Qualitätskontrolle Mikro-Schlitz Reflektierender Beschichtung Mit der Nano--Kratzer Prüfvorrichtung (NST) Von CSM-Instrumenten

Themen Umfaßt

Hintergrund
Nanoscratch-Prüfvorrichtung

 

Hintergrund

Die Variabeleingang Schlitzanlage (oder der Mikro-Schlitz) ist jetzt als kritisches Membranbauteil in vielen Spektrofotometern allgemein verwendet, deren allgemeine Funktion, den molekularen Fingerabdruck von flüssigen Proben zu analysieren ist. Diese micromachined Zelle (Feige. 1) besteht aus einer zentralen Lochplatte, die durch ein Paar flexible Träger unterstützt wird, die Leuchte von verschiedenen Wellenlängen durch den Schlitz passieren lassen. Die Lochplatte wird mit einer dünnen (500 nm) Aluminiumbeschichtung beschichtet, die die Funktion des Abdeckens jeder möglicher Leuchte um die Öffnung dient.

Nanoscratch-Prüfvorrichtung

Kennzeichnung des Beitrittes dieses Als, das zu seiner Sisubstratfläche beschichtet, ist wegen des kleinen der Lochplatte schwierig. Die Nano--Kratzer Prüfvorrichtung (NST) von CSM-Instrumenten ist verwendet worden, um die Kratzfestigkeit genau zu messen, indem man progressive Belastungskratzer über dem Messbereich 0 - Mangan 10 mit einer 5 ìm Diamantspitze machte. Fig. 1 zeigt zwei solche Kratzer, die auf jeder Seite des zentralen Schlitzes gemacht werden. Nachfolgende optische Mikroskopie entlang den Kratzerpfaden erlaubt, dass die kritischen Schwachstellen beobachtet werden: erstes Versagen besteht, an den Seiten des Pfades zu knacken (Fig. 2 (A)), während abschließendes Versagen als Ablösung der Beschichtung von der Substratfläche gesehen wird (Fig. 2 (B)). Solche Maße bestätigen den Gebrauch von dem NST als nützliches Hilfsmittel für die Charakterisierung von den Beschichtungen, die auf ultra-kleinen Einheiten in-situ sind, in denen die Schwachlasten und Hoch, die Genauigkeit in Position bringt, unentbehrlich sind.

Stellen Sie Mikrographen 1.Optical einer typischen Microslit-Zelle dar, welche die zentrale Lochplatte zeigt, die durch ein Paar flexible Träger von Stärke 80 ìm unterstützt wird. Die laut gesummten Bildshows zwei Kratzer gemacht auf jeder Seite des zentralen Schlitzes (Kratzerrichtung von links nach rechts).

Stellen Sie Mikrographen 2.Optical ersten Versagens (a) dar, in dem das Anfangsknacken und abschließendes Versagen (b) auftritt, wo das Aluminiumbeschichten vollständig von der Sisubstratfläche delaminates. Diese Bilder entsprechen bis einen der Kratzer, die in der Feige gezeigt werden. 1.

 

Quelle: CSM-Instrumente
Zu mehr Information über diese Quelle besuchen Sie bitte CSM-Instrumente

Date Added: Dec 4, 2006 | Updated: Dec 2, 2014

Last Update: 9. December 2014 19:45

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit