| Cd-skivor (CD) och Digital Mångsidiga Disketter (DVD) är populär datalagring nu. Informationsenheten av CD/DVD är så - den kallade gropen. CD och DVD göras, genom att stämpla av en polycarbonate. Myntstampers används vanligt som en stämpel som innehåller bulor. Dessa bulor bildar gropar. Det kvalitets- av gruppen av disketter beror på kvalitets- av en en stamper, dvs. kontrollerar förberedande åtgärd av stamper är nödvändig. SPM för GropAnalys av CDs och DVDs Den Magnetiska rekvisitan av myntstamperen och dess stort storleksanpassar (140mm) gör svårigheter för elektronmicroscopy att kontrollera. Det finns apparater för ytbehandlar också analys som baseras på elektriska principer, men sådan mätningar kan inte visualisera gropgeometri. SPM är ideal bearbetar för gropgeometrianalys som varar skyldig till kickupplösning, kickmätningsrapidity, och möjligheten av oskadliga mätningar av stort tar prov (Fig.1). Använda av SPMEN under fabriks- av stamperen för CD/DVD är perspektivmetoden av kvalitets- övervakning. SPMs hjälp som kontrollerar den kvalitets- och till stamperen minskning, riskerar av hoppar av utseenden. Det är möjligheten till studietopografiändringar av stamperen under olika yttre påverkan, till exempel observationen av deformeringen som varar skyldig till polering eller slaget. Det är möjligheten också som observerar topografiändringar att vara skyldig till att värma under tränga av en polycarbonate. Under fabriks- ytbehandlar de flera delarna av stamperen är kontrollerade, och kvalitets- av stamperen uppskattas. Också selektivt kontrollera av disketter utförs. %20Analysis%20of%20CD%20or%20DVD%20Discs%20and%20Stampers%20by%20NT-MDT_files/image002.jpg)
Figurera 1. Observera den Processaa MagnetizationOmsvängningen Experimenten i ett yttre magnetiskt sätter in möjliggör oss för att observera att magnetizationomsvängningen bearbetar. Designen av NTEN-MDT SPMs låter att applicera det olika yttre magnetiskt sätter in under magnetiska styrkamicroscopy (MFM)mätningar. De närvarande resultaten erhölls med SOLVEREN P47 som utrustades med elektromagneten, som kan den magnetiska jordbruksprodukter sätter in upp till 500Oe. Det utstuderat tar prov var kobolt som polycrystalline mönstrat filmar (40nm tjockt) satt in på denorienterade pyrolytic grafiten i form av mikronen storleksanpassar rektanglar (Fig.1). Utrustning och Metoder Som syns från den ovannämnda möjligheten av mätningarna av det stort ta prov är den huvudsakliga begäran av CD-/DVDbransch till SPM. Det finns tre grundläggande konfigurationer av NT--MDTapparater som möter denna begäran och ger effektiv analysering av CD/DVD: SPM-Solver P7LS (Fig. 2). Den motorized positioneringen arrangerar, tar prov dammsugahållaren för med en mm 300 för storleksanpassa upp till i diametern, optiskt visningsystem, och automatiskt att närma sig gör denna apparat lämpligast för CD-/DVDbransch. SPM-Stativ Ensam SMENA i kombination med sakkunniga planlagd SMENA baserar för stort tar prov (Fig. 2). Denna apparat kan ge samma stojar jämnt, som Solveren P7LS ger. Den Sådan designen inkluderar inte dammsuger hållaren, och den motorized positioneringen arrangerar. Automatiskt att närma sig är tillgängligt på krav. Positioneringen av ta prov bärs ut vid räcker. SPM-Stativ Ensam SMENA med specialt långt lägger benen på ryggen, som låter CD/DVD som dem emellan förlägger. %20Analysis%20of%20CD%20or%20DVD%20Discs%20and%20Stampers%20by%20NT-MDT_files/image003.jpg)
Figurera 2. Användaren måste att ge hårt fästande av ta prov under spets i detta fall. funktionsläge av funktionen för TopografiMätningar Det finns två huvudsakliga funktionslägen för topografimätningar: kontakt och halv-kontakt. Halv-Kontakten funktionsläget använder cantileveren som svänger på dess resonansfrekvens. Som ett resultat tar prov spetsen och är i kontakt endast den små delen av svängningsperioden. Detta blytak till en uppskattbar förminskning i den destruktiva handlingen av friktion och capillarystyrkorna. Därför är halv-kontakten funktionsläget mer passande för mjuka material liksom polycarbonaten. WhiskerTypCantilevers ”Ger Whiskertyp” cantilevers som tillverkas av NT-MDT, exaktare mätningar än standarda silikoncantilevers. Denna typ av cantileveren består av en standard silikoncantilever som ökas av kolvisaren med kickaspektförhållande. Den Fokuserade Jonen Strålar (FEB) växer kolvisaren på avsluta av spetsen. ”Är den Whiskertyp” cantileveren passande för mer precisionmätningar av plötsligt kliver. Dessutom är kol ett hydrophobic materiellt, därför bevattnar adsorptionlagrar av är frånvarande på kolspetsen. Detta också förhöjningar exaktheten av mätningarna. Statistisk Behandling av Data De fångna resultaten behöver statistisk behandling. NT--MDTprogramvara innehåller en meny av bearbetar ”Kornanalys” (Fig. 3), som framkallades för behandling statistiskt av partiklarna som ligger på lägenhet, ytbehandlar (också passande för gropar). Med hjälpen av dessa bearbetar den är möjligheten som bestämmer geometriskt, storleksanpassar av gropar, ungefärliga gropar vid olikt figurerar, liksom rektangulärt, ellips och rektangulärt med rundade sidor (efterföljd av CD-/DVDgropar). På basen av sådan närhet metar riktningen av yxor, dem emellan, och andra parametrar är beslutsamma. %20Analysis%20of%20CD%20or%20DVD%20Discs%20and%20Stampers%20by%20NT-MDT_files/image004.gif)
Figurera 3. Parametrar som Bestämmer den Kvalitets- CD-/DVDStamperen CD-/DVDparametrar för att kontrollera Det huvudsakligt testar kännetecken, som bestämmer endera den kvalitets- CD/DVD eller stamperen, är: Gropen (bula) bildar och gropen (bula) storleksanpassar. Till exempel måste gropar (bulor) ha lägenhetområde (Fig. 4a). Om den sådan lägenheten ytbehandlar inte observeras (Fig. 4b), då ett fel under läsning kan göras. Djupet av groparna är den viktiga parametern som varar skyldig till dess påverkan på amplituden av, signalerar under läsning. SPM-Solveren P7LS är kompetent att mäta grophöjden med upplösning av en del av nanometeren. Slutta av sidan för gropen (bula). Roughness av gropen (bula) ytbehandlar, som påverkanreflexionen av laseren strålar. Spåra graden och spåra stabilitet. Förhållande av gropvolym till volym av singelgropen. Detta är det viktiga teknologikännetecken av CD/DVD. Numrera av gropar per områdesenheten, dvs. datatäthet. %20Analysis%20of%20CD%20or%20DVD%20Discs%20and%20Stampers%20by%20NT-MDT_files/image005.jpg)
Figurera 4. NT--MDTprogramvara kan beräkna alla dessa parametrar för det utforskade området. Ytbehandla Kvalitets- och Ytbehandla Hoppar av Också ytbehandlar SPM-kontrollen som är kvalitets- av CDEN/DVD, genom att avslöja, ytbehandlar hoppar av. Skrapa Två och rund kulle ses på Fig. 5. %20Analysis%20of%20CD%20or%20DVD%20Discs%20and%20Stampers%20by%20NT-MDT_files/image006.jpg)
Figurera 5. StamperTopografi Kunskapen av endera grop- eller bulaparametrarna som mätas på olikt, förlägger av ta prov låter effektivt kontrollera av CD-/DVDtillverkningen. Fig. 6 showstopografi av en stamper. Efter mätningar av topografin menyn ”kornanalys” applicerades till erhållande topografidata. Svarten fodrar på Fig.7 markerar drar upp konturernaa av av bulor på ställer in på förhand jämnar; röd linje är närhet av bulor vid ellips. De olika parametrarna beräknades för bulasamlingen. Några av dem show i Table1. Dessa hoppar av påverkan det kvalitets- av dataläsning. %20Analysis%20of%20CD%20or%20DVD%20Discs%20and%20Stampers%20by%20NT-MDT_files/image007.jpg)
Figurera 6. Bordlägga 1. | | | Z-Lev |
|
|
| | Dvolume |
|
|
| | Dsquare |
|
|
| | Längd |
|
|
| | Bredd |
|
|
| | Xpos |
|
|
| | Ypos |
|
|
| | Orient |
|
|
| | Fel |
|
|
| Var: Z-Leven är ställer in på förhand jämnt av delar upp (Fig. 7); Effektiva (Dv) Dvolume - storleksanpassa av bula ovanför jämna ZLev (3√V); Dsquare (effektiv Ds) - storleksanpassar av bula på jämnt Z = 116.7nm (√S); Längd - bulalängd; Bredd - bulabredd; Xpos Ypos - koordinater av bulan centrerar; Orient - meta av bulariktning; Fel - fel av närhet av den verkliga bulan vid ellips. %20Analysis%20of%20CD%20or%20DVD%20Discs%20and%20Stampers%20by%20NT-MDT_files/image008.gif)
Figurera 7. Andra Beslutsamma Information och Parametrar Också sluttar information om av bulasidorna (Fig. 7), och andra parametrar är tillgängliga. Bordlägga 2 gåvaförhållanden av områden (α) och volymer (α) för olika bulor. Bordlägga 2. | αv10-6 |
| αS10-6 |
| | αv10-9 |
| αS10-9 |
| | αv9-6 |
| αS9-6 |
| De beslutsamma parametrarna kan användas för analys av bulageometri, hoppar av avslöjande av teknologin och andra applikationer. |