Caracterización "in-situ" del Circuito Integrado (IC) Con el Probador Nano del Endurecimiento (NHT) de los Instrumentos del CSM

Temas Revestidos

Antecedentes

Sangrado De Márgenes Esférico

Resultados

Antecedentes

El control de calidad Adecuado de los componentes del circuito integrado (IC) es fundamental durante la fase de revelado, permitiendo que el diseño y los representantes técnicos de proceso evalúen las funciones de un nuevo dispositivo antes de que alcance la prueba final del conjunto, donde la última realización de las fallas de diseño puede ser extremadamente costosa en términos de ediciones del tiempo-a-mercado. La Producción de control de línea es también importante mantener las normas de calidad y controlar las propiedades de los materiales que llegan de surtidores exteriores.

Caracterización del circuito integrado

El Probador Nano del Endurecimiento (NHT) de los Instrumentos del CSM ha mostrado ya su valor en poder medir exactamente las propiedades mecánicas de las pistas de vinculación de aluminio de IC. Sin Embargo, su combinación de la alta exactitud de colocación (< 1 μm) y la medición automatizada del módulo del endurecimiento y de elástico en un nanómetro lo escalan, hacen adecuado idealmente a la caracterización de muchas diversas clases de estructura de IC. Por ejemplo, IC moderno puede consistir en muchos carriles del circuito que estén de oro, de cobre o de aluminio depositado. Éstas son generalmente películas finas del espesor 0,5 - el μm 3,0 y el ancho de carril pueden ser tan pequeños como el μm 10. El substrato puede ser un substrato relativamente duro (e.g., silicio) pero en otros casos puede estar un material mucho más suave (e.g., polímero) por ejemplo ésos usados para las cabezas de impresión. La adherencia del fi lm al substrato es una consideración importante, al igual que el módulo del endurecimiento y de elástico.

Nanoindentation

Nanoindentation puede revelar la información importante con respecto a la integridad estructural de cierta capa. Para la caja de pistas de vinculación de aluminio, que deben servir la función doble de una antena-prueba y de una plataforma de la vinculación, las propiedades mecánicas necesitan ser controladas exactamente. El endurecimiento Escaso de la película resulta hacia adentro profundamente friega las marcas (durante la antena-prueba) que entonces previenen buen pegar entre la pista y el cable que conecta del oro. Además, si la pista es demasiado suave entonces los escombros sustanciales se pueden producir cuando la punta de la antena entra en el contacto con ella, el este ser una consideración muy importante en un ambiente tan sensible de la partícula. La observación topográfica Superficial (e.g., microscopia de exploración de la fuerza (SFM)) es también útil en la medición de la tosquedad superficial de IC que hace contacto con piezas como una alta tosquedad puede inducir desgaste prematuro, o prueba perjudicial a las funciones del dispositivo específico.

AZONano - La A a Z de la Nanotecnología - micrográfo Óptico de un nanoindentation de 200 manganesos realizado en una pista de vinculación circular que consiste en una 1 película de aluminio del μm depositada sobre un substrato del Si.

Cuadro 1.

Aplicación

El micrográfo óptico mostrado en Fig. 1 muestra un sangrado de márgenes de 200 manganesos colocado en el centro de una pista de vinculación circular (diámetro de la pista = el μm 40). En este caso, la profundidad del sangrado de márgenes es ligeramente mayor que el espesor de la pista para investigar la deformación se produce que. Esto se puede utilizar para simular el efecto de una punta de la antena que hace contacto con la pista durante el método de prueba del dispositivo. La Melladura a través de la capa puede también causar quebrarse o la exfoliación de ciertas capas del substrato. Esto permite que la fortaleza de la fractura sea investigada además de endurecimiento y de módulo. La Fig. 2 muestra un carril de conducto del oro típico sobre el cual se ha colocado un nanoindentation. El mando de posición Altamente exacto se requiere para medir las propiedades del oro independientemente a las de la estructura circundante del Si. La talla del sangrado de márgenes es también importante porque si es demasiado grande entonces las propiedades mecánicas medidas pueden no ser representante del material del carril solamente.

AZONano - La A a Z de la Nanotecnología - micrográfo Óptico de un nanoindentation de 200 manganesos realizado en una pista de vinculación circular que consiste en una 1 película de aluminio del μm depositada sobre un substrato del Si.

Cuadro 2.

Fuente: Instrumentos del CSM

Para más información sobre esta fuente visite por favor los Instrumentos del CSM

Date Added: Dec 4, 2006 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 12:57

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