CSM の器械からの共通の圧子の先端の欠陥を調査するための結合された Nano 硬度のテスターそしてスキャン力の顕微鏡

カバーされるトピック

背景

共通の圧子の先端の欠陥

アプリケーション

Pixellation

接触域

背景

使用される圧子の先端の欠陥そして対称を点検し、量を示すのにイメージ投射から離れてまた刻み目の残りの押印が、 (NHT) CSM の器械の Nano 硬度のテスターに取付けられる統合された SFM 使用することができます。 実際の圧子の先端は、縦の棒に溶けて、ヘッド NHT の測定から容易に除去され、 SFM の目的の下で正確に置くことができます。

共通の圧子の先端の欠陥

共通の圧子の先端の欠陥が十分な先端ことをに正方形ベースのピラミッドの粉砕の難しさのために Vickers の幾何学の場合には重要、特に、である場合もあることが示されていました。 それに対して従って、 Berkovich の 3 味方された錐体幾何学はポイントで自然に終わりま、非常に小規模に鋭さを維持するダイヤモンドの粉砕を促進します。 Berkovich の先端は有効な先端の半径特徴付けられて、よりよいダイヤモンドの多数の 50 以下 nm 頻繁にあるように、逃走します。

AZoNano - A からナノテクノロジーの Z - Vickers (a) および Berkovich (b) のダイヤモンドののスキャン力の顕微鏡検査の画像圧子。

図 1。

アプリケーション

図 1 は Vickers および Berkovich の圧子の 2 つの SFM の画像を示します。 SFM に限られた縦の範囲があるが、ほとんどの nanoindentations は 5 つ以下の mm 詳細です、従って器械は圧子の実行中の部分の測定にうってつけです。 さらに、 SFM の高リゾリューションは形情報、また完全に鋭い錐体幾何学からの偏差が画像から直接得られるようにします。 この領域の前の仕事は錐体圧子の領域機能が pixellation および SFM のプローブの形ことをの効果を修正の後で SFM の画像から、得られる情報から直接計算することができることを示しました。

Pixellation

Pixellation は SFM データがデジタル形式で得られる発生し、従ってデータ点の有限な番号がありますという事実が原因で。 例えば、 20 の mm およびラインごとの (512) ポイントの最大数を使用することの側面スキャンサイズのため、各データ点間の分離は 20000/512 = 39 nm です。 これは実際は典型的な錐体圧子の画像が側面分離 39 nm のステップから成っていることを意味します。

接触域

それからこれが有意性誤りを作り出す接触域がおよびそのようなデータから計算されるべきならさまざまな訂正ルーチンは使用されなければなりません。 明らかに、この効果は玉突き衝突ボリュームか接触域が計算されるべきなら残りの押印の SFM の画像にまたあり、考慮に入れられるべきです。

ソース: CSM の器械

このソースのより多くの情報のために CSM の器械を訪問して下さい

Date Added: Dec 5, 2006 | Updated: Jun 11, 2013

Last Update: 13. June 2013 12:42

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