اختبار تأثير نانو هي وحدة الأخيرة إضافة إلى آلات CSM اختبار صلابة نانو وضعت استجابة لدراسة تأثير المواد في الأحمال المنخفضة جدا. والمبدأ بسيط : يتم تطبيق خطوة التذبذب تحميل عند نقطة محددة مسبقا خلال وقفة في المسافة البادئة تفريغ الحمولة دورة. ويمكن لذلك الطرف إندينتر تستعمل للتأثير على سطح العينة بطريقة مسيطر عليها وسرعة التأثير يمكن تعريفها بدقة. أفلام رقيقة وعوازل يمكن أن الطلاء رقيقة التي تخضع لضغوط متكررة كثيرا ما تفشل في وقت أقرب مما فقط عندما تتعرض لإجهاد monocycle. العديد من التطبيقات الطلب رقيقة الفيلم أن طلاء تكون قادرة على تحمل تأثيرات كثيرة على مدى العمر الافتراضي للجهاز ، وهذا يجري من أهمية خاصة في التطبيقات الهامة مثل التبديل الجزئي أشباه الموصلات والأجهزة ممس. وسوف يؤكد تأثير المتكررة في طبقة رقيقة تؤدي إلى التعب من المواد فضلا عن تصدع كبير وdelamination. طلاء السيليكون نتريد اختبار المواد وهنا لنتريد السيليكون (الخطيئة) طلاء على ركيزة الفولاذ المقاوم للصدأ الذي يسلك أي بصمة المتبقية بعد المسافة البادئة شبه ثابتة لمعيار الحمولة القصوى المطبقة من 5 مليون باستخدام إندينتر Berkovich. ومع ذلك ، إذا تم إضافة خطوة التذبذب أثناء الحمل وقفة في الحمولة القصوى ، يمكن أن أنهكتهم الطلاء ، مما أدى إلى تصدع كبير كما هو مبين في الشكل رقم 1. في هذا المثال ، تم إنتاج التأثيرات بإضافة خطوة التذبذب تحميل 11.7 مليون خلال وقفة في الحد الأقصى لحمولة 5 مليون. وأجريت اختبارات مستقلة عدة مع الأعداد المتزايدة من الآثار (1 ، 3 ، 5 ، 7 ، 10 ، 15 ، 20 ، ودورات 30). تم تصوير بصمة المتبقية بعد كل اختبار من أجل ربط طول الشقوق المنبثقة من كل ركن من أركان الانطباع Berkovich إلى عدد من الآثار التي يؤدونها. من الحمولة وحجم طبق الكراك المسافة البادئة ، ويمكن أن يحسب صلابة الكسر (KC).  الشكل 1. micrographs البصرية للبصمات في طلاء الخطيئة التي تبين زيادة طول صدع بوصفها وظيفة من عدد من الآثار. تقنية البادئة المجهزة التي استخدمها تستر المؤامرات نانو صلابة وعمق الاختراق من إندينتر بوصفها وظيفة من خلال تحميل تطبيق كامل تحميل وتفريغ أجزاء من الاختبار. التين. 2 يبين الحمل وعمق الاختراق تآمر بوصفها وظيفة من الوقت لمدة 7 الآثار كحد أقصى حمولة مؤقتا من 5 مليون سهم. الزيادة في عمق الاختراق مع كل أثر لاحق مرئيا بوضوح. تتبع تحميل تطبيق (الخط المنقط) يؤكد أنه تم الإبقاء على أثر تحميل تطبيق مستقرا عند 11.7 مليون خلال كل دورة.  الشكل 2. تحميل وعمق الاختراق في مقابل الوقت لإجراء اختبار المسافة البادئة مع 7 الآثار. التين. 3 يلخص متوسط أطوال الكراك (مقاسا المجهر الضوئي) تآمر بوصفها وظيفة من عدد من الآثار. يمكن للمرء أن يرى أن عمق تغلغل يزيد بشكل كبير خلال التأثير الأول (من 625nm في 5mN إلى 1115nm بعد التأثير الأول).  طول الكراك الرقم 3. العمق والتغلغل في مقابل عدد من الآثار الملاحظة المجهرية اللاحقة يبين بصمة المتبقية من رأس Berkovich في المواد ولكن طول صدع تبدو صغيرة جدا في هذه المرحلة من التجربة. آثار أخرى ثم تسبب أطوال الكراك إلى زيادة كبيرة ، في حين أن عمق الاختراق المقابلة الزيادة أقل أهمية. أخيرا ، عندما تصل إلى الحافة Berkovich الركيزة (بعد 20 الآثار في هذا المثال) ، وطول صدع وعمق الاختراق على حد سواء ويبدو أن التوصل إلى الهضبة التي مسطح نسبيا. |