Проверка Качества Покрытия Микро--Разреза Отражательного С Тестером Nano-Скреста (NST) От Аппаратур CSM

Покрытые Темы

Предпосылка
Тестер Nanoscratch

 

Предпосылка

Система разреза переменн-входа (или Микро--Разрез) теперь обыкновенно использованы как критический компонент диафрагмы в много спектрофотометров функция которых главным образом проанализировать молекулярный фингерпринт жидкостных образцов. Эта micromachined структура (FIG. 1) состоит из центральной плиты апертуры поддержанной парой гибких лучей которые позволяют свету различных длин волны пройти через разрез. Плита апертуры покрына с тонким (500 nm) алюминиевым покрытием которое служит функция маскировать любой свет вокруг апертуры.

Тестер Nanoscratch

Характеризация прилипания этого Al покрывая к своему субстрату Si трудна вследствие малого размера плиты апертуры. Тестер Nano-Скреста (NST) от Аппаратур CSM был использован точно для того чтобы измерить сопротивление скреста путем делать прогрессивные скресты нагрузки над нагруженной областью 0 до mN 10 с подсказкой диаманта 5 ìm. FIG. 1 показывает 2 таких скреста сделанного на каждой стороне центрального разреза. Последующая оптически микроскопия вдоль путей скреста позволяет пунктам критического отказа наблюдаться: первый отказ состоит из треснуть на сторонах путя (FIG. 2 (a)), тогда как окончательный отказ увиден как деламинация покрытия от субстрата (FIG. 2 (b)). Такие измерения подтверждают пользу NST как полезный инструмент для характеризовать покрытия в-situ на ультра-малых приборах где низкие нагрузки и максимум располагая точность непременны.

Вычисляйте микрорисунок 1.Optical типичной структуры Microslit показывая центральную плиту апертуры поддержанную парой гибких лучей ìm толщины 80. Просигналенные выставки изображения 2 скреста сделанного на каждой стороне центрального разреза (направления скреста от левого к праву).

Вычисляйте микрорисунки 2.Optical первого отказа (a) где начальный трескать происходит и окончательный отказ (b) где алюминиевый покрывать вполне delaminates от субстрата Si. Эти изображения соответствуют до один из скрестов показанных в FIG. 1.

 

Источник: Аппаратуры CSM
Для больше информации на этом источнике пожалуйста посетите Аппаратуры CSM

Date Added: Dec 4, 2006 | Updated: Dec 2, 2014

Last Update: 9. December 2014 19:58

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask regarding this article?

Leave your feedback
Submit