_files/image007.jpg)
Le Schéma 6. Tableau 1. | | | Z-Lev |
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| | Dvolume |
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| | Dsquare |
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| | Longueur |
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| | Largeur |
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| | Xpos |
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| | Ypos |
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| | L'Orient |
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| | Erreur |
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| Là Où : Z-Lev est pré-établi à niveau de la partie (Fig. 7) ; Dvolume (Dv) - taille pertinente de mémoire annexe au-dessus de niveau ZLev (3√V) ; Dsquare (Ds) - taille pertinente de mémoire annexe au niveau Z = 116.7nm (√S) ; Longueur - longueur de mémoire annexe ; Largeur - largeur de mémoire annexe ; Xpos, Ypos - les coordonnées de la mémoire annexe centrent ; L'Orient - cornière d'orientation de mémoire annexe ; Erreur - erreur d'approximation de mémoire annexe réelle par ellipse. %20Analysis%20of%20CD%20or%20DVD%20Discs%20and%20Stampers%20by%20NT-MDT_files/image008.gif)
Le Schéma 7. D'Autres Information et Paramètres Déterminés Également les informations sur la pente de la mémoire annexe dégrossissent (Fig. 7) et d'autres paramètres est disponible. Le Tableau 2 présente des taux des zones (α) et des volumes (α) pour différentes mémoires annexes. Tableau 2. | αv10-6 |
| αS10-6 |
| | αv10-9 |
| αS10-9 |
| | αv9-6 |
| αS9-6 |
| Les paramètres déterminés peuvent être utilisés pour l'analyse de la géométrie de mémoire annexe, l'indication des défauts de technologie et d'autres applications. |