| 使用有差別的電容 (NHT)測量技術，從 CSM 儀器的納諾堅硬測試人員已經設立了自己為薄膜和塗層的描述特性與各自 10mN 和 <1nm 的強制和位移解決方法。 雖然定量堅硬和模數數據是在判斷特定材料的適用性的重要性對一個特定功能，材料的實際回應對在這樣低負荷的凹進可能提供關於凹進進程的大量的附加信息。 掃描強制顯微鏡綜合化 此條款在一個標準物端透鏡位置描述掃描強制顯微鏡 (SFM)可以是集成到儀器的光學顯微鏡的 NHT 的一個新的選項。 此高效和緊湊解決方法在圖顯示。 1，和有所有功能可以直接地從一個強大的軟件包被控制的一個非常用戶友好個人計算機界面。 SFM 為檢測懸臂式位移和是反饋控制在 x、 y 和 z 方向的一個壓電掃描程序使用一個干涉測量的電子束偏轉系統。 此後功能非常地減少壓力畸變和非線形性的作用并且允許 20 µ 的一個標準側向掃描範圍 應用 結合在一臺儀器的表面地形學和凹進數據的淨利益，與一個準確機電定位系統，是一個特殊範例站點可以在改變位置位於和被評定在一個光學物端透鏡或 SFM 下前。 
圖 1。 
圖 2。 多元狀況的材料 使用的一個有趣示例此儀器是單獨階段局部機械性能需要被評定多元狀況的材料的描述特性。 雙重不鏽鋼，有微結構包括純鐵和奧氏體，調查為了設立他們的對長期老化的感受性在半成品溫度 (300-400°C)。 結果 圖 2 與殘餘的版本記錄一起的 SFM 圖像顯示每個階段的負荷位移曲線與 100mN 最大應用的負荷。 在版本記錄形狀上的區別在兩個階段之間是特別明顯的。 對於確認此階段高工作淬硬性和彈塑性的奧氏體，邊緣凹面，由於材料的輻形放鬆在凹進附近在轉存受託代購商期間。 相反，純鐵版本記錄與材料一起凸起和堆積陳列凸面邊緣在它附近哪些建議弱的工作淬硬性和一種嚴格的塑料回應對凹進。 奧氏體和純鐵階段的各自 Vickers 堅硬被評定是 280 和 740 在變老在 350°C. 的 8000 時數以後。 |