In-situKennzeichnung der Integrierten Schaltung (IS) Mit der Nano-Härte-Prüfvorrichtung (NHT) Von CSM-Instrumenten

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Ausreichende Qualitätskontrolle von Bauteilen der integrierten Schaltung (IS) ist während der Entwicklungsphase grundlegend und erlaubt Auslegung und Verfahrensingenieuren, die Funktionalität einer neuen Einheit auszuwerten, bevor sie die abschließende Paketprüfung erreicht, in der die späte Realisierung von Konstruktionsfehlern im Hinblick auf Zeit-zumarkt Punkte extrem teuer sein kann. Fertigungsstraßeregelung ist auch wichtig, Qualitätsstandards beizubehalten und die Eigenschaften von den Materialien zu überprüfen, die von den externen Lieferanten ankommen.

Kennzeichnung der integrierten Schaltung

Die Nano-Härte-Prüfvorrichtung (NHT) von CSM-Instrumenten hat bereits seinen Wert im In der Lage sein, die mechanischen Eigenschaften von IS-Aluminiummasseverbindungsauflagen genau zu messen gezeigt. Jedoch stufen seine Kombination der hohen Positionierungsgenauigkeit (< 1 μm) und automatisiertes Maß von Härte und von Elastizitätsmodul an einem nm ein, machen es ideal entsprochen zur Kennzeichnung vieler verschiedenen Arten IS-Zelle. Zum Beispiel besteht möglicherweise eine moderne IS aus vielen Schaltungsspuren, die von abgegebenem Gold, von Kupfer oder von Aluminium sind. Diese sind normalerweise Dünnfilme von Stärke 0,5 - μm 3,0 und die Spurbreite sind möglicherweise so klein wie μm 10. Die Substratfläche ist eine verhältnismäßig harte Substratfläche (z.B., Silikon), aber in anderen Fällen sein mag ein viel weicheres Material (z.B., Polymer) wie die, die für Schreibköpfe verwendet werden. Der Beitritt der FI lm zur Substratfläche ist eine wichtige Überlegung, wie die Härte und das Elastizitätsmodul.

Nanoindentation

Nanoindentation kann beträchtliche Informationen betreffend die strukturelle Integrität einer bestimmten Beschichtung aufdecken. Für den Kasten von Aluminiummasseverbindungsauflagen, die die Doppelfunktion einer Fühlerprüfung und der Masseverbindungsplattform dienen müssen, müssen mechanische Eigenschaften genau gesteuert werden. Unzureichende Härte des Filmes resultiert herein scheuern tief Kennzeichen (während der Fühlerprüfung) die dann ein gutes Kleben zwischen der Auflage und dem Goldverbindungskabel verhindern. Darüber hinaus wenn die Auflage zu weich ist, dann wird erheblicher Rückstand, wenn die Fühlerspitze in Kontakt mit ihr kommt, dieses Sein eine sehr wichtige Überlegung in solch einer empfindlicher Umgebung des Partikels produziert möglicherweise. Topographische Oberflächenbeobachtung (z.B., scannende Kraftmikroskopie (SFM)) ist auch, bei der Messung die Oberflächenrauigkeit von IS Teile in Kontakt bringend nützlich, da eine hohe Rauheit möglicherweise vorzeitige Abnützung verursacht, oder prüft schädliches zur Funktionalität der spezifischen Einheit.

AZONano - das A bis Z der Nanotechnologie - Optischer Mikrograph eines 200 Mangan-nanoindentation durchgeführt an einer Kreismasseverbindungsauflage, die aus einem 1 μm Aluminiumfilm abgegeben auf eine Sisubstratfläche besteht.

Abbildung 1.

Anwendung

Der optische Mikrograph, der in Fig. 1 gezeigt wird, zeigt eine 200 Mangan-Einrückung, die in die Mitte einer Kreismasseverbindungsauflage gelegt wird (Auflagendurchmesser = μm 40). In diesem Fall ist die Einrückungstiefe etwas größer als die Auflagenstärke, um die Deformation nachzuforschen, die produziert wird. Dieses kann verwendet werden, um den Effekt einer Fühlerspitze zu simulieren, welche die Auflage während des EinheitsTestverfahrens in Kontakt bringt. Das Eindrücken durch die Beschichtung kann das Knacken oder Ablösung von bestimmten Beschichtungen von der Substratfläche auch verursachen. Dieses erlaubt, dass Bruchhärte zusätzlich zur Härte und zum Modul nachgeforscht wird. Fig. 2 zeigt eine typisches Goldleitspur, auf die ein nanoindentation gelegt worden ist. In Hohem Grade genaue Stellungsregelung wird gefordert, um die Eigenschaften des Goldes zu denen der umgebenden Sizelle unabhängig zu messen. Die Größe der Einrückung ist auch wichtig, weil, wenn sie dann zu groß ist, die gemessenen mechanischen Eigenschaften möglicherweise nicht Vertreter des Spurmaterials allein sind.

AZONano - das A bis Z der Nanotechnologie - Optischer Mikrograph eines 200 Mangan-nanoindentation durchgeführt an einer Kreismasseverbindungsauflage, die aus einem 1 μm Aluminiumfilm abgegeben auf eine Sisubstratfläche besteht.

Abbildung 2.

Quelle: CSM-Instrumente

Zu mehr Information über diese Quelle besuchen Sie bitte CSM-Instrumente

Date Added: Dec 4, 2006 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 12:36

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