| 雷射唱片 (CD)和數字多用盤 (DVD)現在是普遍的數據存儲。 CD/DVD 信息單位是所謂的坑。 CD 和 DVD 通過標記聚碳酸酯纖維做。 鎳模子通常使用作為包含爆沸的印花稅。 這些爆沸形成坑。 組的質量光盤取決於一個一個模子的質量，即模子初步的控制是必要的。 對 CDs 和 DVDs 的坑分析的 SPM 磁性鎳模子和其大號 (140mm) 做電子顯微鏡術控制的困難。 也有在電原則基礎上的表面分析的設備，但是這樣評定不可能形象化坑幾何。 SPM 是為坑幾何分析的理想的工具由於大範例 (Fig.1) 的非破壞性的評定的高分辨率，高評定快速性和可能性。 使用在這個模子的製造的下 SPM CD/DVD 的是質量監控透視圖方法。 檢查模子質量和減少缺陷外觀的風險的 SPMs 幫助。 學習這個模子在變形的多種外部影響，例如觀察的下地勢更改由於擦亮或打擊的是可能的。 由於熱化觀察地勢更改在按聚碳酸酯纖維期間，也是可能的。 在製造模子表面的幾個部分期間请是受控的，并且這個模子的質量被讚賞。 並且光盤可選擇性控制被執行。 %20Analysis%20of%20CD%20or%20DVD%20Discs%20and%20Stampers%20by%20NT-MDT_files/image002.jpg)
圖 1。 觀察磁化反轉成像法 在外部磁場的實驗使我們觀察磁化反轉成像法。 在磁力顯微學評定期間， NT-MDT SPMs 的設計准許適用多種外部 (MFM)磁場。 當前結果得到了與解難題者 P47 裝備電磁體，可能導致磁場至 500Oe。 這個被學習的範例是在高導向高溫分解的石墨 (濃厚 40nm) 存款的鈷多晶的被仿造的影片以微米範圍長方形 (Fig.1) 的形式。 設備和方法 出現從大範例的評定的上述可能性 CD/DVD 行業主要需求對 SPM。 有的 NT-MDT 設備三基本構成適應此需要并且提供有效分析 CD/DVD ： SPM 解難題者 P7LS (圖 2)。 動力化的確定的階段、真空持有人範例的與這個範圍 300 mm 直徑，光學查看系統和自動途徑使此設備最方便為 CD/DVD 行業。 SPM 立場與特殊被設計的 SMENA 基礎的組合單獨 SMENA 大範例的 (圖 2)。 此設備可能提供和一樣解難題者 P7LS 提供的噪聲級。 這樣設計不包括真空持有人和動力化確定階段。 自動途徑是可用的在需求。 確定這個範例用手被執行。 SPM 立場與特殊長的行程的單獨 SMENA，允許安置在他們之間的 CD/DVD。 %20Analysis%20of%20CD%20or%20DVD%20Discs%20and%20Stampers%20by%20NT-MDT_files/image003.jpg)
圖 2。 這個用戶必須在這種情況下提供這個範例的困難緊固在技巧下。 地勢評定的操作模式 有地勢評定的二個主要模式： 聯絡和半聯絡。 半聯絡模式使用擺動以其共鳴頻率的懸臂。 結果，這個技巧和範例是在聯絡動擺期間的仅小的部分。 這導致對摩擦和血絲強制的破壞性的活動的看得出的減少。 所以半聯絡模式適用於軟的材料例如聚碳酸酯纖維。 頰鬚類型懸臂 「頰鬚類型」 NT-MDT 被製造的懸臂比標準硅懸臂提供更加準確的評定。 此種懸臂包括碳針增添的一個標準硅懸臂以高長寬比。 集中的離子束 (2月) 生長在技巧的結尾的碳針。 「頰鬚類型」懸臂適用於突然的步驟的更多精密測量。 而且，碳是疏水材料，因此水吸附層是缺少的在碳技巧。 這也增加評定的準確性。 數據的統計處理 獲取的結果需要統計處理。 NT-MDT 軟件包含菜單工具 「穀物分析」 (圖 3)，為統計對待位於在平面的微粒被開發 (也適用於坑)。在這些工具幫助下是可能的確定坑，由不同的圖的近似坑的幾何範圍，例如長方形，橢圓和長方形與被舍入的端 (CD/DVD 坑的模仿)。 根據這樣近似值軸的方向，在他們之間的角度和其他參數是確定的。 %20Analysis%20of%20CD%20or%20DVD%20Discs%20and%20Stampers%20by%20NT-MDT_files/image004.gif)
圖 3。 確定 CD/DVD 模子質量的參數 檢查主要測試特性的 CD/DVD 參數，確定 CD/DVD 或模子質量，是： 挖坑 (爆沸) 表單并且挖坑 (爆沸) 範圍。 例如，坑 (爆沸) 必須有平面的區 (圖 4a)。 如果這樣平面沒有被觀察 (圖 4b)，則在讀數期間的一個錯誤可以犯。 在讀數期間，坑的深度是重要參數由於其對高度的影響信號。 SPM 解難題者 P7LS 能評定與一小部分毫微米的解決方法的坑高度。 坑 (爆沸) 端的傾斜。 坑 (爆沸) 表面的坎坷，影響反映激光。 履帶節距和跟蹤穩定性。 坑數量比與唯一坑的數量。 這是重要技術典型 CD/DVD。 坑的編號每個面積單位，即數據密度。 %20Analysis%20of%20CD%20or%20DVD%20Discs%20and%20Stampers%20by%20NT-MDT_files/image005.jpg)
圖 4。 NT-MDT 軟件可能計算調查的區的所有這些參數。 表面質量和表面損壞 並且 SPM CD/DVD 表面的檢查質量通過顯示表面損壞。 二臨時和小山在圖 5. 被看見。 %20Analysis%20of%20CD%20or%20DVD%20Discs%20and%20Stampers%20by%20NT-MDT_files/image006.jpg)
圖 5。 模子地勢 坑或爆沸參數的知識被評定在這個範例的不同的安排允許有效控制 CD/DVD 製造。 圖 6 模子的顯示地勢。 在地勢的評定這個菜單 「穀物分析」被運用了於得到的地勢數據後。 在 Fig.7 爆沸標記等高的黑色線路在被預先設定的級別的; 紅線是爆沸的近似值由橢圓。 不同的參數為爆沸列陣被計算了。 有些在 Table1 顯示。 這些缺陷影響數據讀數的質量。 %20Analysis%20of%20CD%20or%20DVD%20Discs%20and%20Stampers%20by%20NT-MDT_files/image007.jpg)
圖 6。 表 1。 | | | Z 列弗 |
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| | Dvolume |
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| | Dsquare |
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| | 長度 |
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| | 寬度 |
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| | Xpos |
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| | Ypos |
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| | 東方 |
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| | 錯誤 |
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| 那裡： Z 列弗被預先設定平實部分 (圖 7); Dvolume (Dv) - 爆沸的有效範圍在級別 ZLev (3√V) 上的; Dsquare (Ds) - 爆沸的有效範圍在級別的 Z = 116.7nm (√S); 長度 - 爆沸長度; 寬度 - 爆沸寬度; Xpos， Ypos - 爆沸的坐標集中; 東方 - 爆沸取向角度; 錯誤 - 近似誤差實際爆沸的由橢圓的。 %20Analysis%20of%20CD%20or%20DVD%20Discs%20and%20Stampers%20by%20NT-MDT_files/image008.gif)
圖 7。 被確定的其他信息和參數 並且關於爆沸的傾斜的信息支持 (圖 7) 和其他參數是可用的。 表 2 存在比例區 (α) 和數量 (α) 不同的爆沸的。 表 2。 | αv10-6 |
| αS10-6 |
| | αv10-9 |
| αS10-9 |
| | αv9-6 |
| αS9-6 |
| 確定的參數可以為對爆沸幾何的分析，顯示技術缺陷和其他應用使用。 |