Η μεταβλητή-είσοδο του συστήματος σχισμή (ή μικρο-σχισμής) είναι πλέον χρησιμοποιείται ευρέως ως ένα κρίσιμο συστατικό διάφραγμα σε πολλές φασματοφωτόμετρα των οποίων η κύρια λειτουργία είναι να αναλύσει τις μοριακές δακτυλικών αποτυπωμάτων των υγρών δειγμάτων. Αυτό micromachined δομή (Εικ. 1) αποτελείται από μια κεντρική πλάκα διαφράγματος που υποστηρίζονται από ένα ζευγάρι των ευέλικτων δοκοί που επιτρέπουν το φως των διαφορετικών μηκών κύματος να περάσει μέσα από τη σχισμή. Η πλάκα διάφραγμα είναι ντυμένο με ένα λεπτό (500 nm) επίστρωση από αλουμίνιο το οποίο εξυπηρετεί τη λειτουργία της συγκάλυψης τυχόν φως γύρω από το διάφραγμα. Nanoscratch Tester Χαρακτηρισμός της πρόσφυσης του επιχρίσματος στο Al Si υπόστρωμα της είναι δύσκολη λόγω του μικρού μεγέθους του ανοίγματος πλάκα. Το Nano-Scratch Tester (NST) από CSM Όργανα έχει χρησιμοποιηθεί για να μετρηθεί με ακρίβεια την αντοχή στις γρατσουνιές, κάνοντας προοδευτική γρατσουνιές φορτίο στην περιοχή φορτίο 0 έως 10 mN με μια άκρη 5 μm διαμάντι. Εικ.. 1 παρουσιάζει δύο τέτοια χτυπήματα από κάθε πλευρά του κεντρικού σχισμή. Μεταγενέστερες οπτική μικροσκοπία στα μονοπάτια μηδέν επιτρέπει τα κρίσιμα σημεία αποτυχίας που πρέπει να τηρούνται: πρώτη αποτυχία αποτελείται από ρωγμές στις πλευρές του δρόμου (Σχήμα 2 (α)), ενώ η τελική αποτυχία θεωρείται αποκόλληση της επικάλυψης από το υπόστρωμα ( Εικ.. 2 (β)). Οι μετρήσεις αυτές επιβεβαιώνουν τη χρήση του NST ως ένα χρήσιμο εργαλείο για τον χαρακτηρισμό επικαλύψεων in-situ με εξαιρετικά μικρές συσκευές που είναι απαραίτητες χαμηλά φορτία και υψηλή ακρίβεια εντοπισμού θέσης. .jpg)
Σχήμα 1. Οπτική μικρογραφία μιας τυπικής δομής Microslit που δείχνει η κεντρική πλάκα διαφράγματος που υποστηρίζονται από ένα ζευγάρι των ευέλικτων δοκάρια πάχους 80 μm. Η μεγεθυσμένη εικόνα δείχνει δύο χτυπήματα σε κάθε πλευρά του κεντρικού σχισμή (κατεύθυνση το μηδέν από αριστερά προς τα δεξιά). .jpg)
Σχήμα 2. Οπτική micrographs αποτυχίας της πρώτης (α) όπου οι αρχικές ρωγμές εμφανίζεται και η τελική αποτυχία (β) όταν η επίστρωση αλουμινίου delaminates εντελώς από το υπόστρωμα Si. Αυτές οι εικόνες αντιστοιχούν σε μία από τις γρατσουνιές φαίνεται στην εικόνα. 1. |