Caracterização In Situ do Circuito Integrado (IC) Com o Verificador Nano da Dureza (NHT) dos Instrumentos do CSM

Assuntos Cobertos

Fundo

Recorte Esférico

Resultados

Fundo

O controle Adequado da qualidade de componentes do circuito integrado (IC) é fundamental durante a fase de revelação, permitindo que o projecto e os coordenadores de processo avaliem a funcionalidade de um dispositivo novo antes que alcance o teste final do pacote, onde a realização atrasada de falhas de projecto pode ser extremamente cara em termos das edições do tempo-à-mercado. A linha de Produção controle é igualmente importante manter padrões de qualidade e verificar as propriedades dos materiais que chegam dos fornecedores exteriores.

Caracterização do circuito integrado

O Verificador Nano da Dureza (NHT) dos Instrumentos do CSM tem mostrado já seu valor em poder medir exactamente as propriedades mecânicas das almofadas de ligação de alumínio do IC. Contudo, sua combinação de precisão de posicionamento alta (< 1 μm) e a medida automatizada do módulo do dureza e o elástico em um nanômetro escalam-no, fazem-n serido idealmente à caracterização de muitos tipos diferentes da estrutura do IC. Por exemplo, um IC moderno pode consistir em muitas trilhas do circuito que são do ouro, do cobre ou do alumínio depositado. Estes são geralmente filmes finos da espessura 0,5 - o μm 3,0 e a largura de trilha podem ser tão pequenos quanto o μm 10. A carcaça pode ser uma carcaça relativamente dura (por exemplo, silicone) mas em outros casos pode ser um material muito mais macio (por exemplo, polímero) como aquelas usadas para as cabeças de impressão. A adesão do fi lm à carcaça é uma consideração importante, como é o módulo do dureza e o elástico.

Nanoindentation

Nanoindentation pode revelar a informação significativa em relação à integridade estrutural de um determinado revestimento. Para a caixa das almofadas de ligação de alumínio, que devem servir a função dupla de um ponta de prova-teste e de uma plataforma da ligação, as propriedades mecânicas precisam de ser controladas exactamente. A Insuficiente dureza do filme resulta dentro esfrega profundamente as marcas (durante o ponta de prova-teste) que impedem então um bom ligamento entre a almofada e o fio de conexão do ouro. Além, se a almofada é demasiado macia então os restos substanciais podem ser produzidos quando a ponta da ponta de prova entra o contacto com ela, este ser uma consideração muito importante em um ambiente tão sensível da partícula. A observação topográfica De Superfície (por exemplo, microscopia de varredura da força (SFM)) é igualmente útil em medir a aspereza de superfície do IC que contacta as peças como uma aspereza alta pode induzir o desgaste prematuro, ou prova prejudicial à funcionalidade do dispositivo específico.

AZONano - O A a Z da Nanotecnologia - micrografia Óptica de um nanoindentation de 200 manganêses executado em uma almofada de ligação circular que consiste em um 1 filme de alumínio do μm depositado em uma carcaça do Si.

A Figura 1. micrografia Óptica de um nanoindentation de 200 manganêses executou em uma almofada de ligação circular que consiste em um 1 filme de alumínio do μm depositado em uma carcaça do Si.

Aplicação

A micrografia óptica mostrada em Fig. 1 mostra um recorte de 200 manganêses colocado no centro de uma almofada de ligação circular (diâmetro da almofada = μm 40). Neste caso, a profundidade do recorte é ligeira maior do que a espessura da almofada a fim investigar a deformação que é produzida. Isto pode ser usado para simular o efeito de uma ponta da ponta de prova que contacta a almofada durante o procedimento de teste do dispositivo. Recortar através do revestimento pode igualmente causar o rachamento ou a delaminação de determinados revestimentos da carcaça. Isto permite que a dureza da fractura seja investigada além do que a dureza e o módulo. O Fig. 2 mostra uma trilha de condução do ouro típico em que um nanoindentation foi colocado. O controle de posição Altamente preciso é exigido a fim medir independente as propriedades do ouro àquelas da estrutura circunvizinha do Si. O tamanho do recorte é igualmente importante porque se é demasiado grande então as propriedades mecânicas medidas não podem ser representante do material da trilha apenas.

AZONano - O A a Z da Nanotecnologia - micrografia Óptica de um nanoindentation de 200 manganêses executado em uma almofada de ligação circular que consiste em um 1 filme de alumínio do μm depositado em uma carcaça do Si.

Figura 2. micrografia Óptica dos nanoindentations colocados na estrutura do Si de um dispositivo do IC (deixado) e em uma trilha de condução do ouro (direita). Note que a precisão de posicionamento do NHT permite que o recorte esteja posicionado exactamente dentro de uma trilha do μm da largura 15. A trilha é produzida gravura a água-forte litográfica, depois do qual o ouro é depositado engasgando no canal pré-fabricado.

Source: Instrumentos do CSM

Para obter mais informações sobre desta fonte visite por favor Instrumentos do CSM

Date Added: Dec 4, 2006 | Updated: Dec 2, 2014

Last Update: 9. December 2014 19:56

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