Nanopositioning - Physik Instrumente의 평행한 운동학, 액티브한 탄도 통제, 진동 삭제 및 추적 과실 제거를 포함하여 최근 어드밴스

AZoM - 금속, 세라믹스, 중합체 및 합성물 - Physik Instrumente 로고

커버되는 토픽

배경

해결책: 산출하거나 측정하는?

정확한 움직임은 지도 마찰는 아니고를 필요로 합니다

드라이브 는 어떨까요?

센서: 직접 또는 간접적인 움직임 도량형학?

해결책 또는 선형성?

정확도 또는 속도?

정체되는 동적인 정확도?

연속되는 평행한 운동학?

최고 Specs 또는 최대 성과?

통신 크래쉬에서 수 있는 무엇이

배경

Nanopositioning는 키이어 nano 찍고는, 스캐닝 현미경 검사법, microlithography 및 자동화한 줄맞춤의 중요한 필드에 있는 기술을 가능하게 하. 나노 과학이 전문적 유행어가 될 후 부터, 많은 micropositioning 장치는 보삽법의 간단한 방법에 의해 nanopositioning 시스템에 갑자기 격상되었습니다. 그러나 microworld에 있는 무슨 일이 nanoworld에 수시로 적용하지 않는.

이 technote는 진동 삭제와 추적 과실 제거를 위한 평행한 운동학 액티브한 탄도 통제, 새로운 제어 연산 논리와 사용자를 위한 그들의 이득과 같은 nanopositioningg 기술에 있는 최근 전진에 보고합니다. 추가적으로, 서류는 다양한 주요 질문을 고성능 nanopositioning 시스템을 물색할 때 움직임 시스템 공급자를 요구하기 위하여 디자인 기술자에게 제공합니다.

해결책: 산출하거나 측정하는?

해결책은 다른 사람들에게 다른 것을 의미할 수 있습니다. nanopositioning 기간이 화폐로 주조될 때, 몇명의 영리한 회사는 "nanopositioners로 광-고했습니다 개방 루프의, 댄서 몬 leadscrew 장치를." 정당화는 하나, 2 3 만큼: 0.4 mm 의 20,000의 microsteps로 분할의 포획 leadscrew 피치는 해결책과 변속기 비율 60를 자동차를 타고 밖으로 장치 0.3 nm 해결책 도" 할 수 있는 "옵니다. 현재에는, 대부분의 디자인 기술자는 이 1차 방정식을 위해 더 이상 넘어지지 않습니다. 어제 댄서 모터 드라이브가 닫힌 루프 시스템 대체되는 동안, 때때로 직접 드라이브로, 제조자의 요구 수시로 남아 있습니다 착각을 일으키, 지금 "nanomath"에 의해 더 간단하게 전에 보완해 자동차를 탑니다: 해결책 = 보삽법 요인으로 분할되는 인코더 피치.

아직까지, nanopositioning 시스템은 인코더와 개찬자 회로 보다는 아주 많게 이루어져 있고, 마찰이 연루되고는일 한 (모든 미끄러지거나 구르는 방위 마찰을 일으키십시오), 반복 가능 나노미터 범위 움직임은 실제 상태에서 달성될 수 없습니다 (frictionless 고체 움직임을 위해 FIG. 1을 보십시오). 추가적으로, 상술하는 방위의 인도 과실은 1000 시간에 수시로 microworld에서, 그러나 nanoworld에서에서 아닙니다 나노미터 수용 가능한 것의 거리 도달합니다.

확실한 nanopositioning 장치는 나노미터 영역에 있는 frictionless 움직임, 실제로 즉석 반응, 높은 선형성 및 뻣뻣함 및 탄도 통제, 이하 나노미터 해결책의 위에 전부 제공합니다. 전통적인 움직임 통제 기술이 이 요구에 응하는 수 없는 동안, 고체 액추에이터, 굴곡 디자인, 다중 축선 낮 관성 병렬 운동학, 액티브한 탄도 통제 및 높은 대역폭 제어 공학의 필드에 있는 평행한 전진은 공구를 그들의 두, 도량형학, 스캐닝 또는 정렬 문제를 해결하기 위하여 나노 과학의 필드에 있는 엔지니어에게 제공합니다.

AZoNano - 나노 과학 - 삼각형 드라이브 신호에 s frictionless 고체 (개방 루프) piezo 액추에이터의 반응. 단지 고체 PZT 액추에이터는 즉시 반응 및 반동과 더불어 이것 같이 매끄러운 나노미터 범위 움직임을, 일으키기 가능합니다. 진폭이 ±6 나노미터만이다는 것을 유의하십시오.

숫자 1.

spec 장에, 닮은 많은 시스템. 1개는 어떻게 최신식 nanopositioning 시스템을 micropositioning 장치 따로따로 말하골?

정확한 움직임은 지도 마찰는 아니고를 필요로 합니다

nanopositioning에 있는 첫번째 디자인 규칙은 마찰이 삭제되어야 한다는 것을 밝힙니다. 이것은 공, 롤러 또는 미끄러지는 방위를 가진 모든 장치를 제외해, 공기 방위와 굴곡을 남겨두. 굴곡은 frictionless, 움직임을 허용하기 위하여 고형물의 탄력 있는 개악 (구부리기)를 의지하는 장치 경첩 같이 stictionless입니다. 공기 방위는 긴 여행 범위에 대하 이상적입니다, 그러나 일반적으로 부피가 크고, 높은 관성 작전하게 비쌉니다 (청결한 공기 공급). 그(것)들에는 다른 중요한 불리가 있습니다: 그(것)들은 nanopositioning 응용의 계속 증가하는 수의 요청대로 진공에서, 작동하지 않습니다.

굴곡은, 다른 한편으로는 짧은 여행에서만 일, 단단하게 nanopositioning에 있는 불리 구역 수색합니다! 굴곡 (FIG. 2)는, 제대로 디자인해, 아주 뻣뻣하 없고, 우수한 straightness 및 편평함을 탄도 통제를 제공하고 경우에, 아무 착용도 전시하고 다중 축선 배열에서 디자인될 수 있습니다. 그(것)들에는 또한 유지 보수가 필요 없고 없고 경영비가 있습니다. nanopositioning에 있는 선택의 인도 기계장치가 이 특성에 의하여 굴곡에게 합니다.

AZoNano - 나노 과학 - 반대로 아치형 움직임 굴곡 디자인을 가진 단 하나 축선 nanopositioning 단계. 최고 굴곡 디자인은 낮은 나노미터 범위에 있는 인도 정밀도를 제공합니다. 액티브한 탄도 통제는 인도 정밀도를 더 향상할 수 있습니다.

숫자 2.

드라이브 는 어떨까요?

또 다시, 마찰을 일으키는 어떤 드라이브도 수용 가능하지 않습니다. Leadscrews 의 ballscrews는, 초음파 선형 piezo 모터 드라이브 조차 (기지를 두는 마찰) 미크론 이하 정밀도를 능가할 수 없습니다. 전자기 선형 모터, 음성 코일 드라이브 및 고체 piezo 액추에이터는 통용되는 frictionless 드라이브입니다. 첫번째 2개에는 더 큰 거리를 위해 잘 이고, 그러나 낮은 대역폭의 결과로 ebeam 석판인쇄술과 다른 많은 응용에서 웬만하지 않음 () 자기장, 발열 및 온건주의자 뻣뻣함 및 가속도의 불리가, 있습니다.

압전 (수시로 PZTs이라고 칭한 FIG. 3)는 작은 거리로, 제한되고 그러나 극단적으로 뻣뻣하 아주 높은 가속도 (g) 의 밀리세컨드 또는 이하 밀리세컨드 단계 및 안치 및 높은 스캐닝 비율을 위한 전제조건 10,000까지 달성합니다 (오늘, 최고 piezo 몬 굴곡 인도한 단계에는 10 kHz의 공명 주파수가 있습니다).

AZoNano - 나노 과학 중합체 격리되는 보다는 오히려 -는 최신식 PZT 액추에이터 세라믹 격리됩니다. 그(것)들은 확장되는 일생을, 극단적 상황에서 조차 제안하지 않으며 진공 응용에 있는 아무 outgassing도 전시합니다.

숫자 3.

PZTs 생성 아니 자기장은 그(것)들에 의하여, 도 아니다 좌우했습니다없습니다. 생산 기술에 있는 최근 돌파구는 지금 습도에 진공 응용에 있는 영 outgassing의 이득, 무신경 및 증가시킨 일생을 극단적 상황에서 조차 가져오는 중합체 절연제를 위한 필요를 삭제합니다 (그림 4).

AZoNano - 나노 과학 - 중합체 절연제를 가진 전통적인 다중층 액추에이터와 비교되는 세라믹 절연제 (밑바닥 곡선)를 가진 PICMA 액추에이터. PICMA 액추에이터는 고습도 테스트 조건에 의해 영향을 받지 않습니다. 전통적인 액추에이터 전시회는 단지 약간 시간 후에 누설 현재를 증가했습니다. 누설 현재는 절연제 질과 예상한 일생의 표시입니다. 테스트 조건: U = 100개의 볼트 DC, T = 25 °C, rel. 습도 = 70%

숫자 4.

센서: 직접 또는 간접적인 움직임 도량형학?

간접적인 움직임 도량형학은 싸, 그러나 최신식에게 nanopositioning를 위해 자격을 주지 않습니다. 그리고 당연히, 마찰에 근거를 둔 어떤 센서도 게다가 자격을 주지 않습니다. 간접적인 도량형학의 보기는 (움직임의 마찰 그리고 과실 대신을 유도하는 굴곡 그로 인하여의 긴장을 측정하는) 액추에이터 또는 굴곡에입니다 거치된 모터에 의하여 거치된 회전하는 인코더 및 piezo 저항하는 긴장 센서.

고성능 nanopositioning 시스템은 응용에 가장 중요한 움직임을 측정하기 위하여 둔 몸의 접촉이 없는 직접 도량형학을 채택합니다. 직접 도량형학의 보기는 전기 용량 센서, 레이저 간섭계 및 몸의 접촉이 없는 광학, 점증형 인코더입니다.

해결책 또는 선형성?

점증형 인코더는 장거리 측정을 위해 우수합니다. 최대량은 20, 10, 2 μm의 삐걱거리는 피치에 최근에 근거를 둡니다. 거기에게서 간행된 10 5 nm 해결책에 얻기 위하여는, 보삽법은 (그것의 제한 전부에) 요구됩니다. 많은 인코더가 피치의 배수에 아주 선형의 동안, 나노미터 가늠자에 선형성은, 어떤 경사든지 움직임 역분개에 기인되는 것과 같이 인도 시스템에 있는 드라이브로 동축으로 거치하지 않아 점진적 증가 과실 경우에는 20% 만큼 빈약할 수 있습니다 (FIG. 5)는 추가적으로. 수시로 바라보이는 무엇이 나노미터의 몇몇 10의 명령에 마찰 그리고 히스테리시스를 일으키는 원인이 될 수 있는 인코더 독서 헤드의 이동하는 케이블에 의해 유도된 작은 군대는 입니다. 확실한 nanopositioning 프로세스를 위해, 반복 가능 나노미터 가늠자 단계 폭을 요구해서, 더 나은 해결책이 있습니다.

AZoNano - 나노 과학 -는 고해상도 점증형 선형 인코더의 선형성 장거리에 우수합니다, 그러나 사람이 나노미터 가늠자에 예상할지도 모른 무엇을 수시로 아닙니다. 위 보기는 작은 거리에 100 nm와 더 많은 것의 과실을 보여줍니다 (1개에서 2개 미크론).

숫자 5.

레이저 간섭계는 위치 측정에 있는 받아들여진 기준입니다. 그러나, 그것의 운영 법칙 때문에, 헤테로다인 간섭계의 산출은 완벽하게 선형 이지 않습니다. 이 비선형성은 레이저 광선의 분극 타원 모양 또는 nonorthogonality에 주로 기인하고, 광학에 있는 불완전은 비선형성에 더 기여할 수 있습니다. 최고 상업적으로 이용 가능한 간섭계는 몇몇 상한 nanopositioning 응용 (FIG. 6)에서 충분히 좋은 2개에서 5개 나노미터의 선형성을, 제공합니다. 간섭 측정과 특별한 장비의 중후한 지식은 의견 또는 구경측정 장치로 간섭계에서 더 나은 성과를, 빼낼 것을 요구됩니다.

AZoNano - 나노 과학 - PI P-517 nanopositioning 단계의 선형성, 헤테로다인 간섭계에 의해 제공되는 위치 의견.

숫자 6.

고성능은 절대적인 측정 의 2 격판덮개 전기 용량 센서로 주어집니다 (단 하나 전극 전기 용량 센서는 nanopositioning를 위해 적절하지 않습니다). 작은 범위에 잘 일해서, 그(것)들은 굴곡에 의하여 인도된 PZT 드라이브와 완벽한 짝입니다. 전기 용량 센서는 EMI에게이고의 이하의 해결책 0.1 nm를 양립하고, 무신경한 아주 조밀하, 진공, 제대로 디자인하는 경우에, 극단적으로 높은 선형성 (FIG. 7a)를 제공합니다. 절대적인 측정 원리 때문에, 귀환 절차는 요구되지 않으며 개찬자를 제한하는 아무 대역폭도 없어 또는 수그린 반대 회로는 고속 응용에 있는 움직임을, 또는 일 것이어습니까 "분실해" 단단 단계의 끝에 발생하기 위하여 둥글게 되. 상한 nanopositioning 단계는 1개 나노미터, 놀라운 숫자, spec 장에서 두고 그러나 아주 열심히 실제에서 (그림 7b) 달성하고 입증해 쉬운의 양지향성 반복성을 달성합니다.

AZoNano - 나노 과학 - FIG. 6에서와 동일 nanopositioning 단계, 그러나 2 격판덮개 전기 용량 의견으로 통제해.

숫자 7a.

AZoNano - 나노 과학 - 최신식 간섭계로 측정되는 직진 운동 도량형학 전기 용량 의견을 가진 최신식 폐회로 piezo nanopositioning 단계의 양지향성 반복성.

최신식 간섭계로 측정된 7b.metrology 전기 용량 의견을 계산하십시오.

정확도 또는 속도?

오늘 공업 생산품 및 테스트 프로세스, 처리량 및 시간 사정에서 더 많은 것 그 어느때 보다. 예를 들면 헤드/매체 애플리케이션 테스트에서는, subnanometer 단계는 능력을 발휘할 필요가 있고 새로운 위치는 도달될 필요가 있고 밀리세컨드 더 적은의 사정에 있는 나노미터 공차에 안정을 붙들었습니다. 큰 총액이 단계 및 안치 프로세스 떨어져 면도된 각 밀리세컨드에 의하여 가치가 있습니다.

PZT 드라이브는 10,000 g까지 가속도를 제공할 수 있고 0.1 이하 msec에 있는 입력에 반응하기 위하여, 수시로 탑재량 또는 지원 구조 보다는 좀더를 위해 디자인됩니다. nanopositioning 단계의 초고속 단계 시간은 그것의 짐 이웃 분대에 있는 진동을 흥분할 수 있습니다. 응용에, 단단 두는 단계가 중단할 수 있는 얼마나, 그러나 얼마나 단단 짐이 수시로 간과된 안정되어 있는 위치 사실을 도달하는지 상관 없습니다. 일반 통념은 감쇠하거나 기다리는외에, 그 같은 진동에 관하여 생기는 외부 직책 시스템의 자동 귀환 제어 장치 루프 행해질 수 있는 다량이 없다는 것을 건의합니다.

오늘날, 구조상 공명 삭제를 위한 새로운 도구가 있습니다. 특허를 얻은, 실시간 공급 앞으로 기술은 InputShaping®를 불렀습니다 (FIG. 8a 의 b)는 TechPhysik Instrumente 디지털 piezo nanopositioning 관제사의 매사추세츠 학회에 연구에 근거하여 개발되었습니다.

AZoNano - 나노 과학 -는 Piezo 장치 밀리세컨드 가늠자 단계 andsettle 도 할 수 있습니다. 그러나, 자동 귀환 제어 장치 루프 이상으로 성분은 둥글게 될 수 있습니다 (짐, 이웃 componentry,…). 외부 공명은 Polytec 레이저 진동계 측정 위치에 의해 대 시간 여기에서 구상됩니다.

숫자 8a.

AZoNano - 나노 과학 -는 입력 Shaping® 자동 귀환 제어 장치 루프 이상으로 분대의 움직임 몬 둥글게 되를 삭제합니다. 오름 시간 후에 침전은 t ~ Fres-1에 의하여 완료합니다.

숫자 8b.res.-1

InputShaping®는 의견을 요구하지 않으며 시스템을 통하여 다중 공명의 사전 지식으로 작동하지 않습니다. InputShaping®로, 시스템 범위를 위한 시간 안정위가 1/f0와 동등한 기계적인 준비에 있는 불안정성에 기여하는 가장 낮은 공명 주파수인 f0.

정체되는 동적인 정확도?

해결책, 선형성 및 정확도는 움직임 시스템의 정체되는 성과를 자격을 주기 위하여 알려집니다. 그러나, 스캐닝 추적과 같은 동적인 응용에서 정체되는 논고는 무의미합니다. 동적 행동을 측정하는 일반적인 쪽은 대역폭입니다. 대역폭은 주파수 영역에 있는 시스템의 진폭 반응을 지정합니다. 그러나 예를들면 스캐닝 응용에 있는 선이 똑바로 일 방법 또는 지적하지 않습니다 얼마나 정체되는 정확도 및 대역폭은 속이는 예상한 위치 떨어져 함께 지금도 시스템의 동 정확도의 어떤.

주어진 파형을 위해 이 응용에 있는 시스템을, 표적 데이터와 실제적인 위치 데이터는 자격을 주기 위하여는 기록되고 평가되어야 합니다. 다름은 과실 또는 추적 과실 다음 불립니다. PID 서보 조종 장치 디자인을 가진 전통적인 PZT nanopositioning 시스템에서는, 추적 과실은 10Hz의 밑에 스캐닝 비율로 조차 이중 숫자 백분율 가치, 및 주파수를 가진 증가를 도달할 수 있습니다.

이해하는 것이 중요합니다, 추적 과실이 중요한 매개변수인 동적인 nanopositioning 응용에서 그것. PI에 디지털 관제사 디자인에 있는 최근 어드밴스는 미크론 영역에서 고주파 동적인 발동을 가진 조차 분간하기 어려운 수준으로 짐 (그림 9a, 그리고 9b)의 밑에 반복적인 파형에 있는 동적 오차를, 감소시키는 정교한 적합한 디지털 선형화 방법으로 이끌어 냈습니다.

전통적인 PID 관제사, PZT nanopositioning 시스템, 삼각형 검사 신호에 반응. 파랑: 표적 위치; 공산분자: 실제적인 위치; 녹색: 추적 과실 (더 나은 시정을 위한 10X)

숫자 9a.

동일 nanopositioning 시스템, 적합한 디지털 선형화. 파랑: 표적 위치와 실제적인 위치 (실제로 동일). 공산분자: 추적 과실 (더 나은 시정을 위한 100X)는 몇몇 크기 순서에 의해 감소됩니다.

숫자 9b.

연속되는 평행한 운동학?

고속 nanopositioning 응용에서는 스캐닝 현미경 검사법과 같은 좁은 지역은 외부 입력 (AFM'S에 있는 예를들면 군대 또는 ATM'S에 있는 현재)에 의해 통제된 상태에서 제 3 축선이 2개 차원에서, 검사될 필요가 있습니다. Subnanometer 행간과 Hz의 수백의 스캐닝 비율은 이 응용에서 바람직합니다. 이것을 달성하는 유일하게 가능한 쪽은 평행하 운동학, 다중 축선 닫힌 루프 piezo 몬 굴곡 단계로 입니다.

단 하나 축선 국부결합을 겹쳐 쌓여서 보다는 오히려, 평행하 운동학 단계는 액추에이터가 모놀리식, 중앙, 이동하는 플래트홈에 평행으로 작동하는 상태에서 입니다 (FIG. 10a). 뿐만 아니라 이것은 중요하게 X와 Y 방향 둘 다에 있는 관성, 그러나 수확량 동일한 공명 주파수 및 동적 행동을 감소시킵니까. 대안은 다른 X, 겹쳐 쌓인 집합 항상 대 Y 행동 귀착됩니다 (그러나 간행한 논고는 때때로 이 기본적인 물리적인 사실을 반영하지 못합니다). 일관된 X는 대 Y 동적 행동 정확한 대답하는 스캐닝을 위해 바람직합니다 및 추적 성과. 모놀리식 이동하는 플래트홈을 측정하는 전기 용량 센서의 사용은 연속되는 운동학으로, 개별적인 도끼의 runout 과실이 누적된다는 것을 반면 직각 도끼가 자동적으로 서로 runout 및 누화 (액티브한 탄도 통제, 또는 다중 축선 직접 도량형학) 보상한다는 것을 의미합니다. 예를 들면, 단계의 가설 4적인 인치 다중 축선 더미의 밑바닥 플래트홈에 기인한 최고 플래트홈에 2개의 μm 선형 과실 단지 ±10 μrad의 경사 과실은 귀착됩니다. nanopositioning에 있는 연속되는 운동학의 그밖 결손은 높 관성, 더 높은 중심, 및 마찰과 히스테리시스 (FIG. 8b)를 일으키는 원인이 되는 5개까지 이동하는 케이블입니다.

AZoNano - 나노 과학 -에는 겹쳐 쌓인 연속되 운동학 2 축선 nanopositioning 단계 현저하게 더 높은 관성, 더 높은 중심이 있고 떨어져 축선 과실을 교정할 수 없습니다. 최고 플래트홈의 이동하는 케이블은 마찰을 유도하고 히스테리시스를 일으키는 원인이 됩니다.

숫자 10a.

AZoNano - 나노 과학 - PZT 드라이브와 철사 EDM 커트 굴곡을 가진 모놀리식 3 DOF (X, Y 의 시타 Z) parallelkinematics nanopositioning 단계의 기본 디자인. 보이지 않는 () 전기 용량 위치 센서는 직접 즉시 (액티브한 탄도 통제)에 있는 가장 경미한 떨어져 축선 움직임을 보상하는 중앙 이동하는 플래트홈을 측정합니다. 이것은 FIG. 10a에서 보이는 것처럼 연속되는 운동학 디자인에 가능하지 않습니다.

숫자 10b.

평행한 운동학에 근거를 둔 최신식 나노미터 스캐닝 시스템은 자동적으로 쓸모 없는 밖으로 의 비행기 움직임 뿐 아니라 쓸모 없는 회전 과실을 보상하는 모든 6개 자유도를 통제합니다.

이것은 평행 운동 도량형학과 동등한 전이 (FIG. 11a) 도 할 수 있는 디지털 관제사를 요구합니다. 결과는 FIG. 11b에서, 1 nm의 편평함 /straightness를 가진 100개 x 100개의 μm 검사 보입니다.

AZoNano - 나노 과학 - 최신식 6 축선 디지털 관제사와 주문 최고 불변강 6D piezo 스캐닝 단계 (평행하 운동학 기계공과 평행 운동 도량형학).

숫자 11a. 최신식 6 축선 디지털 관제사와 주문 최고 불변강 6D piezo 스캐닝 단계 (평행하 운동학 기계공과 평행 운동 도량형학).

AZoNano - 나노 과학 실시간 대상을 디지털 관제사에 무엇이든 기생하는에 -는 6 다중 축선 병렬 직진 운동 도량형학을 가진 DOF PZT 굴곡 nanopositioning 단계 즉석 정보를 제공합니다. 우수한 결과, 1 nm 편평함 및 straightness는 이 100개 x 100개의 μm 검사에서, epicted.

숫자 11b.

최고 Specs 또는 최대 성과?

위 면담은 그것 nanopositioning 시스템의 성과의 양을 정하는 것이 아주 복잡할 수 있다는 것을 보여줍니다. 응용 (종이에 최고 specs에 것 아닙니다)를 위한 가장 높은 능력을 발휘 nanopositioning 시스템을 찾아내기 위하여는, 사용자는 제조자를 가진 대화에서 관여시키고 그 혹은 그녀의 응용에 적당한 질문을 요청해야 합니다. 응답이 확실하게 너무 좋게 소리가 날 때, 일반적으로 입니다. 관련있는 질문을 자세를 취하기 이외에 논고가 측정되고 방법, 장비가 사용된 무슨 무슨 품질 관리 시스템이 제자리에 있는, 항상 제조자가 nanopositioning지에서 얼마나 관련시킨지 알아내는 것이 보람있습니다.

통신 크래쉬에서 수 있는 무엇이

통신의 여파로 크래쉬하십시오, 분석가와 투자자는 새로운 유망한 시장을 찾고 있습니다, 그리고 나노 과학은 그들중 하나인 것을 보입니다. 이런 이유로 우리는 새로운 회사를 이 필드에 있는 운을 만드는 것을 시도 볼 것입니다. 혁명적인 nanopositioning 해결책이 있는 것을 주장하는 개시는 달러의 수백만을 그(것)들 제공으로, 투자자를 유혹할 것입니다. 통신에서 혁명적인 개념 및 아이디어의 99% 이상이 빨리 쓸모 없던 증명했다는 것을 잊읍시다. 실제 도전은 생산에서 개념에서 아닙니다 전달한 부대가 능력을 발휘한 뿐 아니라 기술 부장이 미조정할 온화하게 조립될 시제품 후에, 그러나, 수확량 일관된 질, 곳에 전달한 부대 속이고.

1개, 2 3 간단하지 않기 nanopositioning가 때문에, 경험있는, 시설이 좋은 디자인과 생산 팀 및 입증된 품질 관리 시스템을 가진 회사만 시장의 계속 성장하는 수요를 만족시킬 수 있을 것이다. 그들의 제품 명세서는 항상 혁명적 보이지 않을 수 있고, 그러나 애플리케이션 환경에서 떠받칠 것입니다.

1 차적인 저자: Stefan Vorndran

근원: Physik Instrumente

이 근원에 추가 정보를 위해 Physik Instrumente를 방문하십시오

Date Added: Jun 7, 2006 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 06:50

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit