| 이 약품은 CSM 계기에서 Nano 경도 검사자에 거치된 통합 스캐닝 군대 현미경으로 (SFM) 장악될 수 있는 결과의 (NHT) 전형적인 보기를 강조합니다. 일은 Si 기질에 침을 튀긴 얇은 알루미늄 필름으로 전형적으로 구성되는 IC 접합 패드의 품질 관리를 위한 NHT의 이전 사용을 부연합니다. 지상에게 윤곽을 그리기 단순히 물자의 경도 그리고 계수를 성격을 나타내기은 그렇다 하고, 잔여 인장의 지상 단면도를 측정하는 SFM의 사용은 압흔 (효력수채 에서 예를들면, 다중 충돌,), 표면 거칠기 인장의 주위에, 및 지상 구조물의 아이디어에 물자의 반응에 관하여 유용한 추가 정보를 제공할 수 있습니다. 이것은 쉽 에 작전 SFM 취득 소프트웨어를 가진 단추의 접촉에 모두 달성될 수 있습니다. 결과 결과의 전형적인 세트는 낮은 짐 (3 mN) 압흔을 위한 FIG. 1에서 접합 패드 알루미늄 필름으로 보입니다. SFM 심상은 느낌의 주위에 명확하게 쌓인 위로 물자의 잔여 인장 그리고 넓이를 보여줍니다. 필름의 곡물 구조물은 또한 뿐 아니라 Vickers 인장의 가장자리에 광선 이완 보일 수 있습니다. 횡단면 단면도 ((b) FIG. 1)는 NHT (258 nm)로 측정되는 것과 같이 잔여 깊이를 확인하고 어떤 다중 충돌든지 정확하게 양이 정해지는 것을 허용합니다. 짐 깊이 곡선 ((c) FIG. 1)는 산출될 Vickers 경도 그리고 탄성 계수, 각각 1.157 GPa 및 112 GPa를 가능하게 했습니다. 사전 작업은 이미 경도 계산에서 사용된 확실한 접촉 지역에 대한 다중 충돌의 효력을 조사하기 위하여 접합 패드와 장래 일의 특성을 위해 윤곽을 그리기 SFM의 이점이 상상된다는 것을 보여주었습니다. 이것은 계획되기 접촉 지역이 짐 깊이 곡선에서 산출되고기 다중 충돌 결과로 이렇게 증가되기 지역을 고려하지 않기 때문입니다. .gif)
알루미늄 박막 (간격 = 2개 m m)로 3개의 mN 압흔의 숫자 1. 전형적인 데이터; (a) 잔여 인장의 SFM 심상; (b) 인장을 통해서 횡단면 단면도; (c) 주기 짐 깊이 곡선 H = 1.157 GPa와 E = 112 GPa. |