(IC) Karakterisering Van Geïntegreerde Schakelingen In situ Met het Nano Meetapparaat van de Hardheid (NHT) Van Instrumenten CSM

Besproken Onderwerpen

Achtergrond

Sferische Inkeping

Resultaten

Achtergrond

De Adequate kwaliteitsbeheersing van (IC) de componenten van geïntegreerde schakelingen is fundamenteel tijdens de ontwikkelingsfase, die ontwerp en procesingenieurs toestaat om de functionaliteit van een nieuw apparaat te evalueren alvorens het de definitieve pakkettest bereikt, waar de recente totstandbrenging van ontwerpgebreken in termen van tijd-aan-markt kwesties uiterst duur kan zijn. De lopende bandcontrole is ook belangrijk om kwaliteitsnormen te handhaven en de eigenschappen van materialen te controleren aankomend van buitenleveranciers.

de Karakterisering van geïntegreerde schakelingen

Het Nano Meetapparaat van de Hardheid (NHT) van Instrumenten CSM heeft reeds zijn waarde in het kunnen de mechanische eigenschappen van het aluminiumstootkussens plakkend van IC nauwkeurig meten getoond. Nochtans, maken zijn combinatie van hoge het plaatsen nauwkeurigheid (< 1 μm) en geautomatiseerde meting van hardheid en elastische modulus bij een nanometerschaal, het ideaal gezien voor karakterisering van vele verschillende soorten de structuur van IC geschikt. Bijvoorbeeld, kan modern IC uit vele kringssporen bestaan die van gedeponeerd goud, koper of aluminium zijn. Dit zijn gewoonlijk dunne films van dikte 0.5 - 3.0 μm en de spoorbreedte kan zo klein zijn zoals 10 μm. Het substraat kan een vrij hard substraat zijn (b.v., silicium) maar in andere gevallen kan een veel zachter materiaal (b.v., polymeer) zoals die zijn gebruikt voor drukhoofden. De adhesie van FI lm aan het substraat is een belangrijke overweging, zoals de hardheid en de elastische modulus zijn.

Nanoindentation

Nanoindentation kan significante informatie betreffende de structurele integriteit van een bepaalde deklaag openbaren. Voor het geval van aluminiumstootkussens plakkend, die de dubbele functie van een sonde-testend en plakkend moeten dienen platform, moeten de mechanische eigenschappen nauwkeurig worden gecontroleerd. De Ontoereikende hardheid van de filmresultaten in diep schrobt tekens (tijdens sonde-test) die dan het goede plakken tussen het stootkussen en de gouden verbindende draad verhinderen. Bovendien als het stootkussen te zacht is dan kan het wezenlijke puin worden geproduceerd wanneer het sondeuiteinde in contact met het komt, dit die een zeer belangrijke overweging in zulk een deeltjes gevoelige milieu is. Is de topografische observatie van de Oppervlakte (b.v., de aftastende kracht (SFM)microscopie) ook nuttig in het meten van de oppervlakteruwheid van IC contacterend delen aangezien een hoge ruwheid voorbarige slijtage kan veroorzaken, of schadelijk aan de functionaliteit van het specifieke apparaat blijken.

AZONano - A aan Z van Nanotechnologie - Optische die micrograaf van een 200 Mnnanoindentation op een cirkelstootkussen wordt uitgevoerd dat plakkend uit de film bestaat die van het a1μm aluminium op een substraat van Si wordt gedeponeerd.

Figuur 1. Optische die micrograaf van een 200 Mnnanoindentation op een cirkelstootkussen wordt uitgevoerd dat plakkend uit de film bestaat die van het a1μm aluminium op een substraat van Si wordt gedeponeerd.

Toepassing

De optische die micrograaf in Fig. 1 wordt getoond toont een 200 Mninkeping in het centrum van een cirkelstootkussen plakkend (stootkussendiameter = 40 μm) wordt geplaatst. In dit geval, is de inkepingsdiepte lichtjes groter dan de stootkussendikte om de misvorming te onderzoeken die wordt veroorzaakt. Dit kan worden gebruikt om het effect van een sondeuiteinde te simuleren contacterend het stootkussen tijdens de apparaten beproevingsprocedure. Het Kartelen door de deklaag kan het barsten of losmaking van bepaalde deklagen van het substraat ook veroorzaken. Dit laat breukhardheid toe om naast hardheid en modulus worden onderzocht. Fig. 2 toont een typisch goud leidend spoor waarop een nanoindentation is geplaatst. De Hoogst nauwkeurige positiecontrole wordt vereist om de eigenschappen van het goud aan die van de omringende structuur van Si onafhankelijk te meten. De grootte van de inkeping is ook belangrijk omdat als het toen te groot is de gemeten mechanische eigenschappen niet voor het spoor alleen materiaal kunnen representatief zijn.

AZONano - A aan Z van Nanotechnologie - Optische die micrograaf van een 200 Mnnanoindentation op een cirkelstootkussen wordt uitgevoerd dat plakkend uit de film bestaat die van het a1μm aluminium op een substraat van Si wordt gedeponeerd.

Figuur 2. Optische die micrograaf van nanoindentations in de structuur van Si van een apparaat van IC (links) wordt geplaatst en op een goud dat (juist) spoor leidt. Merk op dat de het plaatsen nauwkeurigheid van NHT de paragraaf om nauwkeurig binnen een spoor van breedte 15 μm toelaat worden geplaatst. Het spoor wordt geproduceerd door lithografische ets, waarna wordt het goud gedeponeerd door te sputteren in het geprefabriceerde kanaal.

Bron: Instrumenten CSM

Voor meer informatie over deze bron te bezoeken gelieve Instrumenten CSM

Date Added: Dec 4, 2006 | Updated: Dec 2, 2014

Last Update: 9. December 2014 19:38

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit