Controle da Qualidade do Revestimento Reflexivo da Micro-Régua Com o Verificador do Nano-Risco (NST) dos Instrumentos do CSM

Assuntos Cobertos

Fundo
Verificador de Nanoscratch

 

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O sistema da régua da variável-entrada (ou a Micro-Régua) são agora de uso geral como um componente crítico do diafragma em muitos espectrofotômetros cuja a função principal é analisar a impressão digital molecular de amostras líquidas. Esta estrutura micromachined (Fig. 1) consiste em uma placa de abertura central apoiada por um par de feixes flexíveis que permitem que a luz de comprimentos de onda diferentes passe através da régua. A placa de abertura é revestida com (500 nanômetro) um revestimento de alumínio fino que serva a função de mascarar toda a luz em torno da abertura.

Verificador de Nanoscratch

A Caracterização da adesão deste Al que reveste a sua carcaça do Si é difícil devido ao tamanho pequeno da placa de abertura. O Verificador do Nano-Risco (NST) dos Instrumentos do CSM foi usado para medir exactamente a resistência do risco fazendo riscos progressivos da carga sobre a escala 0 - da carga o manganês 10 com uma ponta do diamante de 5 ìm. O Fig. 1 mostra dois tais riscos feitos em cada lado da régua central. A microscopia óptica Subseqüente ao longo dos trajectos do risco permite que os pontos da falha crítica sejam observados: a primeira falha consiste rachar-se nos lados do trajecto (Fig. 2 (a)), visto que a falha final é considerada como a delaminação do revestimento da carcaça (Fig. 2 (b)). Tais medidas confirmam o uso do NST como uma ferramenta útil para caracterizar os revestimentos in situ nos dispositivos ultra-pequenos onde as baixas cargas e a elevação que posicionam a precisão são indispensáveis.

Figure a micrografia 1.Optical de uma estrutura típica de Microslit que mostra a placa de abertura central apoiada por um par de feixes flexíveis do ìm da espessura 80. As mostras zumbidas da imagem dois riscos feitos em cada lado da régua central (sentido do risco da esquerda para a direita).

Figure as micrografia 2.Optical da primeira falha (a) onde o rachamento inicial ocorre e a falha final (b) onde o revestimento de alumínio delaminates completamente da carcaça do Si. Estas imagens correspondem a um dos riscos mostrados no Figo. 1.

 

Source: Instrumentos do CSM
Para obter mais informações sobre desta fonte visite por favor Instrumentos do CSM

Date Added: Dec 4, 2006 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 12:52

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