CSM の器械からの Nano スクラッチテスターが付いているマイクロスリット反射 (NST)コーティングの品質管理

カバーされるトピック

背景
Nanoscratch のテスター

 

背景

可変的入口スリットシステム (かマイクロスリット) 主な機能が液体のサンプルの分子指紋を分析すること多くの分光光度計の重大なダイヤフラムのコンポーネントとして今広く使われています。 この micromachined 構造 (図 1) は異なった波長のライトがスリットを通るようにする適用範囲が広いサポートされる中央開口版からビームのペア成っています。 開口版は開口のまわりでライトを覆うことの機能に役立つ薄い (500 nm) アルミニウムコーティングが塗られます。

Nanoscratch のテスター

Si の基板に塗るこの Al の付着の性格描写は開口版の小型のために困難です。 ロード範囲 (NST) 0 - 5 つの ìm のダイヤモンドの先端の 10 上の進歩的なロードスクラッチの作成によって CSM の器械からの Nano スクラッチテスターが正確にスクラッチ抵抗を測定するのに mN 使用されていました。 図 1 は中央スリットの各側面でなされる 2 つのそのようなスクラッチを示します。 スクラッチ経路に沿うそれに続く光学顕微鏡検査は重大な障害ポイントが観察されるようにします: 最初障害は経路 (図 2 (a)) の側面で割れることから最終的な障害が基板 (図 2 からのコーティングの薄片分離として見られる一方、成っています (b))。 そのような測定は正確さを置く低いロードおよび最高が不可欠である超小さい装置で in-situ コーティングを特徴付けるための役に立つツールとして NST の使用を確認します。

厚さ 80 の ìm の適用範囲が広いビームのペアサポートされる中央開口版を示す Microslit の典型的な構造の 1.Optical 顕微鏡写真を計算して下さい。 急上昇させた画像ショー中央スリット (スクラッチ方向左から右へ) の各側面でなされる 2 つのスクラッチ。

アルミニウムコーティングが Si の基板から完全に薄片に裂けるところで最初に割れることが最終的な障害 (b) 発生する最初障害 (a) の 2.Optical 顕微鏡写真を計算すれば。 これらの画像は図 1. で示されているスクラッチの 1 つに対応します。

 

ソース: CSM の器械
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Date Added: Dec 4, 2006 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 12:42

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