Control de calidad de la Capa Reflexiva de la Micro-Ranura Con el Probador de la Nano-Rayadura (NST) de los Instrumentos del CSM

Temas Revestidos

Antecedentes
Probador de Nanoscratch

 

Antecedentes

El sistema de la ranura de la variable-entrada (o la Micro-Ranura) es de uso general ahora como componente crítico del diafragma en muchos espectrofotómetros cuya función principal sea analizar la huella dactilar molecular de muestras líquidas. Esta estructura micromachined (la Fig. 1) consiste en una placa de apertura central utilizada por un par de haces flexibles que permitan que la luz de diversas longitudes de onda pase a través de la ranura. La placa de apertura está recubierta con (500 nanómetro) una capa de aluminio fina que sirva la función de enmascarar cualquier luz alrededor de la apertura.

Probador de Nanoscratch

La Caracterización de la adherencia de este Al que recubre a su substrato del Si es difícil debido al tamaño pequeño de la placa de apertura. El Probador de la Nano-Rayadura (NST) de los Instrumentos del CSM ha sido utilizado para medir exactamente la resistencia de la rayadura haciendo rayaduras progresivas de la carga sobre el rango 0 - de la carga el manganeso 10 con una punta del diamante de 5 ìm. La Fig. 1 muestra dos tales rayaduras hechas en cada cara de la ranura central. La microscopia óptica Subsiguiente a lo largo de los caminos de la rayadura permite que las puntas del incidente crítico sean observadas: el primer incidente consiste en el quebrarse en las caras del camino (Fig. 2 (a)), mientras que el incidente final se considera como exfoliación de la capa del substrato (Fig. 2 (b)). Tales mediciones confirman el uso del NST como herramienta útil para caracterizar las capas "in-situ" en los ultra-pequeños dispositivos donde están imprescindibles las cargas inferiores y el alto que colocan exactitud.

Figure el micrográfo 1.Optical de una estructura típica de Microslit que muestra la placa de apertura central utilizada por un par de haces flexibles del ìm del espesor 80. Las demostraciones empinadura de la imagen dos rayaduras hechas en cada cara de la ranura central (dirección de la rayadura de izquierda a derecha).

Figure los micrográfos 2.Optical del primer incidente (a) donde ocurre el quebrarse inicial y el incidente final (b) donde el recubrimiento de aluminio delaminates totalmente del substrato del Si. Estas imágenes corresponden a una de las rayaduras mostradas en Fig. 1.

 

Fuente: Instrumentos del CSM
Para más información sobre esta fuente visite por favor los Instrumentos del CSM

Date Added: Dec 4, 2006 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 12:57

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