Contrôle Qualité des Plots De Connexion de Circuit Intégré (IC) Avec l'Appareil De Contrôle Nano de Dureté (NHT) des Instruments de CSM

Sujets Couverts

Mouvement Propre

Plots De Connexion De circuit intégré

Méthodologie

Résultats

Conclusion

Mouvement Propre

Dans l'industrie d'aujourd'hui de circuit intégré (IC), la considération principale de coût est le temps-à-marché et à cet effet le contrôle qualité adéquat est principal pendant la phase de développement, permettant au design et aux ingénieurs des méthodes d'évaluer la fonctionnalité d'un dispositif neuf avant qu'il atteigne le stade final de test.

Plots De Connexion De circuit intégré

Les plots de connexion d'IC sont d'importance primordiale dans des fonctionnements de la portion deux, le premier dont est fournir à un contact défini une sonde de test afin de tester la continuité et la fonctionnalité de base d'un dispositif, le deuxième pour fournir une plate-forme sur laquelle des fils connectants peuvent être fixés par la métallisation thermosonic. Ce dernier est habitué pour déterminer les contacts électriques d'une puce aux plombs externes par l'intermédiaire des fils très fins d'or ayant un diamètre vers le bas à 20μm.

L'acertain, qu'un plot de connexion soit satisfaisant ou pas exige une mesure quantitative de sa dureté de Vickers. Le tampon lui-même est produit en pulvérisant l'aluminium sur le substrat2 de SiO produisant un film d'épaisseur approximativement de 1μm. La dureté Insuffisante de ce film donne droit frottent dedans profondément les notes (pendant le test de sonde) qui évitent alors bon coller entre le tampon et le fil connectant d'or. De plus, si le tampon est trop mou alors des saletés substantielles peuvent être produites quand l'extrémité de sonde entre en contact avec elle, cet être une considération très importante dans un environnement sensible de si particules.

Méthodologie

Pour cette étude comparative une sélection de quatre disques ont été choisies de différents constructeurs et de la dureté de Vickers de chacun mesuré utilisant l'Appareil De Contrôle Nano de Dureté (NHT) des Instruments de CSM. En raison de l'épaisseur de 1μm du film En Aluminium, toutes les indentations ont été exécutées avec une profondeur maximum de 100nm pour ne pas avoir tous les effets de substrat.

Le Schéma 1 expositions une des plots de connexion ensuite ayant effectué une suite de huit nanoindentations. La note de frottement est également de manière dégagée visible. Avec les stades positionnants précis du NHT il était possible d'effectuer des indentations dans les textures particulières (le Schéma 3) et éviter ainsi des variations de dureté dues aux effets de joint de grain.

AZoNano - A à Z de Nanotechnologie - micrographe de SEM d'un des plots de connexion mesurés affichant la note de frottement (droite) et une ligne des nanoindentations (laissés).

Le Schéma 1. micrographe de SEM d'un des plots de connexion mesurés affichant la note de frottement (droite) et une ligne des nanoindentations (laissés).

AZONano - A à Z de Nanotechnologie - dureté de Vickers des plots de connexion de quatre constructeurs différents.

Le Schéma 2. dureté de Vickers des plots de connexion de quatre constructeurs différents.

Résultats

La dureté de Vickers de chaque type de plot de connexion est tabulée sur le Schéma 2, chaque valeur étant ramenée à une moyenne de plusieurs mesures. Il peut voir que le type A a la dureté la plus élevée et peut pour cette raison être considéré en tant qu'être ` bon, attendu que les types B et C ont la dureté beaucoup inférieure et ainsi sont considérés comme mauvais de `'. Le Type D a une valeur intermédiaire de dureté.

Conclusion

Le NHT est un outil d'analyse puissant qui est idéalement adapté aux applications de contrôle qualité industriel où les temps courts de mesure et le fonctionnement automatisé sont particulièrement importants. Dans le cas des plots de connexion d'IC on lui a affiché qu'une telle méthode peut facilement distinguer différents hardnesses de tampon et permettre ainsi au choix du constructeur d'être effectué à un stade précoce pendant la phase de développement.

Les mesures Localisées aux sites particuliers effectuent à cet instrument une solution attrayante à beaucoup d'autre IC et à d'autres problèmes industriels relatifs. Cependant, l'instrument est également d'avantage grand dans un environnement sur une échelle plus petite de recherches pour le développement de meilleurs matériaux et procédés.

AZoNano - A à Z de Nanotechnologie - micrographe de SEM affichant la structure granulaire en aluminium pulvérisée et la capacité du NHT d'effectuer une indentation fortement localisée dans une texture spécifique.

Le Schéma 3. micrographe de SEM affichant la structure granulaire en aluminium pulvérisée et la capacité du NHT d'effectuer une indentation fortement localisée dans une texture spécifique.

Source : Instruments de CSM

Pour plus d'informations sur cette source visitez s'il vous plaît les Instruments de CSM

Date Added: Nov 28, 2006 | Updated: Dec 2, 2014

Last Update: 9. December 2014 19:41

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