Caractérisation In-situ de Circuit Intégré (IC) Avec l'Appareil De Contrôle Nano de Dureté (NHT) des Instruments de CSM

Sujets Couverts

Mouvement Propre

Indentation Sphérique

Résultats

Mouvement Propre

Le contrôle qualité Adéquat des composants de circuit intégré (IC) est principal pendant la phase de développement, permettant au design et aux ingénieurs des méthodes d'évaluer la fonctionnalité d'un dispositif neuf avant qu'il atteigne le test final de module, où la réalisation en retard des défauts de conception peut être extrêmement coûteuse en termes de délivrances de temps-à-marché. La Production à contrôle de ligne est également importante pour mettre à jour des normes de qualité et pour contrôler les propriétés des matériaux obtenant des fournisseurs extérieurs.

Caractérisation de circuit intégré

L'Appareil De Contrôle Nano de Dureté (NHT) des Instruments de CSM a déjà affiché sa valeur en pouvant mesurer exactement les propriétés mécaniques des plots de connexion en aluminium d'IC. Cependant, sa combinaison de haut positionnant l'exactitude (< 1 μm) et la mesure robotisée du module de dureté et élastique à une échelle de nanomètre, l'effectuent idéalement adaptée à la caractérisation de beaucoup de différents genres de structure d'IC. Par exemple, un IC moderne peut se composer de beaucoup de pistes de circuit qui sont d'or, de cuivre ou d'aluminium déposé. Ce sont habituellement des films minces de l'épaisseur 0,5 - le μm 3,0 et la largeur de piste peuvent être aussi petits que le μm 10. Le substrat peut être un substrat relativement dur (par exemple, silicium) mais dans d'autres cas peut être un matériau beaucoup plus mou (par exemple, polymère) comme ceux utilisés pour des têtes d'impression. L'adhérence du fi LM au substrat est une considération importante, de même que le module de dureté et élastique.

Nanoindentation

Nanoindentation peut indiquer l'information significative concernant l'intégrité structurelle d'une certaine couche. Pour la caisse de plots de connexion en aluminium, qui doivent servir l'à 2 modes de fonctionnement d'un sonde-test et d'une plate-forme de métallisation, des propriétés mécaniques doivent être exactement réglées. La dureté Insuffisante du film donne droit frottent dedans profondément les notes (pendant le sonde-test) qui évitent alors bon coller entre le tampon et le fil connectant d'or. De plus, si le tampon est trop mou alors des saletés substantielles peuvent être produites quand l'extrémité de sonde entre en contact avec elle, cet être une considération très importante dans un environnement sensible de si particules. L'observation topographique Extérieure (par exemple, microscopie de balayage de force (SFM)) est également utile en mesurant l'aspérité de l'IC entrant en contact avec des pièces car une rugosité élevée peut induire l'usure prématurée, ou prouve préjudiciable à la fonctionnalité de l'appareil spécifique.

AZONano - A à Z de Nanotechnologie - micrographe Optique d'un nanoindentation de 200 manganèses exécuté sur un plot de connexion circulaire se composant d'un 1 film en aluminium de μm déposé sur un substrat de SI.

Le Schéma 1.

Application

Le micrographe optique affiché dans Fig. 1 affiche une indentation de 200 manganèses mise au centre d'un plot de connexion circulaire (diamètre de tampon = μm 40). Dans ce cas, la profondeur d'indentation est légèrement plus grande que l'épaisseur de tampon afin de vérifier la déformation qui est produite. Ceci peut être employé pour simuler l'effet d'une extrémité de sonde entrant en contact avec le tampon pendant la méthode d'essai de dispositif. La Mise En Retrait par la couche peut également entraîner fêler ou décollement de certaines couches du substrat. Ceci permet à la dureté de fracture d'être vérifiée en plus de la dureté et du module. Fig. 2 affiche une piste de conduite d'or typique sur laquelle un nanoindentation a été mis. Le contrôle de position Hautement précis est exigé afin de mesurer les propriétés de l'or indépendamment à ceux de la structure environnante de SI. La taille de l'indentation est également importante parce que si elle est trop grande puis les propriétés mécaniques mesurées peuvent ne pas être préposé du service seul du matériau de piste.

AZONano - A à Z de Nanotechnologie - micrographe Optique d'un nanoindentation de 200 manganèses exécuté sur un plot de connexion circulaire se composant d'un 1 film en aluminium de μm déposé sur un substrat de SI.

Le Schéma 2.

Source : Instruments de CSM

Pour plus d'informations sur cette source visitez s'il vous plaît les Instruments de CSM

Date Added: Dec 4, 2006 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 12:34

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