الآن نظام الشق متغيرة مدخل (أو Micro - شق) يشيع استخدامها بوصفها عنصرا حاسما في الحجاب الحاجز طيفي الكثيرة التي وظيفتها الأساسية لتحليل البصمات الجزيئية للعينات السائل. هذا الهيكل مجهريا (الشكل 1) ويتكون من لوحة الفتحة المركزية التي تدعمها زوجا من الحزم مرنة تسمح موجات ضوئية مختلفة لتمر من خلال فتحة. غير المغلفة لوحة الفتحة بطبقة رقيقة من الألومنيوم (500 نانومتر) الذي يعمل في وظيفة من اخفاء أي ضوء حول الفتحة. Nanoscratch تستر توصيف للالتصاق طلاء الشريف على هذه الركيزة في سي صعب نظرا لصغر حجم لوحة الفتحة. و تستر نانو الصفر (NST) من الآلات CSM تم استخدامها لقياس بدقة المقاومة الصفر عن طريق الخدوش تحميل التدريجي على المدى حمولة 0-10 دقيقة مع تلميح 5 الماس الدردشة. التين. 1 يبين اثنين خدوش صرفت على كل جانب من الشق المركزي. المجهر الضوئي لاحقة على طول مسارات الصفر يسمح نقاط الفشل الحرجة التي يتعين مراعاتها : الفشل الأول يتكون من الانشقاق على جانبي الطريق (الشكل 2 (أ)) ، في حين يعتبر الفشل النهائي delamination للطلاء من الركيزة ( الشكل 2 (ب)). هذه القياسات تؤكد استخدام NST ، باعتبارها أداة مفيدة لتوصيف الطلاء في الموقع على الأجهزة الصغيرة جدا التي لا غنى عنها الأحمال المنخفضة والعالية الدقة لتحديد المواقع. .jpg)
الشكل 1. مجهرية بصرية هيكل نموذجي Microslit تظهر لوحة الفتحة المركزية التي تدعمها زوجا من الحزم مرنة ايم 80 سمك. صورة مكبرة يظهر اثنين من الخدوش التي على كل جانب من الشق المركزي (اتجاه الصفر من اليسار إلى اليمين). .jpg)
الشكل 2. micrographs البصرية الفشل الأول (أ) حيث يحدث تكسير الأولي والفشل النهائي (ب) حيث طلاء الألمنيوم delaminates تماما من الركيزة سي. هذه الصور تتطابق مع واحدة من الخدوش هو مبين في الشكل. 1. |