| Dieser Artikel markiert ein typisches Beispiel von Ergebnissen, die mit dem integrierten Scannenkraftmikroskop erzielt werden können, das (SFM) an der Nano-Härte-Prüfvorrichtung von (NHT) CSM-Instrumenten montiert wird. Die Arbeit erweitert nach vorhergehendem Gebrauch des NHT für Qualitätskontrolle von IS-Masseverbindungsauflagen, die gewöhnlich aus einem dünnen Aluminiumfilm verfasst werden, der auf eine Sisubstratfläche gespritzt wird. Oberflächenein Profil Erstellen Abgesehen von die Härte und den Modul des Materials einfach kennzeichnen, kann der Gebrauch des SFM, das Oberflächenprofil des Restimpressums zu messen nützliche zusätzliche Information hinsichtlich der Antwort des Materials zur Einrückung (z.B., Massenkarambolage, Wanne-in den Effekten), zur Oberflächenrauigkeit um das Impressum zur Verfügung stellen und zu einer Idee der Oberflächenzelle. Dieses kann alle an der Note einer Taste mit der Einfach-zubetriebs-SFM Datenerfassungssoftware erzielt werden. Ergebnisse Ein typisches Set Ergebnisse wird in Fig. 1 für eine Einrückung der Schwachlast (Mangan 3) in einen Masseverbindungsauflage Alfilm gezeigt. Das SFM-Bild zeigt offenbar das Restimpressum und den Umfang eines angehäuften-oben Materials um den Eindruck. Das Korngefüge des Filmes kann auch gesehen werden sowie Radialentspannung an den Rändern des Vickers-Impressums. Das Querschnittsprofil (Fig. 1 (b)) bestätigt die Resttiefe, wie mit dem NHT (258 nm) gemessen und erlaubt, dass jede mögliche Massenkarambolage genau mengenmäßig bestimmt wird. Die Belastungtiefe Kurve (Fig. 1 (c)) aktivierte die berechnet zu werden Vickers Härte und das Elastizitätsmodul, beziehungsweise die 1,157 GPa und die 112 GPa. Vorhergehendes Werk hat bereits dargestellt, dass die Vorteile von SFM, das für die Kennzeichnung von Masseverbindungsauflagen und von zukünftiger Arbeit ein Profil erstellt, beabsichtigt wird, um die Effekte der Massenkarambolage auf das wahre Kontaktgebiet nachzuforschen, das in der Härteberechnung verwendet wird. Dieses ist, weil das vorgestandene Kontaktgebiet von der Belastungtiefe Kurve berechnet und folglich den erhöhten Bereich nicht infolge der Massenkarambolage berücksichtigt wird. .gif)
Abbildung 1. Typische Daten für eine 3 Mangan-Einrückung in einen Aluminiumdünnfilm (Stärke = 2 m m); (a) SFM-Bild des Restimpressums; (b) Querschnittsprofil durch Impressum; (c) gebende Belastungtiefe Kurve H = 1,157 GPa und E = 112 GPa. |