रिमोट परमाणु परत बयान (ALD) प्रक्रियाओं और प्लाज्मा FlexALTM परमाणु परत के साथ थर्मल ALD

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जिन विषय

पृष्ठभूमि

ऑक्सफोर्ड उपकरण 'FlexAL उत्पाद परिवार के nanoscale संरचनाओं और उपकरणों के वितरित करने के लिए एक एकल प्रणाली के भीतर दूरस्थ प्लाज्मा परमाणु परत बयान (ALD) प्रक्रियाओं और थर्मल ALD की पेशकश के द्वारा इंजीनियरिंग में लचीलापन और क्षमता की एक नई रेंज प्रदान करता है:

· सामग्री और व्यापारियों के चुनाव में अधिकतम लचीलापन

· कम तापमान प्लाज्मा ALD द्वारा सक्षम प्रक्रियाओं

· निम्न रिमोट प्लाज्मा के उपयोग द्वारा बनाए रखा क्षति

· नुस्खा संचालित सॉफ्टवेयर इंटरफ़ेस के माध्यम से चलाया हुआ, repeatable प्रक्रियाओं

अद्वितीय प्रणाली लाभ

· छोटे वफ़र तक टुकड़े से पूरा 200 मिमी wafers को संभालने की क्षमता

· लोड बंद वफ़र प्रविष्टि, सुरक्षा के लिए कम कण गिनती और कम समय लोडिंग प्रक्रिया शुरू

· अद्वितीय अग्रदूत वितरण प्रशंसक सहायता ओवन और अनुकूलित गरम डिलीवरी लाइनों के साथ सटीक अग्रदूत तापमान नियंत्रण प्रणाली की पेशकश

· में सीटू के लिए अग्रदूत मॉड्यूल पर इंटीग्रल दस्ताना बॉक्स परिवर्तन से अधिक

· इंटीग्रल में सीटू ellipsometry माप उपकरण के अलावा की अनुमति बंदरगाहों.

· अग्रदूत मॉड्यूल की अधिकतम संख्या के साथ भी कम से कम 2 x 2 मीटर की कॉम्पैक्ट अंतरिक्ष में फिट बैठता है

· क्लस्टर प्रणाली में ऑक्सफोर्ड उपकरण Plasmalab सहित अन्य प्रक्रिया उपकरण, खोदना और बयान उपकरणों की ® System100 रेंज के साथ एकीकृत मई

· ऑक्सफोर्ड उपकरण 'वैश्विक बिक्री और समर्थन नेटवर्क के समर्थन से , मंच लोकप्रिय PlasmalabSystem100 प्रक्रिया उपकरण पर आधारित तकनीक के साथ, दुनिया भर में 300 से अधिक स्थापित प्रणालियों में FlexAL विश्वसनीयता साबित उत्पाद से परिवार को लाभ

· प्रमुख परमाणु परत बयान (ALD) यूरोप में विशेषज्ञों के साथ परामर्श में विकसित , कोरिया और अमेरिका

· ASM अंतर्राष्ट्रीय NV से प्रौद्योगिकी लाइसेंस

प्रक्रियाओं

FlexAL सिस्टम पर उपलब्ध मानक प्रक्रियाओं में शामिल हैं:

· अल _{2 3} दूरस्थ प्लाज्मा प्रक्रिया हे - नीचे कमरे के तापमान का बयान

· HFO ₂ उच्च-k ढांकता हुआ दूरस्थ प्लाज्मा प्रक्रिया

· HFO ₂ उच्च-k ढांकता हुआ थर्मल ALD प्रक्रिया

· टिन दूरस्थ प्लाज्मा प्रक्रिया

उत्पाद रेंज

FlexAL ALD उत्पाद परिवार के होते हैं:

· FlexALRP पेशकश दूरस्थ प्लाज्मा ALD

· एक एकल प्रणाली में दोनों रिमोट प्लाज्मा और थर्मल ALD की पेशकश करने के लिए व्यापारियों और प्रक्रियाओं की एक विस्तृत चयन प्रदान FlexALRPT

· FlexALRPX दोनों दूरस्थ प्लाज्मा और थर्मल ALD भीतर अग्रदूत विकल्पों की व्यापक रेंज की पेशकश, अग्रदूत वितरण मॉड्यूल और बयान तापमान की अधिकतम संख्या 700 º सी करने के लिए

की नैनो Z से A - दूरस्थ प्लाज्मा परमाणु परत बयान (ALD) द्वारा Conformal टिन कोटिंग AZoNano