| Este artículo destaca un ejemplo típico de los resultados que se pueden obtener con el microscopio integrado de la fuerza de la exploración (SFM) montado en el Probador Nano del Endurecimiento (NHT) de los Instrumentos del CSM. El trabajo se despliega sobre el uso anterior del NHT para el control de calidad de las pistas de vinculación de IC que se componen típicamente de una película de aluminio fina chisporroteada sobre un substrato del Si. Perfilado Superficial Aparte de simple caracterizar el endurecimiento y el módulo del material, el uso del SFM de medir el perfil superficial de la impresión residual puede proporcionar a la información adicional útil referente a la reacción del material a la tosquedad del sangrado de márgenes (e.g., montón-hacia arriba, sumidero-en efectos), superficial alrededor de la impresión, y a una idea de la estructura superficial. Esto se puede todos lograr en el tacto de un botón con el software fácil de hacer funcionar de la adquisición de SFM. Resultados Un conjunto típico de resultados se muestra en Fig. 1 para un sangrado de márgenes inferior de la carga (manganeso 3) en una película del Al de la pista de vinculación. La imagen de SFM muestra sin obstrucción la impresión residual y el fragmento del material amontonado-hacia arriba alrededor de la impresión. La estructura de grano de la película se puede también considerar así como relajación radial en los bordes de la impresión de Vickers. El perfil seccionado transversalmente (Fig. 1 (b)) confirma la profundidad residual según lo medido con el NHT (258 nanómetro) y permite que cualquier montón-hacia arriba sea cuantificado exacto. La curva de la carga-profundidad (Fig. 1 (c)) activó el módulo del endurecimiento y de elástico de Vickers que se calcularán, respectivamente 1,157 GPa y 112 GPa. El trabajo Previo ha mostrado ya que las ventajas de SFM que perfila para la caracterización de las pistas de vinculación y del trabajo futuro están consideradas para investigar los efectos del montón-hacia arriba sobre el área de contacto verdadera usada en el cálculo del endurecimiento. Esto es porque el área de contacto proyectada se calcula de la curva de la carga-profundidad y no tiene en cuenta así el área creciente como resultado de montón-hacia arriba. .gif)
Cuadro 1. datos Típicos para un sangrado de márgenes de 3 manganesos en una película fina de aluminio (espesor = 2 m m); (a) Imagen de SFM de la impresión residual; (b) perfil seccionado transversalmente a través de la impresión; (c) curva de la carga-profundidad que da H = 1,157 GPa y E = 112 GPa. |