| Dit artikel benadrukt een typisch voorbeeld van resultaten dat met de geïntegreerde aftastende krachtmicroscoop opgezet op (SFM) het Nano Meetapparaat van de Hardheid uit Instrumenten (NHT) kan worden verkregen CSM. Het werk breidt zich op vorig gebruik van NHT voor kwaliteitsbeheersing die van IC uit stootkussens plakt die typisch samengesteld uit een dunne die aluminiumfilm op een substraat van Si wordt gesputterd zijn. Het Profileren van de Oppervlakte Behalve eenvoudig het kenmerken van de hardheid en de modulus van het materiaal, kan het gebruik van SFM om het oppervlakteprofiel van de overblijvende afdruk te meten nuttige extra informatie betreffende de reactie van het materiaal op inkeping (b.v., pile-up, gootsteen-in gevolgen), oppervlakteruwheid rond de afdruk verstrekken, en een idee van de oppervlaktestructuur. Dit kan allen bij de aanraking van een knoop met worden bereikt gemakkelijk-aan-in werking stelt SFM aanwinstensoftware. Resultaten Een typische reeks resultaten wordt getoond in Fig. 1 voor een lage ladings (Mn 3) inkeping in een stootkussenAl film plakkend. Het beeld SFM toont duidelijk de overblijvende afdruk en de omvang van op:stapelen-omhooggaand materiaal rond de indruk. De korrelstructuur van de film kan ook gezien evenals radiale ontspanning zijn bij de randen van de afdruk Vickers. Het profiel in dwarsdoorsnede (Fig. 1 (b)) bevestigt de overblijvende diepte zoals die met NHT (258 NM) wordt gemeten en laat om het even welke pile-up toe om precies worden gekwantificeerd. Liet de lading-diepte kromme (Fig. 1 (c)) dat de hardheid Vickers en de elastische modulus toe worden berekend, respectievelijk 1.157 GPa en 112 GPa. Het Voorafgaande werk heeft reeds de voordelen die van SFM getoond voor de karakterisering van het plakken van stootkussens profileren en de toekomstige werkzaamheden zijn overwogen om de gevolgen te onderzoeken van pile-up voor het ware die contactgebied in de hardheidsberekening wordt gebruikt. Dit is omdat het ontworpen contactgebied wordt berekend vanaf de lading-diepte kromme en zo niet rekening houdt met het verhoogde gebied als resultaat van pile-up. .gif)
Figuur 1. Typische gegevens voor een 3 Mninkeping in een aluminium dunne film (dikte = 2 m m); (a) het beeld van SFM van overblijvende afdruk; (b) profiel in dwarsdoorsnede door afdruk; (c) lading-diepte kromme die H = 1.157 GPa en E = 112 GPa geeft. |