Contrôle Qualité de la Couche Réfléchie de Micro-Fente Avec l'Appareil De Contrôle de Nano-Brouillon (NST) des Instruments de CSM

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Mouvement Propre
Appareil De Contrôle de Nanoscratch

 

Mouvement Propre

Le système de fente de variable-entrée (ou la Micro-Fente) est maintenant utilisée généralement comme composant critique de diaphragme dans beaucoup de spectrophotomètres dont le fonctionnement principal est d'analyser l'empreinte digital moléculaire des échantillons liquides. Cette structure micromachined (Fig. 1) se compose d'une plaque à trous centrale supportée par une paire de poutres flexibles qui permettent à la lumière de différentes longueurs d'onde de réussir par la fente. La plaque à trous est enduite (500 nanomètre) d'une couche en aluminium mince qui remplit le fonctionnement de masquer n'importe quelle lumière autour de l'ouverture.

Appareil De Contrôle de Nanoscratch

La Caractérisation de l'adhérence de cet Al vêtant à son substrat de SI est difficile dû à la petite taille de la plaque à trous. L'Appareil De Contrôle de Nano-Brouillon (NST) des Instruments de CSM a été employé pour mesurer exactement la résistance de brouillon en effectuant les brouillons graduels de charge sur le domaine de charge 0 - le manganèse 10 avec une extrémité de diamant de 5 ìm. Fig. 1 affiche deux tels brouillons effectués de chaque côté de la fente centrale. La microscopie optique Ultérieure le long des chemins de brouillon permet aux remarques de défaillance critique d'être observées : la première défaillance se compose fêler aux côtés du chemin (Fig. 2 (a)), attendu que la défaillance finale est vue comme décollement de la couche du substrat (Fig. 2 (b)). De Telles mesures confirment l'utilisation de l'OBJECTIF D'ÉTAT-MAJOR OTAN comme outil utile pour caractériser des couches in-situ sur des dispositifs d'ultra-petit où les charges faibles et le haut positionnant l'exactitude sont indispensables.

Figure le micrographe 1.Optical d'une structure typique de Microslit affichant la plaque à trous centrale supportée par une paire de poutres flexibles de ìm de l'épaisseur 80. Les expositions changées de plan d'image deux brouillons effectués de chaque côté de la fente centrale (sens de brouillon de gauche à droite).

Figure les micrographes 2.Optical de la première défaillance (a) où fêler initial se produit et la défaillance finale (b) où vêtir en aluminium delaminates complet du substrat de SI. Ces images correspondent à un des brouillons affichés dans Fig. 1.

 

Source : Instruments de CSM
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Date Added: Dec 4, 2006 | Updated: Dec 2, 2014

Last Update: 9. December 2014 19:41

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